一种小尺寸掩膜版定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及掩膜版制造技术领域，特别涉及一种小尺寸掩膜版定位装置。


背景技术：

2.掩膜版又称光掩膜版、光罩，由石英玻璃作为基板衬底，首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层，然后在铬层上面涂覆光刻胶使其成为一种感光材料，把设计好的电路图形通过电子激光设备使光刻胶感光，被曝光的区域通过显影、蚀刻在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模母版。近年来国内新型显示面板产量逐年增加，对显示器件的性能要求、画面质感等要求也越来越高，因此对掩膜版的图形精度、特征值要求也越来越苛刻。
3.在高精度掩膜版的制造过程中，光刻曝光环节是最为重要的一步。光刻曝光是指光刻机通过发射出的激光对已经涂好光刻胶的掩膜版基板进行图形的刻画，从而将电路图形转移到被曝光的光刻胶区域，然后通过后续的显影蚀刻工艺将电路图形最终体现到铬层上，这就初步完成了工业用掩膜版的生产制造，最后再通过检修、清洗等环节完成掩膜版的制造。
4.在高精度大尺寸掩膜版的生产制造前或是对光刻工艺参数进行测试验证，通常会先用4英寸、5英寸及6英寸的小尺寸掩膜版对光刻工艺参数进行测试，获取图形cd值及精度等，以准确抓取最后生产用光刻工艺参数来满足设计值。但在高世代大尺寸掩膜版制造的光刻机的加载单元无法应对过小尺寸的掩膜版(6英寸及以下)，即无法通过自动上版来实现小尺寸掩膜版的装载。目前的做法是通过人直接将小尺寸掩膜版放到光刻机平台上，然后将位置通过大致调整后进行光刻。


技术实现要素：

5.本实用新型目的在于提供一种小尺寸掩膜版定位装置，能够实现小尺寸掩膜版精准定位并提高图像精度。
6.本实用新型的实施例是这样实现的：
7.本技术所提供一种小尺寸掩膜版定位装置，包括主体板和两个垫板，所述主体板具有第一端部和第二端部，所述第一端部和所述第二端部的内侧壁相互垂直，且均成型有多个第一凸起，所述第一端部内侧壁的多个第一凸起的端头与所述第二端部内侧壁的多个所述第一凸起的端头共同形成直角型的第一定位区域，第一凸起的端头若干个，并且都是间隔均匀布置，组成一个直角，凸起的高度也一致，凸起的端可以抵的住掩膜版的侧边，达到一个对齐限位的作用；两个所述垫板分别设置在所述第一端部和所述第二端部的上表面，两个所述垫板的内侧壁相互垂直，且均成型有多个第二凸起，其中一个所述垫板内侧壁的多个所述第二凸起的端头与另一个所述垫板内侧壁的多个所述第二凸起的端头共同形成直角型的第二定位区域，第二凸起的端头若干个，并且都是间隔均匀布置，组成一个直角，凸起的高度也一致，凸起的端可以抵的住掩膜版的侧边，达到一个对齐限位的作用；所
述第一定位区域与所述第二定位区域在竖直方向上的投影相同，所述第一定位区域和所述第二定位区域为一个可放置掩膜版的区域。
8.需要说明的是，凸起可以实现对小尺寸掩膜版的点支撑的同时，并且可以减少与掩膜版侧面的接触面积。
9.现有技术是通过人直接将小尺寸掩膜版放到光刻机平台上，然后将位置通过大致调整后进行光刻，这样存在明显的缺点是：每次放置的位置不一样；每次位置调整的精度难以把控；曝光的居中性较差，即刻画出的图形与版边的水平竖直存在斜度，最终影响图形精度。
10.本实用新型增加了l型主体板以及两个垫板，且主体板的两个相互靠近的内侧壁相互垂直，并通过主体板和垫板上的凸点抵住掩膜版的边缘，从而实现对掩膜版进行定位，避免了人工每次放置位置不一样的缺陷。
11.综合上述提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，第二端部的下表面设置有与光刻机平台可进行拆卸连接的卡位装置。
12.在本技术的实施例中，卡位装置可以实现l型主体板与光刻机平台侧面的精度套合、精准定位。
13.综合上述提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，所述卡位装置包括均设置在所述第一端部和所述第二端部下表面的条块，所述条块的侧面穿设有与螺母相适配的螺丝，所述螺丝的一端具有与所述光刻机平台相抵的端头；所述螺母和螺丝均设置在所述主体板下方。
14.在本技术的实施例中，螺丝穿过条块的侧面，一端连接有可旋转调节尺寸的螺母，一端设有端头。
15.综合上述提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，两个所述垫板外侧壁上均设有一个垂直于所述垫板的挡边块，当进行定位时，所述主体板放置在所述光刻机平台上，所述垫板沿着所述主体板靠近掩膜版区域的方向滑动，直至所述挡边块靠近所述主体板的侧面贴合在所述光刻机平台的侧壁上。
16.在本技术的实施例中，挡边块卡在主体板上，主体板固定在光刻机平台上，在定位时，垫板滑动到位置，使得主体板上的导流槽上放置垫板，导流槽可以防止l型主体板与垫板之间的真空吸附力，从而可以使得垫板可以平稳光滑的移动。
17.综合上述提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，所述螺母的前端面设置有柱头。
18.综合上述提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，所述柱头的材质为特氟龙。
19.在本技术的实施例中，条块上的螺丝端头设计有特氟龙头子，从而避免螺丝对光刻机平台的划伤。
20.综合上述提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，第一端部和所述第二端部的上表面均开设有导流槽，所述导流槽与所述垫板的下表面相贴合。
21.在本技术的实施例中，主体板上的导流槽上放置垫板，导流槽可以防止l型主体板与垫板之间的真空吸附力，从而可以使得垫板可以平稳光滑的移动。
22.综合上述提供的技术方案，在一些可能的实现方式中，所述第一凸起和第二凸起的端头的截面为半圆形，当进行定位时，所述第一凸起和第二凸起的外凸点均可与所述掩
膜版的侧面相抵。
23.由于，可附加些延伸，大尺寸掩膜版可直接自动上版，而小尺寸的掩膜版不能自动上版，所以设置这个装置可以实现小尺寸掩膜版位置精度偏差减小，小尺寸掩膜版是指6inch以下的掩膜版，本实用新型可以同时实现4、5、6inch掩膜版的光刻，并且结构简单、操作方便、使用灵活，避免了因人工放置小尺寸掩膜版而导致的位置及图形精度的偏差。
24.本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
25.1.本实用新型一种小尺寸掩膜版定位装置，主体板两个相互靠近的内侧壁相互垂直，可以解决高世代掩膜版光刻机不能实现小尺寸掩膜版，自动上版而导致位置精度偏差的问题，结构简单、操作方便、使用灵活，避免了因人工放置小尺寸掩膜版而导致的位置及图形精度的偏差。
26.2.本实用新型一种小尺寸掩膜版定位装置，主体板上的导流槽上放置垫板，导流槽可以防止l型主体板与垫板之间的真空吸附力，从而可以使得垫板可以平稳光滑的移动。
27.3.本实用新型一种小尺寸掩膜版定位装置，l型主体板背面设计有长方体条块，在条块侧面设置有可以精度调节位置的螺丝，从而可以实现l型主体板与光刻机平台侧面的精度套合；且条块上的螺丝端头设计有特氟龙头子，从而避免螺丝对光刻机平台的划伤。
附图说明
28.此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本技术的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：
29.图1是本实用新型实施例提供的3d结构示意图。
30.图2是本实用新型实施例提供的背面结构示意图。
31.图3为本实用新型实施例提供的侧面结构示意图。
32.图4为本实用新型主体板结构示意图。
[0033]1‑
主体板、2
‑
导流槽、31
‑
第一凸起、32
‑
第二凸起、4
‑
挡边块、5
‑
条块、6
‑
螺丝、7
‑
螺母、8
‑
柱头、9
‑
垫板。
具体实施方式
[0034]
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。
[0035]
实施例
[0036]
请参阅图1
‑
4所示，本技术实施例提供一种小尺寸掩膜版定位装置，包括主体板1和两个垫板9，主体板1具有第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的内侧壁相互垂直，且均成型有多个第一凸起31，第一端部内侧壁的多个第一凸起31的端头与第二端部内侧壁的多个第一凸起31的端头共同形成直角型的第一定位区域；两个垫板9分别设置在第一端部和第二端部的上表面，两个垫板9的内侧壁相互垂直，且均成型有多个第二凸起32，其中一个垫板9内侧壁的多个第二凸起32的端头与另一个垫板9内侧壁的多个第二凸起32的端头共同形成直角型的第二定位区域；第一定位区域与第二定位区域在竖直方向上的投影相同，第一定位区域和第二定位区域为一个可放置掩膜版的区域。
[0037]
在一些可选的实施方案中，第二端部的下表面设置有与光刻机平台可进行拆卸连接的卡位装置；卡位装置可以实现l型主体板1与光刻机平台侧面的精度套合、精准定位。
[0038]
在一些可选的实施方案中，卡位装置包括均设置在第一端部和第二端部下表面的条块5，条块5的侧面穿设有与螺母7相适配的螺丝6，螺丝6的一端具有与光刻机平台相抵的端头；螺母7和螺丝6均设置在主体板1下方；螺丝6穿过条块5的侧面，一端连接有可旋转调节尺寸的螺母7，一端设有端头。
[0039]
在一些可选的实施方案中，两个垫板9外侧壁上均设有一个垂直于垫板9的挡边块4，当进行定位时，主体板1放置在光刻机平台上，垫板9沿着主体板1靠近掩膜版区域的方向滑动，直至挡边块4靠近主体板1的侧面贴合在光刻机平台的侧壁上；挡边块4卡在主体板1上，主体板1固定在光刻机平台上，在定位时，垫板9滑动到位置，使得主体板1上的导流槽2上放置垫板9，导流槽2可以防止l型主体板1与垫板9之间的真空吸附力，从而可以使得垫板9可以平稳光滑的移动。
[0040]
在一些可选的实施方案中，螺母7的前端面设置有柱头8。
[0041]
在一些可选的实施方案中，柱头8的材质为特氟龙；条块5上的螺丝6端头设计有特氟龙头子，从而避免螺丝6对光刻机平台的划伤。
[0042]
在一些可选的实施方案中，第一端部和第二端部的上表面均开设有导流槽2，导流槽2与垫板9的下表面相贴合；主体板1上的导流槽2上放置垫板9，导流槽2可以防止l型主体板1与垫板9之间的真空吸附力，从而可以使得垫板9可以平稳光滑的移动。
[0043]
在一些可选的实施方案中，第一凸起31和第二凸起32的端头的截面为半圆形，当进行定位时，第一凸起31和第二凸起32的外凸点均可与掩膜版的侧面相抵。
[0044]
综上，本实用新型为一种小尺寸掩膜版定位装置，包括l型主体板1，在l型主体板1上表面开有导流(气)槽，目的是为了降低与之配合的垫板的真空吸附力；在l型主体板1背面设置有一条长方形条块5，长方形条块5的主要作用是为了使主体可以与光刻机平台在侧面上精确的卡住；在条块5侧面开有两个螺纹孔，与之匹配设计了一套螺丝6及螺母7，可以实现螺丝6在条块5侧方向自由调整位置。在螺丝6的前端面上设计了特氟龙端头，目的是为了防止螺丝6直接与光刻机平台侧面直接接触而造成划伤，用特氟龙避免了这一问题。该l型主体板1的设计高度为5mm，可以保证6inch(厚6.35mm)的掩膜版放置的位置精度；而对于4inch及5inch掩膜版的光刻，通常的做法是放置在一张6inch的空白石英玻璃基板上；因此为了能够同时实现4inch、5inch掩膜版的光刻，在l型主体板1的上方设计了两块只能朝一个方向移动的垫板9，垫板9上的挡边块4可以完全贴合在l型主体板1上，包括侧面也紧密贴住；挡边块4可以实现对4inch、5inch掩膜版的精准卡位；在l型主体板1及垫块上的一侧均设计有一排半圆柱，半圆柱体实则就是凸起，凸起可以实现对小尺寸掩膜版的点支撑的同时，减少与掩膜版侧面的接触面积。
[0045]
综上所述，小尺寸掩膜版定位装置的操作如下：
[0046]
首先将l型主体板1放置在光刻机平台上，l型主体板1相互垂直两个侧边共同形成有一个直角型的区域，条块5和卡位装置用于卡住光刻机平台的边缘，然后将两个垫板9滑至沿着主体板1靠近掩膜版区域的方向滑动，直至挡边块4靠近主体板1的侧面贴合在光刻机平台的侧壁上，挡边块4卡在主体板1上，挡边块4凸起部和主体板1的凸起部此时的对齐的状态，主体板1上表面开有导流(气)槽，可以降低与之配合的垫板9的真空吸附力，随后将
空白石英玻璃基板放置在直角型区域内，并把玻璃基板的边缘与直角型区域两边的凸起端对齐，然后将掩膜版放置在玻璃基板上，并将掩膜版的边缘与凸起端对齐，最后撤下l型主体板1和垫板9，操作完成。
[0047]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0048]
此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。“大致”、“基本”等用语旨在说明相关内容并不是要求绝对的精确，而是可以有一定的偏差。例如：“大致等于”并不仅仅表示绝对的相等，由于实际生产、操作过程中，难以做到绝对的“相等”，一般都存在一定的偏差。因此，除了绝对相等之外，“大致等于”还包括上述的存在一定偏差的情况。以此为例，其他情况下，除非有特别说明，“大致”、“基本”等用语均为与上述类似的含义。
[0049]
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0050]
以上的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。