衍射光学元件、投射模组及电子设备的制作方法

文档序号:28197150发布日期:2021-12-25 02:22阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种衍射光学元件,其特征在于,用于将单束光分束为3
×
5的多束光,所述衍射光学元件包括:基底以及在所述基底上呈阵列式分布的多个微结构;其中,所述微结构在所述基底上的投影轮廓包括依次相连接的第一子结构、第二子结构以及第三子结构,所述第二子结构的两端分别与所述第一子结构和所述第三子结构相对的长边相连接,所述第二子结构包括连接所述第一子结构和所述第三子结构且相对设置的第一边和第二边;且所述微结构满足以下条件:2.5<ab/cd<4.0;0.4<ae/be<0.55;0.65<fj/gj<0.85;1.5<mn/kl<3.5;0.5<mn/ab<1.5;0.5<kl/cd<2;30
°
<α<95
°
;其中,a、b为所述第一子结构距离最远的两个点,b相对a更靠近所述第二子结构,e为ab连线上的点,c、d为经过点e且垂直于ab连线的方向上所述第一子结构的两个点,h和i为所述第一边和所述第二边上距离最近的两个点,f、g为所述微结构投影中经过所述第二子结构且距离最远的两个端点,f位于所述第一子结构,g位于所述第三子结构,j为fg连线与hi连线的交点,m、n为所述第三子结构在y轴方向上距离最远的两个点,k、l为所述第三子结构在x轴方向上距离最远的两个点,其中,x轴方向与y轴方向为平行于所述基底的平面上两个相互垂直的方向,多个所述微结构在所述x轴方向及所述y轴方向上呈矩形阵列排布,α为ab连线与fg连线的夹角。2.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其特征在于,hi小于cd,hi小于kl;和/或hi、cd与kl均在150nm至1200nm之间。3.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其特征在于,满足以下条件式:kl≥cd;ab>mn。4.根据权利要求3所述的衍射光学元件,其特征在于,满足以下条件式:586nm≤cd≤1180nm;345nm≤hi≤828nm;2.9≤ab/cd≤3.6;0.43≤ae/be≤0.51;1.5≤mn/kl≤3.4;0.7≤mn/ab≤1;35
°
≤α≤86
°
。5.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其特征在于,ab连线与所述y轴方向的夹角在30
°‑
60
°
之间;fg连线与所述y轴方向的夹角在30
°‑
60
°
之间。6.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其特征在于,所述x轴方向与所述y轴方向构成一平面直角坐标系,点f为所述第一子结构y轴负方向的顶点。7.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其特征在于,所述衍射光学元件在所述x轴方向上具有第一衍射角度与第二衍射角度,所述第二衍射角度为所述第一衍射角度的两倍,所述衍射光学元件在所述y轴方向上具有一个衍射角度;所述第一衍射角度在7.5
°
至17.5
°
之间;所述衍射光学元件在所述y轴方向上的衍射角度在10
°
至20
°
之间。8.根据权利要求1

7任一项所述的衍射光学元件,其特征在于,所述基底表面设置有余胶层,所述微结构设置于所述余胶层上,所述基底的厚度为0.1mm

0.5mm,所述余胶层的厚度为1um

5um,所述微结构的高度为0.5um

1um。
9.一种投射模组,其特征在于,包括光源以及如权利要求1

8任一项所述的衍射光学元件,所述衍射光学元件用于对所述光源发出的光线进行分束。10.一种电子设备,其特征在于,包括接收模组以及如权利要求9所述的投射模组,所述投射模组用于向待测物体投射光线,所述接收模组用于接收被待测物体反射的光线。

技术总结
本实用新型涉及一种衍射光学元件、投射模组及电子设备。衍射光学元件包括基底以及多个微结构。微结构包括依次连接的第一子结构、第二子结构与第三子结构。满足:2.5<AB/CD<4.0;0.4<AE/BE<0.55;0.65<FJ/GJ<0.85;1.5<MN/KL<3.5;0.5<MN/AB<1.5;0.5<KL/CD<2;30


技术研发人员:ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者:江西欧迈斯微电子有限公司
技术研发日:2021.06.11
技术公布日:2021/12/24
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