技术特征：
1.一种显影装置，其特征在于，包括:喷液桩，其上设有至少两个对称分布的显影液雾化喷头和至少两个对称分布的纯水喷头；受液板，围绕所述喷液桩活动设置，且所述受液板倾斜设置；驱动齿轮，与所述受液板相连以驱动所述受液板围绕所述喷液桩旋转；接液槽，围绕所述喷液桩设置并位于所述受液板的下方，所述接液槽的底部设有接液槽出液口；排液槽，位于所述接液槽的下方，所述排液槽的底部设有排液槽出液口。2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述喷液桩内还设有与每一所述显影液雾化喷头均相连的显影液进液管以及与每一所述纯水喷头均相连的纯水进液管。3.根据权利要求1或2所述的显影装置，其特征在于：所述显影液雾化喷头设有两个，两个所述显影液雾化喷头在所述喷液桩上对称分布。4.根据权利要求1或2所述的显影装置，其特征在于：所述纯水喷头设有两个，两个所述纯水喷头在所述喷液桩上对称分布。5.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述受液板上还连接有加强筋。6.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述接液槽与所述喷液桩之间设有喷头溢出液入口。7.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述喷液桩为伸缩式结构，所述喷液桩的底部设有控制喷液桩伸缩的控制件。8.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：该装置还包括与所述驱动齿轮相连的驱动电机。9.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于：所述受液板上设有将产品吸附的真空吸附件。
技术总结
本实用新型公开了一种显影装置，包括:喷液桩，其上设有至少两个对称分布的显影液雾化喷头和至少两个对称分布的纯水喷头；受液板，围绕喷液桩设置，且受液板倾斜设置；驱动齿轮，与受液板相连以驱动受液板围绕喷液桩旋转；接液槽，围绕喷液桩设置并位于受液板的下方，接液槽的底部设有接液槽出液口；排液槽，位于接液槽的下方，排液槽的底部设有排液槽出液口。采用雾化喷淋的方式，既能避免传统浸没式显影方式造成显影液中的有效成分浓度逐渐降低进而影响显影质量的问题，又能避免传统喷淋方式水压对光刻胶的外力破坏问题，并且受液板倾斜设置，解决了传统喷淋方式中平面旋转造成远近圆心处会有明显的显影程度差异的问题。圆心处会有明显的显影程度差异的问题。圆心处会有明显的显影程度差异的问题。
技术研发人员：唐兴友
受保护的技术使用者：四川科尔威光电科技有限公司
技术研发日：2021.06.22
技术公布日：2021/11/15