光阻玻璃涂布装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种光阻玻璃涂布装置。


背景技术：

2.二极管芯片加工过程中，需要在晶圆表面涂布玻璃粉，再通过高温进行玻璃钝化，从而保护pn结。
3.由于玻璃粉是粉状，无法通过直接喷洒的方式涂覆到晶圆上，于是利用玻璃粉与光刻胶混合得到的光阻玻璃对晶圆进行涂布是目前国内二极管生产的一种主流方式。
4.光刻胶具有粘性，可以很好的将玻璃粉和晶圆粘在一起。目前有两种涂布方式，一种是传统的手工涂布，另一种是机器涂布。机器涂布是通过泵的吸力，将光阻玻璃从容器中抽取出来，再通过气压将光阻玻璃压出，从而实现涂布。
5.但是，由于光刻胶具有粘性，玻璃粉是固体颗粒，当泵不断的抽取再通过气压压出时，容易在管道中产生空气泡，这种含有气泡的光阻玻璃涂覆到晶圆表面时，容易产生局部空洞，从而影响芯片的电特性，所以光阻玻璃的手工涂布仍然占有较大市场。手工涂布虽然可以减少气泡现象，但是员工不停的手工操作容易产生疲劳，且每一片晶圆的一致性有较大的差异。


技术实现要素：

6.(一)解决的技术问题
7.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种光阻玻璃涂布装置，解决了光阻玻璃无法高效高质量涂布的问题。
8.(二)技术方案
9.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
10.一种光阻玻璃涂布装置，所述涂布装置包括：涂布锅和注射装置；所述注射装置通过升降装置安装在涂布锅上方；
11.所述注射装置包括：注射器和盖板；所述盖板安装在注射器的底部外壁，所述盖板与涂布锅的顶部开口匹配。
12.优选的，所述涂布装置还包括工作台，所述涂布锅安装在工作台上，所述升降装置包括：第一升降电机和与之匹配的升降架；所述第一升降电机安装在工作台上，注射器安装在升降架上。
13.优选的，所述注射器包括注射筒和推杆；所述注射筒与升降架固定连接，所述推杆与升降架通过第二升降电机连接。
14.优选的，所述涂布锅包括：安装轴和旋转电机；所述安装轴与工作台轴承连接，所述安装轴的外壁设置有传动齿轮，所述传动齿轮与旋转电机输出轴上的主动齿轮啮合。
15.优选的，所述安装轴自底端开设有通气槽，所述安装轴的顶端开设有若干与通气槽连通的通气孔；所述涂布锅还包括真空管，所述真空管的一端插入通气槽，另一端与真空
泵连通。
16.(三)有益效果
17.本实用新型提供了一种光阻玻璃涂布装置。与现有技术相比，具备以下有益效果：
18.本实用新型中，所述涂布装置工作过程中，升降装置驱动注射装置下降，盖板盖在涂布锅上，注射器向涂布锅内的晶圆涂布光阻玻璃，不会产生气泡，并且通过注射器的刻度能够监控光阻玻璃的涂布量，涂布质量好效率高。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本实用新型实施例中涂布装置的结构示意图；
21.图2为本实用新型实施例中安装轴的装配示意图。
具体实施方式
22.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.本技术实施例通过提供一种光阻玻璃涂布装置，解决了光阻玻璃无法高效高质量涂布的问题。
24.本技术实施例中的技术方案为解决上述技术问题，总体思路如下：
25.本实用新型实施例中，所述涂布装置工作过程中，升降装置驱动注射装置下降，盖板盖在涂布锅上，注射器向涂布锅内的晶圆涂布光阻玻璃，不会产生气泡，并且通过注射器的刻度能够监控光阻玻璃的涂布量，涂布质量好效率高。
26.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
27.实施例：
28.如图1所示，本实用新型提供了一种光阻玻璃涂布装置，所述涂布装置包括：涂布锅10和注射装置20；所述注射装置20通过升降装置安装在涂布锅10上方；
29.所述注射装置20包括：注射器21和盖板22；所述盖板22安装在注射器21的底部外壁，所述盖板22与涂布锅10的顶部开口匹配。
30.所述注射装置20的侧壁设置有刻度。
31.所述涂布装置工作过程中，升降装置驱动注射装置20下降，盖板22盖在涂布锅10上，注射器21向涂布锅10内的晶圆涂布光阻玻璃，不会产生气泡，并且通过注射器21的刻度能够监控光阻玻璃的涂布量，涂布质量好效率高。
32.如图1所示，所述涂布装置还包括工作台30，所述涂布锅10安装在工作台30上，所述升降装置包括：第一升降电机40和与之匹配的升降架41；所述第一升降电机40安装在工
作台30上，注射器21安装在升降架41上。
33.如图1所示，所述注射器21包括注射筒23和推杆24；所述注射筒23与升降架41固定连接，所述推杆24与升降架41通过第二升降电机42连接。所述涂布装置工作过程中，第一升降电机40驱动升降架41带动注射筒23和推杆24同时升降，便于涂布锅10内晶圆的放入和取出；涂布过程中，第二升降机42驱动推杆24下推，将光阻玻璃注射在晶圆表面。
34.如图1、图2所示，所述涂布锅10包括：安装轴11和旋转电机12；所述安装轴11与工作台30轴承连接，所述安装轴11的外壁设置有传动齿轮13，所述传动齿轮13与旋转电机12输出轴上的主动齿轮啮合。晶圆安装在安装轴11顶部，注射器21将光阻玻璃注射在晶圆表面后，旋转电机12驱动安装轴11旋转，实现光阻玻璃在晶圆表面的涂布。
35.如图1、图2所示，所述安装轴11自底端开设有通气槽14，所述安装轴11的顶端开设有若干与通气槽14连通的通气孔15；所述涂布锅10还包括真空管50，所述真空管50的一端插入通气槽14，另一端与真空泵51连通。真空泵51开启将晶圆吸在安装轴11顶部，真空泵51关闭能够轻易将晶圆取下。
36.综上所述，与现有技术相比，本实用新型具备以下有益效果：
37.本实用新型实施例中，所述涂布装置工作过程中，升降装置驱动注射装置下降，盖板盖在涂布锅上，注射器向涂布锅内的晶圆涂布光阻玻璃，不会产生气泡，并且通过注射器的刻度能够监控光阻玻璃的涂布量，涂布质量好效率高。
38.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
39.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。