一种用于激光直接成像设备的多光路双管水冷结构的制作方法

1.本实用新型涉及一种用于激光直接成像设备的多光路双管水冷结构，属于光路冷却技术领域。


背景技术：

2.在pcb光刻机中，因产能的提升，所使用的激光能量也不断增大，对dmd(digital micromirror device)及光路的冷却要求越来越高，原有的风冷方式已远远不能满足生产需求。通常的激光直接成像设备中，用于光路冷却的单管水冷方式所用的水冷块通过标准直通接头与水管连接，而目前的直通接头只能连接单根水管，不能在冷却过程中避免漏水风险，且光路处的水管漏水会造成dmd及电子器件烧毁、光路镜片被污染等严重后果。
3.现有的激光直接成像设备中，用于光路冷却的多路水管并联的排布方式不能很好地解决流速分配不均的问题，且水管接头过多；而多路水管串联的方式又会造成光路之间冷却效果相互影响的问题，不能很好的实现多个光路的部件均匀冷却的效果。


技术实现要素：

4.[技术问题]
[0005]
本实用新型的目的在于解决现有光路冷却结构中，多路水管并联的排布方式导致流速分配不均，且水管接头过多；而多路水管串联的方式又会造成光路之间冷却效果相互影响的问题。
[0006]
[技术方案]
[0007]
本实用新型提供一种用于激光直接成像设备的多光路双管水冷结构，所述结构包括：双管水冷块(1)、进水管(2)、出水管(3)和分水底座(4)，所述双管水冷块(1)分别与所述进水管(2)和出水管(3)的一端连接，且所述双管水冷块(1)的内部设置有连通所述进水管(2)和所述出水管(3)的管路，所述进水管(2)和所述出水管(3)的另一端分别与所述分水底座(4)连接。
[0008]
在一种实施方式中，所述分水底座(4)中设置有进水管道(5)和出水管道(6)，所述进水管道(5)上设置有与所述进水管(2)连通的开孔，所述出水管道(6)上设置有与所述出水管(3)连通的开孔，使水流能够进出。
[0009]
在一种实施方式中，所述进水管(2)和所述出水管(3)一端分别与所述双管水冷块(1)通过螺纹连接，所述进水管(2)和所述出水管(3)另一端分别与所述分水底座(4)通过螺纹连接；并且在螺纹连接处设置密封剂。
[0010]
在一种实施方式中，所述进水管(2)和所述出水管(3)均包括内管和外管，并且内管用于通水，外管用于防漏。
[0011]
在一种实施方式中，所述进水管(2)通过双管接头与所述双管水冷块(1)和所述分水底座(4)连接，双管接头的内部设置有管道，并通过进水管(2)的内管连通所述双管水冷块(1)的内部管路及所述分水底座(4)上的进水管道(5)。
[0012]
在一种实施方式中，所述出水管(3)通过双管接头与所述双管水冷块(1)和所述分水底座(4)连接，双管接头的内部设置有管道，通过出水管(3)的内管连通所述双管水冷块(1)的内部管路及所述分水底座(4)的出水管道(6)。
[0013]
在一种实施方式中，所述进水管(2)和所述出水管(3)的内管均通过气动阀与双管接头连接。
[0014]
在一种实施方式中，所述双管水冷块(1)的下部和光路上需冷却部件的发热位置接触，并通过所述双管水冷块(1)下部涂覆的导热材料将热量传递到所述双管水冷块(1)，最终达到冷却的效果。
[0015]
在一种实施方式中，所述双管水冷块(1)的所述双管水冷块(1)内部设置的管路用于连通所述进水管(2)和所述出水管(3)的内管，并且在所述双管水冷块(1)内部的管路外侧设置堵头(10)，管路外侧通过堵头(10)堵住，由此形成水路闭环。
[0016]
在一种实施方式中，所述结构中能够设置多个所述双管水冷块(1)，并且与所述双管水冷块(1)连接的进水管(2)和出水管(3)同样设置为多个，以对多个光路的部件进行冷却。
[0017]
在一种实施方式中，所述进水管道(5)与所述出水管道(6)设置为对角并排，并且所述进水管道(5)与所述出水管道(5)上设置的开孔为等间距排列。
[0018]
在一种实施方式中，每个光路的进水管道和出水管道均设置有相同的开孔，且所有光路的出水管和进水管的管径相同，这种排列方式能够保证每个光路之间的水路总长相等，既能避免光路之间冷却效果相互干扰，同时能够解决流速不均的问题。
[0019]
[有益效果]
[0020]
本实用新型的多光路双管水冷结构中，所述进水管(2)和所述出水管(3)的内管用于通水，外管用于防漏，能够最大限度减少漏水风险。
[0021]
本实用新型的多光路双管水冷结构中，所述双管水冷块(1)的内部设置的管路用于连通所述进水管(2)和所述出水管(3)的内管，并且与进水管(2)和出水管(3)的内管通过双管接头的内部管路相连通，并在所述双管水冷块(1)内部的管路外侧设置堵头(10)，管路外侧通过堵头堵住，由此形成水路闭环。
[0022]
本实用新型的多光路双管水冷结构中，所述双管水冷块(1)的下部和光路上需冷却部件(例如dmd微镜或激光器等)的发热位置接触，并通过所述双管水冷块(1)下部涂覆的导热材料(例如导热硅脂)将热量传递到所述双管水冷块(1)，最终利用双管水冷块(1)连接的管路中的冷却水实现部件冷却。
[0023]
本实用新型的多光路双管水冷结构中，每个光路的进水管道和出水管道均设置相邻两孔，且所有光路的出水管道和进水管道的管径相同，这种排列方式能够保证每个光路之间的水路总长相等，既能避免光路之间冷却效果相互干扰，同时能够解决流速不均的问题。
附图说明
[0024]
图1为根据本实用新型的一种多光路双管水冷结构的总体示意图；
[0025]
图2为根据本实用新型的分水底座的结构示意图；
[0026]
图3为进水管、出水管与双管水冷块和分水底座连接的示意图；
[0027]
其中：1-双管水冷块，2-进水管，3-出水管，4-分水底座，5-进水管道，6-出水管道，7-双管接头，8-开孔，9-气动阀，10-堵头。
具体实施方式
[0028]
为使得本实用新型实现上述目的、特征和优点且能够更加明显易懂，下面结合具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
[0029]
实施例一
[0030]
本实施例提供一种本实用新型提供一种用于激光直接成像设备的多光路双管水冷结构，如图1和图3所示，所述结构包括：双管水冷块1、进水管2、出水管3和分水底座4，所述双管水冷块1分别与所述进水管2和出水管3的一端连接，且所述双管水冷块1的内部设置有连通所述进水管2和所述出水管3的管路，所述进水管2和所述出水管3的另一端分别与所述分水底座4连接。
[0031]
在一种实施方式中，所述分水底座4中设置有进水管道5和出水管道6，所述进水管道5上设置有与所述进水管2连通的开孔8，所述出水管道6上设置有与所述出水管3连通的开孔8，使水流能够进出。
[0032]
在一种实施方式中，所述进水管2和所述出水管3分别与所述双管水冷块1通过螺纹连接，所述进水管2和所述出水管3分别与所述分水底座4通过螺纹连接；并且在螺纹连接处设置密封剂。
[0033]
在一种实施方式中，所述进水管2和所述出水管3均包括内管和外管，并且内管用于通水，外管用于防漏。
[0034]
在一种实施方式中，所述进水管2通过双管接头7与所述双管水冷块1和所述分水底座4连接，双管接头的内部设置有管道，通过进水管2的内管连通所述双管水冷块1的内部管路及进水管道5。
[0035]
在一种实施方式中，所述出水管3通过双管接头7与所述双管水冷块1和所述分水底座4连接，双管接头的内部设置有管道，通过出水管3的内管连通所述双管水冷块1的内部管路及所述出水管道6。
[0036]
在一种实施方式中，所述进水管2和所述出水管3的内管均通过气动阀9与双管接头7连接。
[0037]
在一种实施方式中，所述双管水冷块1的下部和光路上需冷却部件的发热位置接触，并通过所述双管水冷块1下部涂覆的导热材料将热量传递到所述双管水冷块1，最终达到冷却的效果。
[0038]
在一种实施方式中，所述双管水冷块1的所述双管水冷块1内部设置的管路用于连通所述进水管2和所述出水管3的内管，并且在所述双管水冷块1内部的管路外侧设置堵头10，管路外侧通过堵头10堵住，由此形成水路闭环。
[0039]
在一种实施方式中，所述结构中能够设置多个所述双管水冷块1，并且与所述双管水冷块1连接的进水管2和出水管3同样设置为多个，以对多个光路的部件进行冷却。
[0040]
在一种实施方式中，所述进水管道5与所述出水管道6设置为对角并排，并且所述进水管道5与所述出水管道5上设置的开孔为等间距排列，如图2所示。
[0041]
在一种实施方式中，每个光路的进水管道和出水管道均设置有相同的开孔8，且所
有光路的出水管和进水管的管径相同，这种排列方式能够保证每个光路之间的水路总长相等，既能避免光路之间冷却效果相互干扰，同时能够解决流速不均的问题。
[0042]
本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡是在本实用新型构思的精神和原则之内，本领域的专业人员能够做出的任何修改、等同替换和改进等均应包含在本实用新型的保护范围之内。