一种高清半导体晶圆检测测量显微镜的制作方法

1.本实用新型涉及显微镜技术领域，特别涉及一种高清半导体晶圆检测测量显微镜。


背景技术：

2.半导体晶圆是以硅半导体集成电路制作而成的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。
3.现有的半导体晶圆检测，采用人工检测模式，耗时，不能大尺寸测量，只能测量观看的部分数据，全自动光学检测设备，费用成本很高，而且不能保证多样性的产品检测，不能进行x轴、y轴、z轴方向进行调节。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种高清半导体晶圆检测测量显微镜。
5.为了实现上述目的，本实用新型技术方案如下：
6.一种高清半导体晶圆检测测量显微镜，包括：底座、依次设置在底座上的下层工作台、与下层工作台滑动连接的中层工作台、与中层工作台滑动连接的上层工作台，用于驱动中层工作台沿着y轴运动的y轴驱动组件、用于驱动上层工作台沿着x轴运动的x轴驱动组件、设置在底座端部的z轴驱动组件、设置在z轴驱动组件输出端且与上工作平台正对的五档变倍显微镜、以及设置在底座底部的可调地脚；
7.所述y轴驱动组件包括第一驱动机构、设置在第一驱动机构输出端的第一轴连器、与第一轴连器连接的第一滚珠丝杆、设置在第一滚珠丝杆上的第一螺母座、设置在第一螺母座上的第一限位感应片、与第一限位感应片适配的且置于第一滚珠丝杆两端部的第一限位感应器；
8.所述x轴驱动组件包括第二驱动机构、设置在第二驱动机构输出端的第二轴连器、与第二轴连器连接的第二滚珠丝杆、设置在第二滚珠丝杆上的第二螺母座、设置在第二螺母座上的第二限位感应片、与第二限位感应片适配的且置于第二滚珠丝杆两端部的第二限位感应器；
9.所述z轴驱动组件包括第三驱动机构、设置在第三驱动机构输出端的第三轴连器、与第三轴连器连接的第三滚珠丝杆、设置在第三滚珠丝杆上的第三螺母座、设置在第三滚珠丝杆两侧的滑动机构、设置在滑动机构上且与第三螺母座连接的五档变倍显微镜、第三限位感应片、与第三限位感应片适配的第三限位感应器。
10.优选地，所述下层工作台上两端设有凹槽，该凹槽内设有y轴导轨，所述中层工作台底部与y轴导轨滑轨连接。
11.优选地，所述中层工作台顶部两侧还设有两x轴导轨，所述上层工作台与两x轴导
轨滑动连接。
12.优选地，所述y轴驱动组件置于下层工作台旁且置于中层工作台底部；所述第一驱动机构设为第一步进电机。
13.优选地，所述x轴驱动组件还包括丝杆连接座与丝杆固定座，第二滚珠丝杆通过丝杆连接座与丝杆固定座固定在中层工作台上；所述第二驱动机构设置在中层工作台上；所述第二驱动机构设为第二步进电机。
14.优选地，所述滑动机构包括滑动轨道、设置在滑动轨道上的滑块、设置在滑块上的滑动板；所述五档变倍显微镜通过连接座安装在滑动板上；所述第三驱动机构设为第三步进电机。
15.优选地，所述上层工作台顶部左右两端设有扇形凹槽，前后两端设有依次向下的台阶位。
16.采用本实用新型的技术方案，具有以下有益效果：本实用新型使用机械代替人工检测，省时省力，通过调节x轴、y轴、z轴进行调节，能对不同尺寸产品进行检查，能大尺寸测量，保证产品多样形。
附图说明
17.图1为本实用新型结构示意图；
18.图2为本实用新型内部结构示意图；
19.图3为本实用新型x轴驱动组件结构示意图；
20.图4为本实用新型y轴驱动组件结构示意图；
21.图5为本实用新型z轴驱动组件结构示意图一；
22.图6为本实用新型z轴驱动组件结构示意图二。
具体实施方式
23.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
24.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
25.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
26.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可
以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之
[0028]“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0029]
参照图1至图6，本实用新型通提供一种高清半导体晶圆检测测量显微镜，包括：底座2、依次设置在底座2上的下层工作台10、与下层工作台10滑动连接的中层工作台3、与中层工作台3滑动连接的上层工作台4，用于驱动中层工作台3沿着y轴运动的y轴驱动组件8、用于驱动上层工作台4沿着x轴运动的x轴驱动组件5、设置在底座2端部的z轴驱动组件5、设置在z轴驱动组件5输出端且与上工作平台4正对的五档变倍显微镜7、以及设置在底座2底部的可调地脚6。
[0030]
参照图3，本实施例中x轴驱动组件5工作原理：第二驱动机构501驱动，带动第二滚珠丝杆502转动，进而带动第二螺母座503运动，从而带动上层工作台4沿着x轴导轨510方向运动，同时第二限位感应器505进行限位；所述x轴驱动组件5包括第二驱动机构501、设置在第二驱动机构801输出端的第二轴连器、与第二轴连器连接的第二滚珠丝杆502、设置在第二滚珠丝杆502上的第二螺母座503、设置在第二螺母座503上的第二限位感应片504、与第二限位感应片504适配的且置于第二滚珠丝杆502两端部的第二限位感应器505；所述x轴驱动组件5还包括丝杆连接座507与丝杆固定座506，第二滚珠丝杆502通过丝杆连接座507与丝杆固定座506固定在中层工作台3上；所述第二驱动机构501设置在中层工作台3上，所述第二螺母座与上层工作台3连接；所述第二驱动机构501设为第二步进电机。
[0031]
参照图4，本实施例中y轴驱动组件8工作原理如下：第一驱动机构801驱动带动第一滚珠丝杆802转动，进而带动第一螺母座803运动，从而带动中层工作台3滑动，进而带动安装在中层工作台3上的上层工作台4运动，中层工作台3滑动过程中，第一限位感应器805用于限位；所述y轴驱动组件8包括第一驱动机构801、设置在第一驱动机构801输出端的第一轴连器808、与第一轴连器808连接的第一滚珠丝杆802、设置在第一滚珠丝杆802上的第一螺母座803、设置在第一螺母座803上的第一限位感应片804、与第一限位感应片804适配的且置于第一滚珠丝杆802两端部的第一限位感应器805；所述y轴驱动组件8置于下层工作台10旁且置于中层工作台3底部；所述第一驱动机构801设为第一步进电机；
[0032]
参照图5至图6，本实施例中z轴驱动组件1工作原理：z轴驱动组件1驱动带动第三滚珠丝杆，进而带动第三螺母座，从而带动滑动板103在滑动轨道102上滑动，进而带动五档变倍显微镜7运动，所述z轴驱动组件1包括第三驱动机构101、设置在第三驱动机构101输出端的第三轴连器104、与第三轴连器104连接的第三滚珠丝杆、设置在第三滚珠丝杆上的第三螺母座、设置在第三滚珠丝杆两侧的滑动机构、设置在滑动机构上且与第三螺母座连接的五档变倍显微镜7；所述滑动机构包括滑动轨道102、设置在滑动轨道102上的滑块105、设置在滑块105上的滑动板103；所述五档变倍显微镜7通过连接座安装在滑动板103上；所述
第三驱动机构101设为第三步进电机、第三限位感应片110、与第三限位感应片110适配的第三限位感应器111，所述第三限位感应片110安装在滑动板103上；所述滑动板103上还设有光栅尺寸调节块117，光栅尺寸调节块117上还设有计数器118进行计数。
[0033]
所述下层工作台10上两端设有凹槽，该凹槽内设有y轴导轨810，所述中层工作台3底部与y轴导轨810滑轨连接。所述底部下层工作台10设有两y轴挡块820，顶部设有两x轴挡块520，所述两y轴挡块820置于凹槽内的y轴导轨810旁，所述中层工作台3顶部两侧还设有两x轴导轨510，x轴导轨510置于x轴挡块520旁边；所述上层工作台4与两x轴导轨510滑动连接；所述上层工作台4顶部左右两端设有扇形凹槽401，前后两端设有依次向下的台阶位402，该扇形凹槽401与台阶位402围绕着工位口。
[0034]
本实用新型工作原理如下：
[0035]
x轴驱动组件5工作原理：第二驱动机构501驱动，带动第二滚珠丝杆502转动，进而带动第二螺母座503运动，从而带动上层工作台4沿着x轴导轨510方向运动；y轴驱动组件8工作原理如下：第一驱动机构801驱动带动第一滚珠丝杆802转动，进而带动第一螺母座803运动，从而带动中层工作台3滑动，进而带动安装在中层工作台3上的上层工作台4运动，中层工作台3滑动过程中，第一限位感应器805用于限位；z轴驱动组件1工作原理：z轴驱动组件1驱动带动第三滚珠丝杆，进而带动第三螺母座，从而带动滑动板103在滑动轨道102上滑动，进而带动五档变倍显微镜7运动。
[0036]
以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。