用于控制激光束的聚焦的装置和方法与流程

1.本公开涉及声光偏转器，尤其涉及控制利用声光偏转器偏转的激光束的聚焦。


背景技术：

2.在图案生成领域中，例如在掩模印刷中，当在光敏抗蚀剂中印刷图案时，可以使用声光偏转器使一个或更多个光束偏转。声光偏转器包括承受在材料中引起压缩和凹陷的频率的声波的透明材料，例如晶体材料。假如声波的波长比以取决于声波频率的角度穿过材料的光束的光波长足够短，这会使得材料作为偏转光束的光栅。通常，偏转量(即，偏转角度)与声波的频率成正比。因此，通过随着时间增加声波的频率，能够增大偏转角度，从而使光束在被按照期望的图案曝光的光敏抗蚀剂的一部分上扫描(在本文中称为微扫描)。


技术实现要素：

3.本发明人认识到，现有技术的使用声光偏转器的图案生成器的问题在于，激光束在与微扫描方向平行的方向上的焦点在微扫描的长度上变化，从而在微扫描的至少一些部分中，光束在与微扫描平行的方向上没有正确聚焦。这会在印刷图案中引入由微扫描期间的调制激光束产生的误差。当微扫描的长度增加时，焦点会改变得更多。
4.根据第一方面，提供了一种在微扫描期间控制激光束的聚焦的方法。该方法包括将激光束接收到声光偏转器，并向声光偏转器提供声波，其中该声波的频率随着时间变化，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描。声波频率的变化率在微扫描时间内被调整，使得在激光束穿过声光偏转器时，在声光偏转器中，在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起调整的声波频率差，其中在微扫描时间内所调整的频率差使得它们在微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
5.术语“微扫描”在此用于表示当激光束的偏转角度通过改变穿过声光偏转器的声波的频率而变化时激光束沿着待曝光的表面(例如包含光敏抗蚀剂)上的路径的扫描。偏转角度在微扫描期间从声波的起始频率处的起始角度变化到声波的终止频率处的终止角度。
6.在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起的声波频率差是由声波频率随着时间的变化引起的。在给定时刻，向声光偏转器中行进较长(即，行进较长时间，影响激光束宽度的某一部分)的声波会具有与向声光偏转器中行进较短(即，行进较短时间，影响激光束宽度的另一部分)的其它声波不同的频率。因此，会有瞬时的频率差。此外，由于偏转角度会变化以在与声波传播方向平行的方向上实现微扫描，因此所述差异会出现在与微扫描平行的方向上。
7.激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦指激光束在与微扫描平行的方向上聚焦在待曝光的光敏抗蚀剂上。“期望”指对于特定应用所期望的聚焦。典型情况下，期望在微扫描期间实现一致(恒定)的聚焦。这种聚焦也可以称为正确聚焦。
8.本发明人认识到，在激光束穿过声光偏转器时，声波频率随着时间变化的变化速度(速率)会影响在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上的声波频率差，并且这些频率差
会影响在与微扫描平行的方向上的激光束聚焦。因此，可以在微扫描期间(即，随着时间)调整(校准)变化(增加或减少)的速度(速率)，从而可以实现在微扫描期间激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
9.优选在微扫描时间内调整声波的频率变化率，使得调整的频率差在整个微扫描中引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。通过校准频率随着时间的变化，能够在沿着微扫描的每个点或每个像素中实现期望的聚焦。
10.此外，优选按照一个函数在微扫描时间内调整声波的频率变化率，在微扫描时间内的每个时刻，在激光束穿过声光偏转器时，该函数在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波的频率差，其中该频率差引起激光束在与微扫描平行的方向上期望的聚焦。函数在此通常指频率与时间之间的关系。所述函数例如可以是映射一组连续时间点(与连续时间间隔对应)的频率的表格的形式，使得频率通过连续时间点的逐步增加而变化，并且在每个连续时间点之后的时间间隔期间保持恒定。时间间隔可以设置得非常小，使得该步进函数变成几乎连续的函数。
11.激光束通常是按照预定图案随着时间调制的，以用于沿着微扫描在光敏抗蚀剂上进行印刷。随着时间改变声波的频率以实现激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦会导致微扫描的位置非线性(非线性微扫描)，即，激光束在微扫描中的位置不会以时间的线性函数变化。为了根据预定图案在光敏抗蚀剂的正确位置印刷，需要考虑到这种位置非线性。
12.在一个示例中，可以调整激光束的调制，以补偿因声波的频率随着时间变化而引起的微扫描内的位置变化(位置非线性)，从而引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。因此，对于给定的经过校准以在与微扫描平行的方向上提供激光束的期望聚焦的非线性微扫描，可以导出与线性微扫描的差异(位置偏差)，然后可以基于所识别的差异(位置偏差)来调整调制。
13.此外，引入的位置非线性(非线性扫描)会导致微扫描的速度(激光束沿着微扫描(即，沿着待曝光的表面)的速度)的变化，而这又会影响沿着扫描输送的剂量。可以通过调整微扫描期间的激光束强度以补偿因声波的频率随着时间变化而引起的微扫描速度的变化来计入这一点，从而引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。例如，强度可以与微扫描的速度成成比，即，在微扫描速度提高的微扫描部分中，强度提高，而在微扫描速度降低的微扫描部分中，强度降低。
14.根据第二方面，提供了一种包含计算机可读指令的计算机程序，该计算机可读指令在处理装置上被执行时使得处理装置执行第一方面的方法。
15.第二方面的计算机程序还可以包括与针对第一方面的方法说明的附加特征对应的附加特征。
16.根据第三方面，提供了一种计算机可读介质，在该计算机可读介质上存储有包含计算机可读指令的计算机程序，该计算机可读指令在处理装置上被执行时使得处理装置执行第一方面的方法。
17.第三方面的计算机可读介质还可以包括与针对第一方面的方法说明的附加特征对应的附加特征。
18.第三方面的计算机可读介质例如可以是非暂时性计算机可读介质。
19.根据第四方面，提供了一种用于将激光束投射到表面(例如光敏抗蚀剂)上的装置。该装置包括被布置成接收激光束的声光偏转器、以及被布置成向声光偏转器提供声波的声换能器。所述装置还包括控制单元，该控制单元被布置成随着时间改变声波的频率，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描。所述控制单元还被布置成调整声波在微扫描时间内的频率变化率，使得在激光束穿过声光偏转器时，在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波在微扫描时间内的调整的频率差，其中所述在微扫描时间内的调整的频率差在微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
20.第四方面的装置还可以包括与针对第一方面的方法说明的附加特征对应的附加特征。
附图说明
21.下面将参照附图说明本发明的实施例，在附图中：
22.图1a和图1b示出了可以用于实施本公开的方法和装置的示意性配置的垂直视图；
23.图2示出了光敏抗蚀剂的一部分，其中具有在沿第二垂直方向延伸的条带上沿第一方向进行的微扫描的指示，可以对该条带实施本公开的方法和装置；
24.图3示出了本公开的装置的一个示例的示意图；
25.图4示出了本公开的方法的一个示例的流程图；
26.图5a示出了对于已经进行了校准以实现线性扫描的情况和对于已经进行了校准以在第一方向上实现期望的聚焦的情况在与微扫描平行的第一方向上沿着激光束的微扫描的聚焦误差，图5b示出了对于已经进行了校准以实现线性扫描和对于已经进行了校准以在与微扫描平行的第一方向上实现期望的聚焦的情况在与微扫描平行的第一方向上沿着激光束的微扫描的线性度误差；以及
27.图6a和图6b分别示出了对于已经进行了校准以在与微扫描平行的第一方向上实现期望的聚焦的情况和对于已经进行了校准以实现线性扫描的情况在与微扫描平行的第一方向上激光束的微扫描的线性频率斜坡的差异。
28.所有的附图都是示意性的，并且通常仅示出了阐述各个示例所必需的部分，而其它部分可以省略或者仅是建议性的。
具体实施方式
29.本公开的方法和装置可以有利地在根据图案数据对至少一个激光束进行调制的图案生成器中实施。使用声光偏转器将调制的激光束投射到光敏抗蚀剂上。
30.图1a和图1b示出了可以用于实施本公开的方法和装置的示意性配置的垂直视图。该配置例如可以代表图案生成器的一部分元件。
31.在图1a中，(调制的)激光束110穿过声光偏转器120。声换能器125产生声波127并将其提供给声光偏转器120。从声光偏转器120出来的激光束110的偏转角度会取决于声波127的频率(以及激光束110的入射角度)。通常，偏转量(即，偏转角度)与声波的频率成正比。因此，通过随着时间提高(或者降低)声波的频率，能够增大(或者减小)偏转角度，从而使激光束扫过将在其上印刷图案的光敏抗蚀剂的一部分。在本公开中，这种扫描被称为微
扫描。微扫描会在与声波的传播方向平行的第一方向y上。印刷通常是以像素的形式进行的，例如沿着微扫描的1500个像素。图案已经被光栅化，以产生限定与每个像素相关的激光曝光的图案数据。
32.声波的频率例如可以从125到260mhz或者从210到420mhz变化。微扫描的长度通常在200微米的数量级。应说明的是，声波的频率范围和微扫描的长度仅仅是作为例子提供的，任何其它频率范围和扫描长度都可以使用，只要对于给定的用于产生激光束的激光器的特性能够实现期望的微扫描即可。
33.除了使激光束110偏转之外，声光偏转器120还会在第一方向y上使激光束110散焦。这能够在图1a中看出，与由虚线137所示的激光束110在第一方向y上的原始形状相比，激光束110在根据由外实线所示的第一方向y上的激光束110的形状偏转之后发散。在声光偏转器120之后设有柱面透镜130。柱面透镜130被布置成在第一方向y上对激光束110进行聚焦，以补偿由声光偏转器120引起的激光束在第一方向y上的散焦。
34.另一个透镜140被布置成在第一方向y上将激光束110聚焦在光敏抗蚀剂上。
35.在图1b中，在垂直于图1a的视图中示出了图1a的配置。第二方向x垂直于第一方向y。在第二方向x上，当激光束穿过声光偏转器时，激光束110不会在第二方向x上发生偏转。类似地，声光偏转器120不会导致激光束110在第二方向x上散焦。因此，柱面透镜130被布置成使激光束在第二方向x上的焦点不受影响。激光束在第二方向x上相对于光敏抗蚀剂的移动可以通过光敏抗蚀剂的移动来实现，或者更确切地说，通过在与第二方向x相反的方向上移动衬底来实现，光敏抗蚀剂在该衬底的顶部形成为薄层。
36.还布置有另外的透镜140，以在第二方向x上将激光束110聚焦在光敏抗蚀剂上。
37.图2示出了光敏抗蚀剂的一部分，其中带有在垂直于第一方向y的第二方向x上沿着第一条带230在第一方向y上进行的微扫描211、212、213、214、
……
、225、226。
38.图2中所示的第一方向y上的微扫描211、212、213、214、
……
、225、226可以通过使用单个激光束在第一方向y上进行连续的微扫描并且在进行每次微扫描时间内在与第二方向x相反的方向上将光敏抗蚀剂移动一个微扫描宽度来印刷。或者，第一方向y上的微扫描211、212、213、214、
……
、225、226可以通过使用n个平行激光束在y方向上进行连续的微扫描并且在与第二方向x相反的方向上移动n个微扫描宽度来印刷。所述n个平行激光束可以通过分束器产生。
39.在沿着所有微扫描211、212、213、214、
……
、225、226(即，沿着整个第一条带230)完成了印刷时，印刷就应该进行到第二条带240。这可以通过在第二方向x上将光敏抗蚀剂移动与第一条带230长度对应的第一长度并且在与第一方向y相反或相等的方向上将光敏抗蚀剂移动与第一条带230宽度对应的第二长度(即，微扫描211、212、213、214、
……
、225、226中的每个微扫描的长度)来实现。
40.应说明的是，图2仅用于示出基于微扫描和条带将图案印刷到光敏抗蚀剂上的示例性原理。微扫描的数量以及微扫描和条带的相对尺寸并非意图反映实际结果。
41.在现有技术中，图案生成器已经被校准以产生线性微扫描，即，在微扫描期间，激光束以恒定速度在光敏抗蚀剂上进行微扫描。为了实现线性微扫描，必须相对于恒定速率调节提供给声光偏转器的声波的频率变化率(提高或降低)。本发明人已经表明，这种校准会导致印刷图案的不准确，并且这种不准确是由在与微扫描平行的方向(即，如图1a、图1b
和图2所示的第一方向y)上的错误聚焦导致的。这在图5a中示出，其中示出了对于已经进行了校准以实现由被标示为“平坦线性”的曲线所示的线性微扫描的情况在第一方向y上的聚焦误差。
42.图3示出了本公开的装置300的一个示例的示意图。装置300包括被布置成接收激光束的声光偏转器310、以及被布置成向声光偏转器310提供声波的声换能器320。声光偏转器310和声换能器320通常被设置为一个物理单元，但是，考虑到它们在逻辑上独立的功能，它们在图3中被示为两个独立的框。所述装置还包括控制单元330，该控制单元被布置成随着时间改变声波的频率，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描。这将参照图1a进一步说明。
43.本发明人认识到，当激光束穿过声光偏转器310时，可以通过在与微扫描平行的方向上调整激光束宽度上的声波频率差来调整激光束在与微扫描平行的方向上的聚焦。具体而言，用于实现期望的聚焦的调整是通过相对于声波频率在微扫描期间随着时间的线性增加(下文中的线性频率斜坡)来调整声波在微扫描期间的频率而进行的。此外，在与微扫描平行的方向上的聚焦误差在微扫描期间不是恒定的。因此，不能利用另一个固定透镜或现有固定透镜的调整来校正误差。因此，控制单元330还被布置成随着时间改变声波的频率，使得在激光束穿过声光偏转器时，在声光偏转器中，在与微扫描平行的方向(图1a、图1b和图2中的第一方向y)上在激光束的宽度上引起声波的频率差。该频率差引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。具体而言，在微扫描时间内调整声波频率的变化(提高)的速度(速率)，从而在微扫描时间内获得调整的声波频率差，该声波频率差补偿了在微扫描期间激光束在与微扫描平行的方向上的错误聚焦，从而能够在微扫描期间获得激光束在与微扫描平行的方向上的期望的(正确的)聚焦。优选地，所述期望的(正确的)聚焦在微扫描期间是恒定的(一致的)。这在图5a中示出，其中还示出了对于已经进行了校准以在由被标为“平坦聚焦”的曲线所示的第一方向y上实现期望的聚焦的情况在第一方向y上的聚焦误差。应说明的是，在已经进行了校准以实现线性微扫描的情况和已经进行了校准以实现第一方向y上的期望聚焦的情况之间在第二方向x上的聚焦误差没有任何大的不同。
44.通过提高从声换能器320提供给声光偏转器310的声波的频率，会在声光偏转器中引起声波频率差，因为在给定时刻，不同频率的声波会向声光偏转器中行进不同的距离。因此，声光偏转器的不同部分中的声波之间会存在瞬时频率差。因此，通过提高变化率(例如增加单位时间内的频率提高量)，在声光偏转器中，在与微扫描平行的方向(图1a、图1b和图2中的第一方向y)上，相同距离上的频率差增大。相应地，通过降低变化率(例如减少单位时间内的频率提高量)，在声光偏转器中，在与微扫描平行的方向(图1a、图1b和图2中的第一方向y)上，相同距离上的频率差会减小。
45.控制单元330优选被布置成随着时间改变声波的频率，使得频率差在整个微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。为了实现这一点，控制单元330被布置成调整声波频率随着时间的变化(提高)率，以产生与沿着整个微扫描的任何给定位置相关的频率差，该频率差在给定位置引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
46.可以导出将每个时间点映射至相应频率的函数。该函数的特征如下：在微扫描的每个时间点(时刻)，当激光束通过声光偏转器时，在声光偏转器中，在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上产生声波的频率差，其中该频率差引起激光束在与微扫描平行的方向上
的期望聚焦。由于在每个时间点都实现了期望的聚焦，因此也会沿着整个微扫描实现期望的聚焦。
47.例如，在持续1500个20纳秒时间间隔的微扫描期间，声波的频率可以按该时间间隔逐步提高。对于每个这样的20纳秒时间间隔，使用聚焦测量值来迭代地确定相对于前一个时间间隔的频率提高量，以确定能够实现激光束在与微扫描平行的第一方向上的期望聚焦的频率提高量。由此导出实现期望的聚焦的频率提高量的步进函数。其它例子也是可行的，例如为频率的提高使用连续函数。
48.或者，对于与频率的线性增加相关的差异，可以导出步进函数。对于每个20纳秒时间间隔，使用聚焦测量值来迭代地确定与线性增加相关的频率差，以确定与能够在与微扫描平行的第一方向上实现激光束的期望聚焦的线性增加相关的频率差。图6a示出了对于已经进行了校准以在与微扫描平行的第一方向上实现期望的聚焦的情况在微扫描期间的线性频率斜坡的差异(以赫兹为单位)，在这种情况下，微扫描为2000像素长。作为对比，图6b示出了对于已进行了校准以实现线性扫描的情况在微扫描过程中线性频率斜坡的差异(以赫兹为单位)，其中微扫描长度为2000像素。
49.装置300还可以包括调制器340，该调制器340按照预定的图案随着时间调制激光束，以用于沿着微扫描在光敏抗蚀剂上印刷。通常，预定图案被光栅化，以便根据笛卡尔坐标系产生与像素网格相关的近似预定图案的图案数据。
50.对于现有技术的图案生成器已经被校准以产生线性微扫描的方案(即，在微扫描期间激光束在光敏抗蚀剂上以恒定速度进行微扫描)，所述调制可以直接在图案数据上进行。
51.随着时间改变声波的频率以在与微扫描平行的方向上实现激光束的期望聚焦会导致随着时间变化的变化率。不断变化的变化率会导致微扫描的位置非线性(非线性微扫描)，即，在微扫描中激光束在光敏抗蚀剂上的位置不会作为时间的线性函数而变化。为了在光敏抗蚀剂的正确位置印刷，需要考虑到这种位置非线性。根据具体的设备，与线性微扫描相比，位置差的绝对值可以在一个像素的长度的数量级或更大。例如，对于与图5a相关的用于在与微扫描平行的第一方向y(如被标为“平坦聚焦”的曲线所示)上实现期望的聚焦的校准，与线性微扫描相比，会导致位置的差异。这在图5b中由被标为“平坦聚焦”的曲线示出，该曲线示出了在已经进行了校准以实现第一方向y上的期望聚焦时的线性误差。线性误差是相对于线性微扫描来说沿着微扫描(对于图5b是250微米)的距离的误差，以纳米为单位。图5b中的线性误差最大几乎为250纳米，并且一个像素例如可以是170纳米长。因此，误差可能在一个或几个像素的数量级。应该对此进行补偿，使得误差最多只有一个像素的几分之一，例如一个像素的二十分之一。作为对比，图5b还示出了对于已经进行了校准以实现如被标为“平坦线性”的曲线所示的线性微扫描的情况的线性误差，因此该线性误差沿整个微扫描接近于零。
52.可以控制调制器340，使得激光束的调制补偿微扫描内的位置变化(位置非线性)。例如，考虑预先确定的激光束的调制基于用于实现线性微扫描的校准的情况，即，在微扫描中激光束的位置在微扫描的长度上作为时间的线性函数而变化。此时，可以首先确定非线性微扫描与线性微扫描相比的位置随着时间的偏差，然后相对于位置随着时间的偏差调整先前确定的调制以产生对于非线性微扫描的新的调制，由此来补偿位置非线性。
53.此外，引入的位置非线性(非线性扫描)会导致微扫描的速度(激光束沿着微扫描的速度)的变化，而这又会影响沿着扫描输送的剂量。可以控制调制器340，从而通过调整微扫描期间的激光束的强度以补偿微扫描内的速度的相对变化来计入这一点。例如，强度可以与微扫描的速度成成比，即，在微扫描速度提高的微扫描部分中，强度提高，而在微扫描速度降低的微扫描部分中，强度降低。
54.图4示出了本公开的用于在微扫描期间控制激光束的聚焦的方法的一个示例的流程图。在该方法中，声光偏转器接收410激光束。此外，向声光偏转器提供420声波。该声波的频率随着时间变化，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描。这将参照图1a进一步说明。具体而言，调整声波频率在微扫描时间内的变化率，使得在微扫描时间内，当激光束穿过声光偏转器时，在声光偏转器中在与微扫描平行的方向(图1a、图1b和图2中的第一方向y)上在激光束的宽度上引起调整的声波频率差。所述在微扫描时间内的调整的频率差在微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
55.声光偏转器接收到的激光束通常是按照预定图案调制的，以用于沿着微扫描在光敏抗蚀剂上进行印刷。随着时间改变声波的频率以实现激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦会导致微扫描的位置非线性(非线性微扫描)，即，激光束在微扫描中的位置不会以时间的线性函数变化。按照本公开的方法对激光束进行调制能够补偿405微扫描内的位置非线性(位置变化)，以按照预定图案在光敏抗蚀剂的正确位置进行印刷。
56.已经说明了关于声波频率的提高导致激光束的偏转角度变化从而实现微扫描的例子。这是因为提高声波的频率是优选的。但是，该原理也适用于通过降低声波频率实现的扫描，与频率提高时相比，这导致在相反方向上进行扫描。
57.上文的示例的说明不是限制性的。虽然说明了具体的示例，但是对于本领域普通技术人员来说，在所附权利要求限定的范围之内，能够想到各种变化、修改或变更。
58.分项列表
59.1.一种用于在微扫描期间控制激光束的聚焦的方法，该方法包括：将激光束接收至声光偏转器；以及向声光偏转器提供声波，其中该声波的频率随着时间变化，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描，其中所述声波的频率随着时间变化，使得在激光束通过声光偏转器时，在声光偏转器中，在与微扫描平行的方向上在激光束的宽度上引起声波的频率差，其中该频率差引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
60.2.如第1条所述的方法，其中所述频率差在整个微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
61.3.如第1和第2条中的任何一条所述的方法，其中所述声波的频率按照一个函数随着时间变化，在微扫描的每一时刻，在激光束穿过声光偏转器时，该函数在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波的频率差，其中该频率差引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
62.4.如第1-3条中的任何一条所述的方法，还包括：按照预定图案随着时间调制激光束，其中对激光束的调制进行调整，以补偿因声波的频率随着时间变化而引起的微扫描内的位置变化，从而引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
63.5.如第1-4条中的任何一条所述的方法，还包括：调整微扫描期间的激光束强度以补偿因声波的频率随着时间变化而引起的微扫描速度的变化，从而引起激光束在与微扫描
平行的方向上的期望聚焦。
64.6.一种包含计算机可读指令的计算机程序，该计算机可读指令在处理装置上被执行时使得处理装置执行如第1-5条中的任何一条所述的方法。
65.7.一种计算机可读介质，该计算机可读介质在其上存储有包含计算机可读指令的计算机程序，该计算机可读指令在处理装置上被执行时使得处理装置执行如第1-5条中的任何一条所述的方法。
66.8.一种用于将激光束投射到表面上的装置，该装置包括：被布置成接收激光束的声光偏转器；被布置成向声光偏转器提供声波的声换能器；以及控制单元，该控制单元被布置成随着时间改变声波的频率，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描，其中所述控制单元还被配置成随着时间改变声波的频率，使得在激光束通过声光偏转器时，在声光偏转器中，在与微扫描平行的方向上在激光束的宽度上引起声波的频率差，其中该频率差引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
67.9.如第8条所述的装置，其中所述频率差在整个微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
68.10.如第8和第9条中的任何一条所述的装置，其中所述控制单元还被布置成按照一个函数随着时间改变声波，在微扫描期间的每一时刻，在激光束穿过声光偏转器时，该函数在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波的频率差，其中该频率差引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
69.11.如第8-10条中的任何一条所述的装置，还包括：被布置成按照预定图案随着时间调制激光束的调制器，其中对激光束的调制进行调整，以补偿因控制单元随着时间改变声波的频率而引起的微扫描内的位置变化，从而引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。
70.12.如第8-11条中的任何一条所述的装置，还包括：用于调整微扫描期间的激光束强度的装置，该装置用于补偿因控制单元随着时间改变声波的频率而引起的微扫描速度的变化，从而引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。