一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机的制作方法

1.本发明涉及光刻机领域，具体为一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机。


背景技术：

2.光刻机（mask aligner）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种；有用于生产芯片的光刻机；有用于封装的光刻机；还有用于led制造领域的投影光刻机。
3.现有的光刻机在使用时液晶面在加工前需要涂光刻胶，然后送入光刻机内部进行加工工作，但是提前涂胶后再运输过程中涂胶面容易因为接触被磨损，磨损位置产生凹槽，导致曝光时光源容易在凹槽位置折射造成曝光不够精确，并且现有的光刻机在使用时在灯光出口位置会安装有安全门，防止光刻机出现问题时及时阻止光线，防止过度曝光，但是现有的安全门封闭机构距离光源较近，在长时间使用时强烈光照产生的高温会使得封闭机构灵敏性降低，甚至无法完全封堵造成过度曝光的问题出现，同时光刻机在使用时掩膜版长时间移动过程中会受损，使得曝光线路不精确，甚至导致液晶面板报废，而移动次数无法计算，从而认为无法判断掩膜版的后续使用寿命多少，使得出现问题后才知道更换掩膜版，此时已经造成了损失，所以急需要一种光刻机来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机，包括机体，所述机体内部开设有第一空腔，所述机体下端两侧位置固定安装设置有垫块，所述第一空腔内部位置固定安装设置有第一电机，所述第一电机上端输出端位置固定安装设置有转轴，所述转轴上端位置活动延伸至机体内部，所述转轴上端位置水平固定安装设置有水平管，所述水平管两侧端位置固定安装设置有空心块，所述空心块上端位置均匀开设有若干个负压孔，所述转轴前端位置开设有穿孔，所述第一空腔内部位置设置有固定机构，所述机体内部位置固定安装设置有测量器，所述机体内部右侧端位置固定安装设置有激光器，所述机体内部位置固定安装设置有若干个光束矫正器，所述机体内部位置设置有封闭机构，所述机体内部位置固定安装设置有反射镜，所述机体内部位置活动安装设置有掩膜台，所述掩膜台左侧设置有检测机构，所述掩膜台上端固定安装设置有掩膜版，所述机体内部固定安装设置有物镜，所述机体内部位置固定安装设置有控制开关，所述机体内部位置设置有涂胶机构，使用时激光器产生的激光通过光束矫正器反射，之后
通过封闭机构，再通过反射镜、掩膜版和物镜后对液晶面板进行曝光工作。
6.优选的，所述固定机构包括气泵、第一连接管、第二连接管、第一橡胶环和套环，所述第一空腔内部位置固定安装设置有气泵，所述气泵左侧端位置固定安装设置有第一连接管，所述第一连接管固定延伸至机体外侧，所述气泵上端位置固定安装设置有第二连接管，所述第二连接管一侧端位置固定安装设置有套环，所述套环套接设置在转轴外侧，所述穿孔位于套环内部，所述套环内部上下水平固定安装设置有第一橡胶环，所述第一橡胶环套接设置在转轴外侧，在使用时将液晶面板安置在空心块上端，之后启动气泵，气泵将第二连接管内部空气抽出，从而使得第二连接管内部形成负压，使得套环内部形成负压，从而通过穿孔将转轴内部气体抽出，如此即可使得空心块内部形成负压，使得液晶面板被吸附固定，从而方便后续的加工工作，并且利用负压吸附固定能够防止液晶面板在夹持固定时被损坏，同时保证夹持固定状态，当一侧液晶面板加工完成后，第一电机启动带动转轴转动，从而使得右侧空心块转动至左侧位置，之后测量器对加工完成后的液晶面板进行测量检测，保证加工质量。
7.优选的，所述封闭机构包括第一壳体、固定环、封闭板、散热片、第二空腔、第一电动推杆、连接杆、风槽和滑槽，所述机体上端位置固定安装设置有第一壳体，所述第一壳体内部下端位置固定安装设置有固定环，所述第一壳体上端位置水平开设有风槽，所述第一壳体内部位置开设有第二空腔，所述第二空腔左侧开设有滑槽，所述第一壳体内部位置活动穿插设置有封闭板，所述封闭板下端位置活动穿入固定环内部，所述封闭板上端活动延伸至风槽内部，所述封闭板上端位置固定安装设置有散热片，所述第二空腔内部上端位置垂直固定安装设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆下端位置水平固定安装设置有连接杆，所述连接杆左侧活动穿过滑槽，最后固定安装设置在封闭板右侧，在需要进行封闭时，启动第一电动推杆，第一电动推杆带动连接杆向下移动，从而带动封闭板向下移动，直到将固定环封闭，从而防止光线射出，防止过度曝光，同时风扇启动，使得风槽内部产生空气流动，封闭时高温通过封闭板传导至散热片位置，之后被风槽内部的空气流动带走，使得封闭板快速降温，如此防止高温传导至第一电动推杆上，影响第一电动推杆的使用寿命，从而保证封闭机构的长时间使用，再次使用时第一电动推杆复位通过连接杆带动封闭板向上移动，如此保证固定环的连通转动，从而保证光线的通过。
8.优选的，所述检测机构包括第二壳体、槽体、滚珠、固定杆、活动杆、第二电机、第一齿轮、第一转盘、第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮、第二转盘、导电块、固定块、蜂鸣器、第三空腔、弹簧和导电杆，所述机体内部固定安装设置有第二壳体，所述第二壳体右侧端位置开设有槽体，所述掩膜台活动卡接设置在槽体内部，所述槽体内部位置活动卡接设置有滚珠，所述滚珠紧贴在掩膜台外侧，所述第二壳体前端位置固定安装设置有蜂鸣器，所述掩膜台左侧端位置水平固定安装设置有固定杆，所述固定杆左侧端位置活动安装设置有活动杆，所述第二壳体内部位置固定安装设置有第二电机，所述第二电机输出端位置固定安装设置有第一齿轮，所述第一齿轮顶端位置固定安装设置有第一转盘，所述活动杆一侧活动安装在第一转盘顶端，所述第二壳体内部位置活动安装设置有第二齿轮，所述第一齿轮与第二齿轮啮合，所述第一齿轮齿数小于第二齿轮齿数，所述第二齿轮顶端位置固定安装设置有第三齿轮，所述第三齿轮齿数小于第二齿轮齿数，所述第二壳体内部位置活动安装设置有第四齿轮，所述第四齿轮大于第三齿轮齿数，所述第四齿轮与第三齿轮啮合，所述第四齿轮顶
端位置固定安装设置有第二转盘，所述第二转盘上镶嵌固定设置有导电块，所述第二壳体内部位置固定安装设置有固定块，所述固定块内部位置开设有第三空腔，所述第三空腔内部位置活动卡接设置有导电杆，所述导电杆左侧为弧形，所述导电杆右侧与第三空腔内侧壁之间位置固定连接设置有弹簧，所述导电杆与蜂鸣器电性连接，并且在导电杆位置形成断路，在使用时第二电机带动第一齿轮转动，并且带动第一转盘转动，从而拉动活动杆，使得固定杆带动掩膜台沿着槽体左右移动，如此方便掩膜版左右移动，在光线射在掩膜版上方后，将电路曝光在液晶面板上，同时第一齿轮带动第二齿轮转动，由于第一齿轮齿数小于第二齿轮齿数，如此使得第二齿轮转速低于第一齿轮转速，同时带动第三齿轮转动，第三齿轮带动第四齿轮转动，由于第四齿轮齿数大于第三齿轮齿数，从而使得第四齿轮转速低于第三齿轮转速，如此使得转速逐渐降低，同时第四齿轮转动时带动第二转盘转动，当导电块同时接触导电杆位置时，此时蜂鸣器处于连通状态，进行报警，此时的掩膜版恰好处于使用次数极限，如此即可方便对掩膜版使用寿命进行检测并且预警，方便使用者及时更换掩膜版，防止掩膜版超出使用寿命时本体磨损严重造成的液晶面板曝光不合格的问题出现。
9.优选的，所述涂胶机构包括电热管、第二电动推杆、第三电动推杆、第三壳体、第二橡胶环、第四壳体、储存腔、补液管、密封盖、通气网、连通槽、橡胶瓣膜、第四电动推杆、挤压板、排料口和第四空腔，所述机体内部位置固定安装设置有第二电动推杆，所述第二电动推杆左侧水平固定安装设置有第三电动推杆，所述第三电动推杆左侧端位置固定安装设置有第三壳体，所述第三壳体上端位置固定安装设置有第四壳体，所述第三壳体下端位置固定安装设置有第二橡胶环，所述第三壳体内部位置均匀固定安装设置有若干个电热管，所述第四壳体内部中心位置开设有第四空腔，所述第四空腔内部上端位置固定安装设置有第四电动推杆，所述第四电动推杆下端位置固定安装设置有挤压板，所述第四壳体内部两侧端位置开设有储存腔，所述第四壳体上端位置固定安装设置有补液管，所述补液管上端位置固定安装设置有密封盖，所述密封盖上端中心位置固定安装设置有通气网，通气网便于平衡气压，所述第四壳体内部位置水平开设有连通槽，连通槽便于连通第四空腔与储存腔，所述第四壳体下端位置开设有排料口，所述排料口、连通槽内部位置均固定安装设置有橡胶瓣膜，在使用时启动第三电动推杆，第三电动推杆带动第三壳体移动至液晶面板上端位置，之后第二电动推杆带动第三壳体向下移动，使得第三壳体覆盖在液晶面板上端位置，同时第二橡胶环覆盖在液晶面板外侧，防止胶水外溢，当覆盖完成时，此时恰好第二电动推杆挤压控制开关，启动电热管与第四电动推杆，第四电动推杆向上移动带动挤压板向上移动，使得胶水通过连通槽进入第四空腔内部，之后第四电动推杆复位，使得挤压板向下移动将吸出的胶水挤出覆盖在液晶板上端位置，通过胶水流动性覆盖液晶面板，之后通过电热管使得胶水被快速干燥，防止提前涂抹胶水后在转移过程中造成涂抹干燥的胶水因为摩擦损坏造成的凹槽位置折射光线影响曝光质量。
10.优选的，所述转轴为空心的，所述水平管与转轴内部连通。
11.优选的，所述第一橡胶环内径小于转轴外径，使得第一橡胶环内侧紧贴在转轴外侧端位置。
12.优选的，所述风槽右侧端位置固定安装设置有风扇。
13.优选的，所述第四电动推杆、电热管与控制开关电性连接。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、本发明第二电机带动第一齿轮转动，并且带动第一转盘转动，从而拉动活动杆，使得固定杆带动掩膜台沿着槽体左右移动，如此方便掩膜版左右移动，在光线射在掩膜版上方后，将电路曝光在液晶面板上，同时第一齿轮带动第二齿轮转动，由于第一齿轮齿数小于第二齿轮齿数，如此使得第二齿轮转速低于第一齿轮转速，同时带动第三齿轮转动，第三齿轮带动第四齿轮转动，由于第四齿轮齿数大于第三齿轮齿数，从而使得第四齿轮转速低于第三齿轮转速，如此使得转速逐渐降低，同时第四齿轮转动时带动第二转盘转动，当导电块同时接触导电杆位置时，此时蜂鸣器处于连通状态，进行报警，此时的掩膜版恰好处于使用次数极限，如此即可方便对掩膜版使用寿命进行检测并且预警，方便使用者及时更换掩膜版，防止掩膜版超出使用寿命时本体磨损严重造成的液晶面板曝光不合格的问题出现；2、本发明第三电动推杆带动第三壳体移动至液晶面板上端位置，之后第二电动推杆带动第三壳体向下移动，使得第三壳体覆盖在液晶面板上端位置，同时第二橡胶环覆盖在液晶面板外侧，防止胶水外溢，当覆盖完成时，此时恰好第二电动推杆挤压控制开关，启动电热管与第四电动推杆，第四电动推杆向上移动带动挤压板向上移动，使得胶水通过连通槽进入第四空腔内部，之后第四电动推杆复位，使得挤压板向下移动将吸出的胶水挤出覆盖在液晶板上端位置，通过胶水流动性覆盖液晶面板，之后通过电热管使得胶水被快速干燥，防止提前涂抹胶水后在转移过程中造成涂抹干燥的胶水因为摩擦损坏造成的凹槽位置折射光线影响曝光质量；3、本发明在需要进行封闭时，启动第一电动推杆，第一电动推杆带动连接杆向下移动，从而带动封闭板向下移动，直到将固定环封闭，从而防止光线射出，防止过度曝光，同时风扇启动，使得风槽内部产生空气流动，封闭时高温通过封闭板传导至散热片位置，之后被风槽内部的空气流动带走，使得封闭板快速降温，如此防止高温传导至第一电动推杆上，影响第一电动推杆的使用寿命，从而保证封闭机构的长时间使用，再次使用时第一电动推杆复位通过连接杆带动封闭板向上移动，如此保证固定环的连通转动，从而保证光线的通过；4、本发明将液晶面板安置在空心块上端，之后启动气泵，气泵将第二连接管内部空气抽出，从而使得第二连接管内部形成负压，使得套环内部形成负压，从而通过穿孔将转轴内部气体抽出，如此即可使得空心块内部形成负压，使得液晶面板被吸附固定，从而方便后续的加工工作，并且利用负压吸附固定能够防止液晶面板在夹持固定时被损坏，同时保证夹持固定状态，当一侧液晶面板加工完成后，第一电机启动带动转轴转动，从而使得右侧空心块转动至左侧位置，之后测量器对加工完成后的液晶面板进行测量检测，保证加工质量。
附图说明
15.图1为本发明一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机整体结构示意图；图2为本发明一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机中第二壳体俯视剖面图；图3为本发明一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机中附图2中a2放大示意图；图4为本发明一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机中附图1中a1放大
示意图；图5为本发明一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机中第三壳体剖视图；图6为本发明一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机中封闭机构结构示意图。
16.图中：1、机体；2、第一空腔；3、激光器；4、光束矫正器；5、封闭机构；6、反射镜；7、物镜；8、掩膜台；9、掩膜版；10、测量器；11、第一电机；12、气泵；13、第一连接管；14、转轴；15、穿孔；16、水平管；17、空心块；18、负压孔；19、第二连接管；20、套环；21、第一橡胶环；22、垫块；23、固定环；24、封闭板；25、第一壳体；26、散热片；27、第一电动推杆；28、风槽；29、控制开关；30、第二电动推杆；31、第三电动推杆；32、第三壳体；33、第二橡胶环；34、第四壳体；35、储存腔；36、补液管；37、密封盖；38、通气网；39、连通槽；40、橡胶瓣膜；41、第四电动推杆；42、排料口；43、挤压板；44、第四空腔；45、第二壳体；46、槽体；47、滚珠；48、固定杆；49、第二电机；50、第一齿轮；51、第一转盘；52、活动杆；53、第二齿轮；54、第三齿轮；55、第四齿轮；56、导电块；57、第二转盘；58、蜂鸣器；59、第三空腔；60、导电杆；61、弹簧；62、固定块；63、连接杆；64、第二空腔；65、滑槽；66、电热管。
具体实施方式
17.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
18.请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种具有掩膜板寿命检测功能的液晶面板光刻机，包括机体1，所述机体1内部开设有第一空腔2，所述机体1下端两侧位置固定安装设置有垫块22，所述第一空腔2内部位置固定安装设置有第一电机11，所述第一电机11上端输出端位置固定安装设置有转轴14，所述转轴14为空心的，所述转轴14上端位置活动延伸至机体1内部，所述转轴14上端位置水平固定安装设置有水平管16，所述水平管16与转轴14内部连通，所述水平管16两侧端位置固定安装设置有空心块17，所述空心块17上端位置均匀开设有若干个负压孔18，所述转轴14前端位置开设有穿孔15，所述第一空腔2内部位置设置有固定机构，所述机体1内部位置固定安装设置有测量器10，所述机体1内部右侧端位置固定安装设置有激光器3，所述机体1内部位置固定安装设置有若干个光束矫正器4，所述机体1内部位置设置有封闭机构5，所述机体1内部位置固定安装设置有反射镜6，所述机体1内部位置活动安装设置有掩膜台8，所述掩膜台8左侧设置有检测机构，所述掩膜台8上端固定安装设置有掩膜版9，所述机体1内部固定安装设置有物镜7，所述机体1内部位置固定安装设置有控制开关29，所述机体1内部位置设置有涂胶机构，使用时激光器3产生的激光通过光束矫正器4反射，之后通过封闭机构5，再通过反射镜6、掩膜版9和物镜7后对液晶面板进行曝光工作。
19.所述固定机构包括气泵12、第一连接管13、第二连接管19、第一橡胶环21和套环20，所述第一空腔2内部位置固定安装设置有气泵12，所述气泵12左侧端位置固定安装设置有第一连接管13，所述第一连接管13固定延伸至机体1外侧，所述气泵12上端位置固定安装
设置有第二连接管19，所述第二连接管19一侧端位置固定安装设置有套环20，所述套环20套接设置在转轴14外侧，所述穿孔15位于套环20内部，所述套环20内部上下水平固定安装设置有第一橡胶环21，所述第一橡胶环21套接设置在转轴14外侧，所述第一橡胶环21内径小于转轴14外径，使得第一橡胶环21内侧紧贴在转轴14外侧端位置，在使用时将液晶面板安置在空心块17上端，之后启动气泵12，气泵12将第二连接管19内部空气抽出，从而使得第二连接管19内部形成负压，使得套环20内部形成负压，从而通过穿孔15将转轴14内部气体抽出，如此即可使得空心块17内部形成负压，使得液晶面板被吸附固定，从而方便后续的加工工作，并且利用负压吸附固定能够防止液晶面板在夹持固定时被损坏，同时保证夹持固定状态，当一侧液晶面板加工完成后，第一电机11启动带动转轴14转动，从而使得右侧空心块17转动至左侧位置，之后测量器10对加工完成后的液晶面板进行测量检测，保证加工质量。
20.所述封闭机构5包括第一壳体25、固定环23、封闭板24、散热片26、第二空腔64、第一电动推杆27、连接杆63、风槽28和滑槽65，所述机体1上端位置固定安装设置有第一壳体25，所述第一壳体25内部下端位置固定安装设置有固定环23，所述第一壳体25上端位置水平开设有风槽28，所述风槽28右侧端位置固定安装设置有风扇，所述第一壳体25内部位置开设有第二空腔64，所述第二空腔64左侧开设有滑槽65，所述第一壳体25内部位置活动穿插设置有封闭板24，所述封闭板24下端位置活动穿入固定环23内部，所述封闭板24上端活动延伸至风槽28内部，所述封闭板24上端位置固定安装设置有散热片26，所述第二空腔64内部上端位置垂直固定安装设置有第一电动推杆27，所述第一电动推杆27下端位置水平固定安装设置有连接杆63，所述连接杆63左侧活动穿过滑槽65，最后固定安装设置在封闭板24右侧，在需要进行封闭时，启动第一电动推杆27，第一电动推杆27带动连接杆63向下移动，从而带动封闭板24向下移动，直到将固定环23封闭，从而防止光线射出，防止过度曝光，同时风扇启动，使得风槽28内部产生空气流动，封闭时高温通过封闭板24传导至散热片26位置，之后被风槽28内部的空气流动带走，使得封闭板24快速降温，如此防止高温传导至第一电动推杆27上，影响第一电动推杆27的使用寿命，从而保证封闭机构5的长时间使用，再次使用时第一电动推杆27复位通过连接杆63带动封闭板24向上移动，如此保证固定环23的连通转动，从而保证光线的通过。
21.所述检测机构包括第二壳体45、槽体46、滚珠47、固定杆48、活动杆52、第二电机49、第一齿轮50、第一转盘51、第二齿轮53、第三齿轮54、第四齿轮55、第二转盘57、导电块56、固定块62、蜂鸣器58、第三空腔59、弹簧61和导电杆60，所述机体1内部固定安装设置有第二壳体45，所述第二壳体45右侧端位置开设有槽体46，所述掩膜台8活动卡接设置在槽体46内部，所述槽体46内部位置活动卡接设置有滚珠47，所述滚珠47紧贴在掩膜台8外侧，所述第二壳体45前端位置固定安装设置有蜂鸣器58，所述掩膜台8左侧端位置水平固定安装设置有固定杆48，所述固定杆48左侧端位置活动安装设置有活动杆52，所述第二壳体45内部位置固定安装设置有第二电机49，所述第二电机49输出端位置固定安装设置有第一齿轮50，所述第一齿轮50顶端位置固定安装设置有第一转盘51，所述活动杆52一侧活动安装在第一转盘51顶端，所述第二壳体45内部位置活动安装设置有第二齿轮53，所述第一齿轮50与第二齿轮53啮合，所述第一齿轮50齿数小于第二齿轮53齿数，所述第二齿轮53顶端位置固定安装设置有第三齿轮54，所述第三齿轮54齿数小于第二齿轮53齿数，所述第二壳体45
内部位置活动安装设置有第四齿轮55，所述第四齿轮55大于第三齿轮54齿数，所述第四齿轮55与第三齿轮54啮合，所述第四齿轮55顶端位置固定安装设置有第二转盘57，所述第二转盘57上镶嵌固定设置有导电块56，所述第二壳体45内部位置固定安装设置有固定块62，所述固定块62内部位置开设有第三空腔59，所述第三空腔59内部位置活动卡接设置有导电杆60，所述导电杆60左侧为弧形，所述导电杆60右侧与第三空腔59内侧壁之间位置固定连接设置有弹簧61，所述导电杆60与蜂鸣器58电性连接，并且在导电杆60位置形成断路，在使用时第二电机49带动第一齿轮50转动，并且带动第一转盘51转动，从而拉动活动杆52，使得固定杆48带动掩膜台8沿着槽体46左右移动，如此方便掩膜版9左右移动，在光线射在掩膜版9上方后，将电路曝光在液晶面板上，同时第一齿轮50带动第二齿轮53转动，由于第一齿轮50齿数小于第二齿轮53齿数，如此使得第二齿轮53转速低于第一齿轮50转速，同时带动第三齿轮54转动，第三齿轮54带动第四齿轮55转动，由于第四齿轮55齿数大于第三齿轮54齿数，从而使得第四齿轮55转速低于第三齿轮54转速，如此使得转速逐渐降低，同时第四齿轮55转动时带动第二转盘57转动，当导电块56同时接触导电杆60位置时，此时蜂鸣器58处于连通状态，进行报警，此时的掩膜版9恰好处于使用次数极限，如此即可方便对掩膜版9使用寿命进行检测并且预警，方便使用者及时更换掩膜版9，防止掩膜版9超出使用寿命时本体磨损严重造成的液晶面板曝光不合格的问题出现。
22.所述涂胶机构包括电热管66、第二电动推杆30、第三电动推杆31、第三壳体32、第二橡胶环33、第四壳体34、储存腔35、补液管36、密封盖37、通气网38、连通槽39、橡胶瓣膜40、第四电动推杆41、挤压板43、排料口42和第四空腔44，所述机体1内部位置固定安装设置有第二电动推杆30，所述第二电动推杆30左侧水平固定安装设置有第三电动推杆31，所述第三电动推杆31左侧端位置固定安装设置有第三壳体32，所述第三壳体32上端位置固定安装设置有第四壳体34，所述第三壳体32下端位置固定安装设置有第二橡胶环33，所述第三壳体32内部位置均匀固定安装设置有若干个电热管66，所述第四壳体34内部中心位置开设有第四空腔44，所述第四空腔44内部上端位置固定安装设置有第四电动推杆41，所述第四电动推杆41、电热管66与控制开关29电性连接，所述第四电动推杆41下端位置固定安装设置有挤压板43，所述第四壳体34内部两侧端位置开设有储存腔35，所述第四壳体34上端位置固定安装设置有补液管36，所述补液管36上端位置固定安装设置有密封盖37，所述密封盖37上端中心位置固定安装设置有通气网38，通气网38便于平衡气压，所述第四壳体34内部位置水平开设有连通槽39，连通槽39便于连通第四空腔44与储存腔35，所述第四壳体34下端位置开设有排料口42，所述排料口42、连通槽39内部位置均固定安装设置有橡胶瓣膜40，在使用时启动第三电动推杆31，第三电动推杆31带动第三壳体32移动至液晶面板上端位置，之后第二电动推杆30带动第三壳体32向下移动，使得第三壳体32覆盖在液晶面板上端位置，同时第二橡胶环33覆盖在液晶面板外侧，防止胶水外溢，当覆盖完成时，此时恰好第二电动推杆30挤压控制开关29，启动电热管66与第四电动推杆41，第四电动推杆41向上移动带动挤压板43向上移动，使得胶水通过连通槽39进入第四空腔44内部，之后第四电动推杆41复位，使得挤压板43向下移动将吸出的胶水挤出覆盖在液晶板上端位置，通过胶水流动性覆盖液晶面板，之后通过电热管66使得胶水被快速干燥，防止提前涂抹胶水后在转移过程中造成涂抹干燥的胶水因为摩擦损坏造成的凹槽位置折射光线影响曝光质量。
23.工作原理：在使用时将液晶面板安置在空心块17上端，之后启动气泵12，气泵12将
第二连接管19内部空气抽出，从而使得第二连接管19内部形成负压，使得套环20内部形成负压，从而通过穿孔15将转轴14内部气体抽出，如此即可使得空心块17内部形成负压，使得液晶面板被吸附固定，从而方便后续的加工工作，并且利用负压吸附固定能够防止液晶面板在夹持固定时被损坏，同时保证夹持固定状态，当一侧液晶面板加工完成后，第一电机11启动带动转轴14转动，从而使得右侧空心块17转动至左侧位置，之后测量器10对加工完成后的液晶面板进行测量检测，保证加工质量；启动第三电动推杆31，第三电动推杆31带动第三壳体32移动至液晶面板上端位置，之后第二电动推杆30带动第三壳体32向下移动，使得第三壳体32覆盖在液晶面板上端位置，同时第二橡胶环33覆盖在液晶面板外侧，防止胶水外溢，当覆盖完成时，此时恰好第二电动推杆30挤压控制开关29，启动电热管66与第四电动推杆41，第四电动推杆41向上移动带动挤压板43向上移动，使得胶水通过连通槽39进入第四空腔44内部，之后第四电动推杆41复位，使得挤压板43向下移动将吸出的胶水挤出覆盖在液晶板上端位置，通过胶水流动性覆盖液晶面板，之后通过电热管66使得胶水被快速干燥，防止提前涂抹胶水后在转移过程中造成涂抹干燥的胶水因为摩擦损坏造成的凹槽位置折射光线影响曝光质量；第二电机49带动第一齿轮50转动，并且带动第一转盘51转动，从而拉动活动杆52，使得固定杆48带动掩膜台8沿着槽体46左右移动，如此方便掩膜版9左右移动，在光线射在掩膜版9上方后，将电路曝光在液晶面板上，同时第一齿轮50带动第二齿轮53转动，由于第一齿轮50齿数小于第二齿轮53齿数，如此使得第二齿轮53转速低于第一齿轮50转速，同时带动第三齿轮54转动，第三齿轮54带动第四齿轮55转动，由于第四齿轮55齿数大于第三齿轮54齿数，从而使得第四齿轮55转速低于第三齿轮54转速，如此使得转速逐渐降低，同时第四齿轮55转动时带动第二转盘57转动，当导电块56同时接触导电杆60位置时，此时蜂鸣器58处于连通状态，进行报警，此时的掩膜版9恰好处于使用次数极限，如此即可方便对掩膜版9使用寿命进行检测并且预警，方便使用者及时更换掩膜版9，防止掩膜版9超出使用寿命时本体磨损严重造成的液晶面板曝光不合格的问题出现；在需要进行封闭时，启动第一电动推杆27，第一电动推杆27带动连接杆63向下移动，从而带动封闭板24向下移动，直到将固定环23封闭，从而防止光线射出，防止过度曝光，同时风扇启动，使得风槽28内部产生空气流动，封闭时高温通过封闭板24传导至散热片26位置，之后被风槽28内部的空气流动带走，使得封闭板24快速降温，如此防止高温传导至第一电动推杆27上，影响第一电动推杆27的使用寿命，从而保证封闭机构5的长时间使用，再次使用时第一电动推杆27复位通过连接杆63带动封闭板24向上移动，如此保证固定环23的连通转动，从而保证光线的通过。
24.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
25.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换
和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。