可倾斜反射镜装置的制作方法

1.本发明涉及一种具有权利要求1的特征的可倾斜反射镜装置。


背景技术：

2.可倾斜反射镜装置在本领域中是已知的。例如，所谓的振镜扫描仪(galvo-scanner)基于在包括磁性组件和线圈部分的致动组件中产生洛伦兹力的原理，使得实现包括可倾斜部分的偏转反射镜的基板围绕旋转轴线的旋转运动。然而，在本领域中，致动组件通常被布置成相对于基板沿着旋转轴线横向移位，使得可以实现基板的大倾角或甚至全程旋转，并且还使得包括致动组件的空间可以不受可倾斜部分限制。
3.然而，在一些应用中，当几何约束适用时，需要特别紧凑的节能装置。此外，在一些应用中，可能不需要特别大的倾斜角，而小的倾斜角范围可能就足够了。


技术实现要素：

4.本发明的目的是提供一种具有可倾斜反射镜的紧凑且坚固的装置。
5.该目的通过具有权利要求1的特征的装置来实现。
6.在从属权利要求中描述了有利的实施例。
7.根据权利要求1，一种特别用于光学扫描和光束定位应用的可倾斜反射镜装置至少包括以下部件：
[0008]-可倾斜部分，包括具有用于反射电磁波的反射层的基板，
[0009]-固定部分，所述可倾斜部分能够相对于所述固定部分移动，
[0010]-轴承组件，其机械地连接所述固定部分和所述可倾斜部分，其中，所述轴承组件布置成围绕至少一个旋转轴线相对于所述固定部分旋转地安装所述可倾斜部分，
[0011]-致动器组件，其中所述致动器组件包括两个部件，即包括一个或多个线圈的线圈部分以及磁性组件，每个线圈包括导电体，其中所述致动器组件的两个部件中的一个部件由所述可倾斜部分包括，并且其中所述致动器组件的两个部件中的另一个部件由所述固定部分包括，其中所述致动器组件的部件被布置成借助于洛伦兹力相对于所述固定部分移动所述可倾斜部分。
[0012]
本发明的特征在于，致动器组件被布置，特别是完全布置在致动空间中，该致动空间在反射层的单侧上从反射层延伸离开，特别是相对于表面法向矢量。
[0013]
该装置包括至少两个可相对彼此移动的部分。这些部分中的一个被称为可倾斜部分，其中在本说明书的上下文中另一个部分被称为固定部分。固定部分可以包括在光学设备或壳体中，可倾斜部分可倾斜地布置到该光学设备或壳体。
[0014]
因此，在可倾斜部分的运动期间，布置在可倾斜部分上的所有部件相对于固定部分是可移动的，而布置在固定部分上的部件保持固定。
[0015]
基板可以由固体化合物如聚合物形成。该基板特别地用作形成反射层的反射部分的承载件。反射层可以是平面且平坦的反射层。可替代地，反射层可以具有曲面，例如凹面
或凸面。
[0016]
反射层可以包括金属层，例如银层、金层和/或铝层。可替代地，反射层可以包括电介质涂层。反射层可以连接到基板或与基板一体地形成。因此，基板可以由反射化合物组成，其中反射层可以形成为基板的表面。换句话说，基板和反射层可以整体地构建。反射层和基板可以形成装置的反射镜元件。此外，反射镜元件可以包括在反射镜部分中，该反射镜部分例如包括用于反射镜元件的容器。
[0017]
反射层具有面向第一侧的反射表面。入射到所述第一侧上的光或更笼统的电磁波将被反射层反射。与反射层的第一侧相对地，限定了反射层的第二侧。
[0018]
通过倾斜可倾斜部分，改变了基板的取向，这允许控制反射层对电磁波的反射方向。
[0019]
轴承组件限定至少一个旋转轴线，可倾斜部分可围绕该至少一个旋转轴线旋转。旋转轴线可以是假想轴线，即旋转轴线是纯粹的几何轴线，或者旋转轴线可以是包括构成所述轴线的物理元件的物理轴线。
[0020]
术语“假想”特别地指非物理构件或实体。
[0021]
反射层可以包括光轴。相对于旋转轴线，光轴远离旋转轴线正交地朝向(或远离)反射层的第一侧延伸。
[0022]
特别地，至少在旋转轴线处，光轴与附属于可倾斜部分的笛卡尔坐标系的z轴重合，其中坐标系以其x轴和y轴沿着基板延伸，其中特别地，旋转轴线对应于y轴。相对于固定部分，可倾斜部分的该笛卡尔坐标系与可倾斜部分一起倾斜。
[0023]
此外，笛卡尔坐标系可以与固定部分相关联。在可倾斜部分倾斜时，固定部分的坐标系的取向保持不变。特别是在反射镜装置的平衡状态下，可倾斜部分和固定部分的笛卡尔坐标系的z轴对准。这种情况可以用于限定反射层的0
°
倾斜角。在这种情况下，固定部分的笛卡尔坐标系的z轴与光轴对准。
[0024]
当可倾斜部分处于平衡状态或采取0
°
的倾斜角时，与固定部分相关联的坐标系的x轴和y轴相应地沿着可倾斜部分的坐标系的x轴和y轴延伸。
[0025]
因此，固定坐标系的y轴特别地沿着旋转轴线延伸。
[0026]
可替代地或附加地，可以相对于旋转轴线建立柱面坐标系，其中旋转轴线是圆柱轴线，其中径向方向由垂直于旋转轴线的方向限定，并且角坐标相对于由固定部分固定和限定的方向提供。柱面坐标系特别地不与可倾斜部分一起移动，但是可以用于描述可倾斜部分相对于固定部分的倾斜角。
[0027]
根据本发明的另一实施例，基板和/或反射层围绕旋转轴线对称地延伸，特别是相对于附属于基板并因此附属于可倾斜部分的笛卡尔坐标系的x轴和y轴对称地延伸。该实施例允许基板的质心位于光轴上或光轴附近。
[0028]
致动器组件的线圈部分是包括一个或多个线圈的装置的一部分。每个线圈又包括导电体，例如以导线的形式。在该装置包括多于一个线圈的情况下，线圈可以彼此堆叠和/或相对于它们的绕组轴线横向偏移地布置。
[0029]
每个线圈包括至少一个由导电体形成的线圈绕组，其中，线圈绕组周向地围绕线圈的绕组轴线。
[0030]
在本说明书中，绕组轴线也被称为线圈轴线。线圈绕组沿假想表面布置，该假想表
面可以是弯曲的并且基本上垂直地与线圈的绕组轴线相交。
[0031]
绕组轴线具体是指线圈的对称轴线，线圈的导体绕组围绕该对称轴线周向布置。
[0032]
本领域技术人员清楚的是，为了在一个或多个线圈中感应出导致可倾斜部分移动的洛伦兹力，磁性组件必须呈现磁场，当电流被提供给一个或多个线圈时，该磁场适于引起用于移动可倾斜部分的净洛伦兹力。
[0033]
磁性组件可以包括至少一个永磁体和/或可磁化化合物，其被配置为至少暂时提供磁场。
[0034]
因此，致动器组件可以被认为是磁性致动器组件，特别是振镜式(galvanometric)致动器组件。
[0035]
根据本发明，致动器组件布置在致动空间中，特别是完全布置在致动空间中。
[0036]
特别地，在装置的平衡状态下，当反射层的倾斜角为0
°
时，致动器组件完全位于远离反射层的第二侧延伸的半空间中。0
°
的倾斜角特别对应于当可倾斜部分的光轴和坐标系的z轴与固定部分坐标系的z轴重合时的情况。
[0037]
可替代地或附加地，致动空间在相对侧或假想平面上延伸，电磁波在相对侧或假想平面上撞击反射层，特别地，电磁波在相对侧或假想平面上撞击面向反射层的第一侧的表面。
[0038]
与现有技术中已知的装置相比，根据本发明的致动器组件特别地不是相对于反射层横向偏移地布置和/或不完全围绕旋转轴线，而是基本上布置在反射层后方。这允许根据本发明的反射镜倾斜装置的更紧凑的设计。
[0039]
根据本发明的另一实施例，假想的主延伸平面至少在旋转轴线附近沿着基板延伸，其中主延伸平面沿着与可倾斜部分相关联或附属于可倾斜部分的笛卡尔坐标系的x轴和y轴延伸，其中y轴对应于旋转轴线，并且其中主延伸平面与基板一起倾斜，其中与可倾斜部分相关联的笛卡尔坐标系的z轴垂直于x轴和y轴沿着相对于旋转轴线的径向方向延伸，特别地其中可倾斜部分的中间平面沿着z轴延伸并且包括旋转轴线。
[0040]
特别地，在反射层是平面层的情况下，主延伸平面沿着反射层延伸。在这种情况下，光轴与所述主延伸平面正交地相交，并且平行于或对应于z轴，该z轴形成可倾斜的坐标系。
[0041]
根据本发明的另一实施例，可倾斜部分的质心包括在旋转轴线附近或旋转轴线中，特别地，其中质心包括在从旋转轴线延伸不超过1mm，更特别地不超过0.5mm的区域中。
[0042]
该实施例允许更稳定和坚固地致动该装置。特别地，该实施例在致动期间更坚固地抵抗机械冲击。
[0043]
根据本发明的另一实施例，轴承组件包括弹性结构和支撑件。支撑件被配置成限制可倾斜部分的平移运动并且允许可倾斜部分的旋转运动。特别地，支撑件在至少一个方向上提供机械止动。支撑件可以包括滚针轴承或刀轴承。
[0044]
特别地，在一个实施例中，弹性结构被配置成在可倾斜部分和可移动部分的相对移动不受支撑件限制的方向上减小可倾斜部分相对于固定部分的游隙。此外，根据一个实施例，弹性结构被配置成提供用于可倾斜部分的旋转运动方向的刚度。
[0045]
根据本发明的另一实施例，弹性结构包括多个弹簧构件，每个弹簧构件将可倾斜部分，特别是容器或基板连接到固定部分。
[0046]
根据一个实施例，相应的弹簧构件是平板构件，特别是从合适材料的板，特别是金属板上切割的。
[0047]
此外，根据优选实施例，相应的弹簧构件包括曲折形状。
[0048]
根据另一优选实施例，弹簧构件沿着共同的延伸平面延伸，其中，由于面内刚度特别地比扭转模式中的弹性结构的刚度大至少十倍，所以弹簧结构/弹簧构件防止了可倾斜部分沿着所述公共延伸平面的特别的面内运动。
[0049]
特别地，该公共延伸平面平行于包括与固定部分或可倾斜部分相关联的坐标系的x轴和y轴的平面延伸。
[0050]
根据又一实施例，弹簧构件一体地连接到彼此，并且特别地形成单个板构件。优选地，弹簧构件/所述板构件被切割(例如激光切割或冲压)形成单个板。
[0051]
根据本发明的另一实施例，轴承组件包括磁体，该磁体布置成被配制成预加载弹性结构。这些磁体可以是与包括在磁性组件中的磁体相同或不同的磁体。
[0052]
根据另一实施例，可倾斜部分，特别是容器或基板包括第一部分，其中可倾斜部分经由第一部分在固定部分上由支撑件支撑。可倾斜部分，特别是接容器或基板，可以包括第二部分，其中可倾斜部分，特别是容器或基板，由第二部分在固定部分上由支撑件支撑。第一和第二部分从可倾斜部分的相对侧突出，特别是从容器或基板突出，并且第一和第二部分特别地彼此对准并且与旋转轴线对准。特别地，两个部分中的每一个可以形成为沿旋转轴线的细长梁。
[0053]
根据一优选实施例，弹簧结构包括布置在可倾斜部分的第一部分的任一侧上的两个弹簧构件和布置在可倾斜部分的第二部分的任一侧上的两个弹簧构件。
[0054]
根据另一实施例，第一部分经由支撑件的第一部分支撑在固定部分上。此外，第二部分可以经由支撑件的单独的第二部分支撑在固定部分上。
[0055]
优选地，支撑件的相应部分(即，第一部分和第二部分)可以各自是以下中的一个：
[0056]-球体；
[0057]-半球体；
[0058]-结构，所述结构包括面向相应部分的边缘，所述相应部分被支撑在所述边缘上；
[0059]-轴承，包括销，所述销布置在以下之一中：孔、凹槽，特别是所述销沿着旋转轴线定向；
[0060]-轴承，包括销，所述销布置在轴承衬套中，特别地其中所述轴承衬套限制所述可倾斜部分的平移运动；
[0061]-球轴承，特别地其中所述球轴承限制所述可倾斜部分的所述平移；
[0062]-滑动轴承，特别是干式滑动轴承或润滑滑动轴承；
[0063]-弹性主体，其特别地由弹性体形成；
[0064]-弹簧，特别是螺旋弹簧或板簧；
[0065]-非接触式磁力轴承，特别是其中两个磁体彼此排斥。
[0066]
此外，在一个实施例中，相应的轴承被预加载，特别是通过以下之一：重力、弹性结构(特别是通过所述弹簧构件)、预加载弹簧、通过由磁体提供的磁力。
[0067]
根据又一实施例，支撑件由弹性结构形成。例如，弹性结构包括至少一个板簧，其中板簧的主延伸方向沿着与可倾斜部分相关联的坐标系的z轴延伸。特别地，弹性结构包括
多个板簧，其中多个板簧中的至少一个提供沿着与可倾斜部分相关联的坐标系的z轴的支撑。
[0068]
根据本发明的装置的另一实施例，可倾斜部分经由阻尼器支撑在固定部分上，该阻尼器特别地不包括静态刚度或包括低静态刚度。特别地，根据第一承载件的惯性选择刚度，使得可枢转运动具有30hz的最大共振频率。
[0069]
根据一个实施例，弹性结构包括两个第一弹性支腿，其中每个弹性支腿特别地形成板簧。第一支腿分叉，使得第一支腿形成角度，特别是锐角。
[0070]
优选地，弹性结构包括连接到第二连接部分的两个第二弹性支腿(例如，每个形成板簧)，其中第二支腿从第二连接部分突出并且分叉，使得第二支腿形成一角度，也特别是锐角。
[0071]
特别地，四个支腿中的每一个包括形成紧固区域的端部段，相应的支腿经由其紧固区域连接到第二承载件(或支座)。
[0072]
特别地，第一连接部分和与其连接的第一弹性支腿形成第一弧形构件。同样地，特别地，第二连接部分和连接到其上的第二弹性支腿形成第二弧形构件。弧形构件通过允许连接部分和连接到其上的支腿的弯曲而允许第一承载件围绕由弧形构件限定的第一轴线枢转。
[0073]
根据本发明的另一实施例，轴承组件包括在旋转轴线处布置在可倾斜部分的相对侧上的第一和第二轴承。特别地，第一轴承和第二轴承是滚针轴承。
[0074]
第一和第二轴承元件可以形成为力传递元件，其允许可倾斜部分围绕旋转轴线倾斜，特别地，其中，每个力传递元件被布置成将力从固定部分传递到可倾斜部分。
[0075]
根据本发明的另一实施例，可倾斜部分可以仅采用-30
°
至30
°
范围内的倾斜角，特别是-15
°
至15
°
范围内的倾斜角，更特别是-10
°
至10
°
范围内的倾斜角。特别地，可能的倾斜角的范围可以借助于硬止挡来限制。硬止挡可以包括弹簧或弹性元件，其可以包括pdms。
[0076]
根据本发明的另一实施例，装置包括布置在致动空间中的传感器，其中传感器被配置为确定基板相对于固定部分围绕旋转轴线的角位置。
[0077]
传感器可以是光学传感器、霍尔传感器或电容传感器。
[0078]
传感器被布置成确定可倾斜部分相对于固定部分的位置，特别是以基板的角位置的形式。
[0079]
根据本发明的另一实施例，该装置包括布置在线圈部分和磁性组件之间的液体铁磁流体化合物，特别地，其中所述铁磁流体化合物布置在线圈部分和磁性组件之间的间隙中。
[0080]
铁磁流体液体特别地用于冷却，因为它将热量从线圈部分传输走，但是也可以增加线圈部分和固定部分的第一和第二部分之间的间隙处的场强。
[0081]
此外，铁磁流体液体由于其特定特性而可以将其自身包含在间隙中并且不会从装置中渗出。此外，铁磁流体液体可以对装置具有阻尼效应，使得实现增加的鲁棒性。
[0082]
根据本发明的另一实施例，可倾斜部分包括用于基板的容器，其中，容器直接连接到轴承组件，特别地，其中容器包括绝热化合物，特别地，其中，容器将布置在可倾斜部分上的致动器组件的部件与基板连接，使得基板与所述部件绝热，特别地，其中，所述化合物是peek。
[0083]
该实施例允许装置的模块化组装，并且特别地允许针对不同应用更换装置的基板。此外，在容器包括绝热化合物的情况下，由于在装置致动时产生的热量不会被传输到基板，这又保护基板的反射层免受不期望的热变形，因此实现了装置的改进的操作。
[0084]
术语绝热化合物特别是指具有小于50w/m/k，更特别小于10w/m/k，甚至更特别小于1w/m/k的热导率的化合物。
[0085]
根据本发明的另一实施例，致动空间沿着旋转轴线由第一和第二轴承限制，或者其中致动空间沿着旋转轴线由沿着主延伸平面的y轴的基板或容器的延伸部限制，特别地使得致动器组件不延伸超过轴承、基板或容器。特别地，如在俯视图中所见，致动空间不突出超过容器或基板，其中俯视图沿z轴定向。
[0086]
特别地，轴承组件完全布置在致动空间内。优选地，轴承组件不会突出超过基板，如在沿着z轴的俯视图中所见。
[0087]
该实施例允许特别紧凑的设计，因为基本上整个致动器组件被布置在基板“后方”，例如从基板的第一侧不可见，并且因此不需要超出基板的横向延伸的附加横向空间。优选地，致动器组件在沿着主延伸平面的方向上不突出超过反射表面。
[0088]
根据本发明的另一实施例，线圈部分由可倾斜部分包括，并且磁性组件由固定部分包括。
[0089]
该实施例有利地允许相对轻质的可倾斜部分，因为线圈部分通常比磁性组件轻，这允许可倾斜部分的更能量有效的致动，并且因此导致较低的热量生成。另外，磁性组件的重量对可倾斜部分的移动质量没有任何影响。因此，磁性组件在固定部分中的集成允许具有特别强磁场的特别重的磁体。
[0090]
根据本发明的另一实施例，线圈部分远离反射层延伸到致动空间中，并且其中线圈部分至少部分地沿着以至少一个旋转轴线为中心的假想曲面，特别是圆柱表面延伸，其中一个或多个线圈的导体围绕线圈的绕组轴线周向延伸，绕组轴线相对于旋转轴线垂直延伸，其中每个线圈的导体沿着所述假想曲面延伸。
[0091]
特别地，在曲面与圆柱表面相同的情况下，圆柱轴线对应于旋转轴线。
[0092]
然而，注意，术语圆柱体和相关术语特别地还包括具有非圆形，特别地椭圆形或卵形的基部区域或仅分段圆形的基部区域的几何形状。
[0093]
根据该实施例，线圈部分特别地形成为中空半圆柱体或中空半圆柱体的一部分，即覆盖小于180
°
的角表面。
[0094]
特别地，线圈部分形成为弯曲带，特别是半圆柱带，其至少部分地沿着以旋转轴线为中心的假想圆柱表面延伸，其中弯曲带远离反射层并且特别地远离基板的主延伸平面延伸到致动空间中，其中一个或多个线圈各自包括径向地指向旋转轴线的线圈轴线，特别地其中至少一个线圈的线圈轴线与主延伸平面正交相交，特别地其中一个或多个线圈中的每一个的周长比沿着线圈轴线的线圈高度大至少5到10倍，特别地其中一个或多个线圈是沿着弯曲带弯曲的扁平线圈。
[0095]
特别地，线圈部分被布置为比磁性组件径向地更远离旋转轴线。线圈部分至少部分地沿着以旋转轴线为中心的假想曲面，特别是柱面，远离反射层延伸到致动空间中。线圈包括两个沿圆柱面延伸的直线段和两个沿圆柱面延伸的曲线段。
[0096]
沿着曲面形成的线圈部分允许可倾斜部分围绕旋转轴线倾斜，而同时允许沿着线
圈部分的曲面形成的紧凑磁性组件。这又允许致动器组件布置在一半的空间中，即致动空间中。
[0097]
此外，线圈部分可以直接附接到背面，即基板或反射镜部分的第二侧。
[0098]
包括在线圈部分内的至少一个线圈可以被布置成其绕组轴线基本上在可倾斜部分的坐标系的z轴上。
[0099]
一个或多个线圈可以具有比高度更大的周长，其中，每个线圈的高度是沿着其线圈轴线测量的，并且所述周长是沿着垂直于所述线圈轴线的平面测量的。这允许将一个或多个线圈布置成其线圈轴线径向地指向旋转轴线，同时保持线圈部分的特别部分中空圆柱形的弯曲形状。
[0100]
线圈部分可以包括一个或多个凹部或孔，特别地其中每个凹部或孔被布置在线圈部分内的一个或多个线圈的线圈轴线周围。
[0101]
所述凹部可以用于建立用于布置在固定部分上并且比线圈部分更靠近旋转轴线的部分的支撑结构。
[0102]
根据本发明的另一实施例，磁性组件包括第一部分，该第一部分被布置成比线圈部分在径向上更远离旋转轴线，其中第一部分包括第一区段，该第一区段被布置在相对于旋转轴线的第一角空间区段中，其中第一区段具有面向线圈部分的第一致动面，该第一致动面特别地沿着或切向于假想表面延伸，从而形成在线圈部分与第一区段之间的第一间隙区段，并且其中第一部分还包括第二区段，该第二区段被布置在相对于旋转轴线的第二角空间区段中，其中第二区段具有面向线圈部分的第二致动面，该第二致动面特别地沿着或切向于假想表面延伸，从而形成在线圈部分与第二致动面之间的第二间隙区段，其中由磁性组件产生的磁场从第一区段经由第一致动面越过第一间隙区段朝向线圈部分延伸，并且从线圈部分越过第二间隙部分经由第二致动面延伸到磁性组件的第二区段中，使得当向一个或多个线圈提供电流时，磁场以允许产生用于移动线圈部分的洛伦兹力的方式延伸通过该一个或多个线圈。
[0103]
该实施例教导了磁性组件的具体布置和布局，以在线圈部分中的一个或多个线圈中感生洛伦兹力，从而使可倾斜部分围绕旋转轴线移动。
[0104]
特别地，间隙区段可以通过相对于固定部分移动线圈部分引起冷却线圈部分的气流。
[0105]
磁性组件的第一部分被布置成比线圈部分更远离旋转轴线，并且因此可以根据装置的必要规格关于其磁功率进行设计。特别地，与磁性部分被布置成在类似反射镜装置的可倾斜或旋转部分上可移动的设计相比，这种设计允许磁性部分的几乎不受限的尺寸。
[0106]
特别地，第一和第二角空间区段相对于旋转轴线布置成使得延伸通过旋转轴线并且沿着0
°
倾斜角方向(其基本上沿着固定部分坐标系的z轴指向)延伸的平面将致动空间分成延伸的第一角空间区段以及第二角空间区段。特别地，第一角空间区段在由正倾斜角限定的空间中延伸，第二角空间区段在由负倾斜角限定的空间中延伸。
[0107]
简单地说，当沿着旋转轴线观察时，第一部分的第一区段可以位于旋转轴线的左侧(或右侧)并且比线圈轴线更远离旋转轴线，并且当沿着旋转轴线观察时，第一部分的第二区段可以位于旋转轴线的右侧(或左侧)并且比线圈轴线更远离旋转轴线。第一部分的第一和第二区段所处的这些空间区段被称为角空间区段。
[0108]
特别地，第一致动面和/或第二致动面平行于线圈部分的表面延伸，使得第一间隙区段和第二间隙区段沿着磁性组件的致动面具有恒定的宽度和尺寸。
[0109]
由于该间隙，线圈部分可相对于磁性组件移动。
[0110]
根据本发明的另一实施例，与第一和/或第二致动面相对地定位一个或多个线圈的导体，使得当电流被供应到线圈部分的一个或多个线圈时，可以产生洛伦兹力。
[0111]
根据本发明的另一实施例，磁性组件的第一区段包括第一永磁体，特别是第一条形磁体，其产生沿着第一方向的磁场，特别是沿着固定部分的坐标系的z轴的磁场，和/或其中磁性组件的第二区段包括第二永磁体，特别是第二条形磁体，其产生沿着第二方向的磁场，该第二方向基本上指向与第一方向相反的方向。
[0112]
该实施例允许成本有效地制造磁性组件。
[0113]
根据本发明的另一实施例，磁性组件包括磁性组件的第二部分，该第二部分被布置成比线圈部分在径向上更靠近旋转轴线，其中第二部分具有沿着线圈部分或与线圈部分相切地延伸的第二部分面，从而在线圈部分与第二部分面之间形成间隙，特别地其中磁性组件的磁场在所述第二部分内部从第一角空间区段朝向第二角空间区段延伸，特别地其中第二部分包括具有大于一的磁导率的化合物，特别地其中第二部分包括铁磁化合物。
[0114]
该实施例允许相对于线圈部分和第一磁性部分的磁场的提高的磁通量。特别地，第二部分形成磁通返回结构。
[0115]
第二部分面可以基本上沿着线圈部分的曲面形成，使得间隙呈现恒定的宽度和尺寸。特别地，间隙的宽度是磁性组件的半径的至少20％且至多70％，其中磁性组件的半径从旋转轴线测量到曲面。
[0116]
根据本发明的另一实施例，第二部分面面向第一和第二致动面，其中特别地，第二部分面被布置为平行于第一和第二致动面。
[0117]
根据本发明的另一实施例，第二部分面具有与第一和第二致动面相对应的形状。
[0118]
根据本发明的另一实施例，磁性组件包括连接第一部分的第一和第二区段的基部，特别地，其中基部包括具有大于一的磁导率的化合物，特别地，其中基部包括铁磁化合物。
[0119]
基部允许在基部中引导和集中从第一部分到第二部分的磁通量。
[0120]
根据本发明的另一实施例，第二部分通过固定部分的支撑结构连接到第一部分，该支撑结构特别地正交地延伸穿过线圈部分的自由中心部分，特别地其中自由中心部分包括一个或多个线圈的绕组轴线，其中支撑结构在第一和第二区段之间延伸，特别地其中支撑结构包括具有大于40w/m/k，特别地大于100w/m/k的热导率的化合物，特别地其中支撑结构包括顺磁性和/或铁磁性化合物，更特别地其中化合物包括铝。
[0121]
支撑结构特别地允许散热器，该散热器将热量从基板朝向固定部分传输离开，并且因此用作冷却元件。
[0122]
根据本发明的另一实施例，磁性组件包括冷却通道，其被配置为使冷却剂，特别是液体冷却剂流经磁性组件，使得例如由于致动器组件在线圈部分处的致动而产生的热可以由冷却剂从基板运走，特别是其中冷却通道是液密的。
[0123]
在下文中，公开了替代的一般实施例，其中线圈部分仍然布置在可倾斜部分上，而磁通量大致沿着旋转轴线定向。
[0124]
根据本发明的另一实施例，线圈部分形成为延伸到致动空间中并且与旋转轴线正交地定向的盘形部分，其中，一个或多个线圈的导体围绕线圈的绕组轴线周向地延伸，绕组轴线平行于旋转轴线延伸，特别地，其中，每个线圈的导体在线圈部分中延伸，特别地，其中，一个或多个线圈中的每个线圈的周长比沿着绕组轴线的线圈高度大至少10倍，特别地，其中，一个或多个线圈是扁平线圈。
[0125]
盘形线圈部分基本上沿着垂直于旋转轴线的平面延伸。线圈部分特别地不包括圆形圆周。
[0126]
特别地，一个或多个线圈包括内部区段和外部区段。在内部区段中，导体沿着第一圆形轨道区段延伸，并且在外部区段中，导体沿着第二圆形轨道区段延伸，其中第一圆形轨道区段和第二圆形轨道区段具有不同的曲率半径。内部区段比外部区段更靠近旋转轴线。
[0127]
此外，一个或多个线圈可以包括在内部区段和外部区段之间延伸的径向部分。径向区段基本上垂直于旋转轴线延伸。
[0128]
根据本发明的另一实施例，磁性组件包括第一部分，其沿着线圈部分的旋转轴线布置在第一侧上，其中第一部分包括第一区段，该第一区段被布置在相对于旋转轴线的第一角空间区段中，其中第一区段具有面向线圈部分的第一致动面，该第一致动面特别地沿着线圈部分的第一侧延伸，从而形成在线圈部分与第一区段之间的第一间隙区段，并且其中第一部分还包括第二区段，该第二区段被布置在相对于旋转轴线的第一角空间区段中，其中第二区段具有面向线圈部分的第二致动面，从而形成在线圈部分与第二致动面之间的第二间隙区段，其中由磁性组件产生的磁场从第一区段从第一致动面经由第一间隙区段朝向线圈部分延伸，并且从线圈部分经由第二间隙部分到第二致动面延伸到磁性组件的第二区段中，使得当向一个或多个线圈提供电流时，磁场以允许产生用于移动线圈部分的洛伦兹力的方式延伸通过该一个或多个线圈。
[0129]
为术语“角空间区段”提供的定义已经在先前的实施例中提供，并且也可以应用于可替代实施例。
[0130]
根据本发明的另一实施例，磁性组件包括布置在线圈部分的第二相对侧上的第二部分，其中第二部分包括第一区段，该第一区段被布置在相对于旋转轴线的第一角空间区段中，其中第一区段具有面向线圈部分的第一致动面，该第一致动面特别地沿着线圈部分的第二侧延伸，从而形成在线圈部分与第一区段之间的第一间隙区段，并且其中第二部分还包括第二区段，该第二区段被布置在相对于旋转轴线的第二角空间区段中，其中第二区段具有面向线圈部分的第二致动面，从而形成在线圈部分与第二致动面之间的第二间隙区段，其中由磁性组件产生的磁场从第一部分的第一区段经由第一间隙区段延伸到第二部分的第一区段，并且从第二部分的第二区段经由第二间隙区段延伸到第一部分的第二区段，使得当向一个或多个线圈提供电流时，磁场以允许产生用于移动线圈部分的洛伦兹力的方式延伸通过该一个或多个线圈。
[0131]
该实施例提供了更强大的装置，因为磁性部分包括第二部分，该第二部分也可包括磁性元件，例如磁体。
[0132]
根据本发明的另一实施例，磁性组件的第一部分的第一区段和第二区段各自包括永磁体，其中磁体关于它们的磁极具有相反的取向，并且特别地其中磁性组件的第二部分的第一区段和第二区段各自包括永磁体，其中永磁体关于它们的磁极具有相反的取向，其
中包括在第一部分和第二部分的第一区段中的磁体关于它们的磁极具有相同的取向，并且其中包括在第一部分和第二部分的第二区段中的磁体关于它们的磁极具有相同的取向。
[0133]
根据本发明的另一实施例，磁性组件包括在第一部分的第一和第二区段之间延伸，特别地连接第一部分的第一和第二区段的第一返回部分，并且其中磁性组件包括在第二部分的第一和第二区段之间延伸，特别地连接第二部分的第一和第二区段的第二返回部分，特别地其中第一和/或第二返回部分包括具有大于一的磁导率的化合物，特别地其中第一和/或第二返回部分包括铁磁化合物。
[0134]
根据本发明的另一实施例，一个或多个线圈经由轴承组件电接触，该轴承组件包括用于一个或多个线圈的电接触，使得电流能够被提供到一个或多个线圈，特别地其中电接触被布置在第一和/或第二轴承处或第一和/或第二轴承中。
[0135]
电接触也可以包括在轴承组件的支撑件或弹性结构中。
[0136]
此外，该装置可以包括用于控制供应给一个或多个线圈的电流的控制器。
[0137]
根据本发明的另一实施例，控制器被配置为向线圈部分的每个线圈独立地供应不同的电流。
[0138]
根据本发明的另一实施例，基板包括平面反射层。
[0139]
在以下可选实施例中，公开了具有布置在可倾斜部分上的磁性组件和布置在固定部分上的线圈部分。
[0140]
至于为先前实施例提供的术语和定义，它们也可以应用于可替代几何形状。
[0141]
根据本发明的另一实施例，磁性组件包括在可倾斜部分中，并且线圈部分包括在可倾斜部分中。
[0142]
该实施例提供了热生成线圈部分与基板的更好的分离和去耦，这可以增强光学性能。
[0143]
此外，由于线圈在固定部分上，所以可以省略可倾斜部分的电接触，这使得接触不太复杂和稳固。
[0144]
根据本发明的另一实施例，其中固定部分包括具有大于一的磁导率的化合物，特别地其中基部包括诸如铁的铁磁化合物。
[0145]
这允许集中由线圈部分产生的磁通量，这又允许改善装置的性能。
[0146]
根据本发明的另一实施例，磁性组件至少部分地沿着以至少一个旋转轴线为中心的假想曲面，特别是柱面，远离反射层延伸到致动空间中。特别地，磁性组件包括在背离反射层的一侧上的表面，其中所述表面沿着圆柱形平面延伸。换句话说，所述表面在单个方向上弯曲，其中该表面的弯曲半径基本上恒定。
[0147]
该实施例允许以紧凑的方式将致动器组件的部件布置在致动空间中。
[0148]
根据本发明的另一实施例，磁性组件包括沿着可倾斜部分的中间平面分离的北极和南极。特别地，磁性组件沿着与可倾斜部分相关联的笛卡尔坐标系的x轴被磁化。
[0149]
根据可替代实施例，磁性组件包括两个隔室，其中两个隔室分别沿着磁化轴线被磁化。磁化轴线从南极延伸到北极，反之亦然。磁化轴线彼此成一定角度，特别是成基本上120
°
的角度地、径向远离旋转轴线地朝向致动空间延伸。特别地，在非倾斜状态下，线圈部分的第一区段通过布置在一个磁化轴线上而被分配给一个隔室，并且线圈部分的第二区段通过布置在另一个磁化轴线上而被分配给另一个隔室。优选地，在最大倾斜时，磁化轴线分
别不与非指定的第一或第二线圈区段重叠。例如，磁化轴线以相对于彼此至多120
°
的角度延伸。特别地，两个隔室沿着它们各自的磁化轴线在相反的方向上被磁化，其中一个隔室的南极背离旋转轴线，并且另一个隔室的北极背离旋转轴线。
[0150]
优选地，磁化方向相对于彼此的角度对应于线圈部分的第一区段相对于线圈部分的第二区段的角度。
[0151]
根据本发明的另一实施例，线圈部分被布置为比磁性组件在径向上更远离旋转轴线，其中线圈部分包括相对于旋转轴线布置在(第一)角空间区段中的第一区段，其中线圈部分的第一区段具有面向磁性组件的第一致动面，从而在磁性组件和第一区段之间形成第一间隙区段，并且其中线圈部分还包括相对于旋转轴线布置在第二角空间区段中的第二区段。线圈部分的第二区段具有面向磁性组件的第二致动面，从而在磁性组件和第二致动面之间形成第二间隙区段，使得线圈部分的第一区段更靠近北极，而线圈部分的第二区段更靠近南极。一个或多个线圈的导体被布置成使得在线圈部分的第一区段中，所供应的电流在与线圈部分的第二区段中相反的方向上流动，使得当电流被提供给线圈部分的一个或多个线圈时，产生用于移动可倾斜部分的洛伦兹力。
[0152]
根据本发明的一个可替代实施例，磁性组件的南极与磁性组件的北极沿着平行于基板的主延伸平面的平面分开。
[0153]
该实施例提供了基本上沿着可倾斜部分的光轴指向的磁通量。线圈部分中的一个或多个线圈必须与绕组轴线一起布置，以能够产生适于使可倾斜部分倾斜的洛伦兹力。
[0154]
根据本发明的另一实施例，线圈部分被布置为比磁性组件在径向上更远离旋转轴线，其中线圈部分的一个或多个线圈的绕组轴线沿着固定部分的x轴垂直于旋转轴线延伸，特别地其中一个或多个线圈的导体从线圈部分的被布置在相对于旋转轴线的第一角空间区段中的第一区段延伸到线圈部分的被布置在相对于旋转轴线的第二角空间区段中的第二区段，使得当电流被提供给线圈部分的一个或多个线圈时，产生用于移动可倾斜部分的洛伦兹力。
[0155]
根据一个实施例，在线圈部分的第一区段中和在线圈部分的第二区段中，导体基本上平行于旋转轴线延伸。线圈部分的另外区段可以被布置成电连接线圈部分的第一区段和线圈部分的第二区段。特别地，线圈部分的所述另外区段沿着圆柱形假想表面延伸。
[0156]
根据本发明的另一实施例，线圈部分包括实心芯部，一个或多个线圈的导体围绕该实心芯部缠绕。
[0157]
实心芯部可以包括磁导率大于一的化合物或由磁导率大于一的化合物组成，特别地，其中基部包括铁磁化合物，例如铁。
[0158]
这允许线圈部分中的磁通量增加，并因此允许装置的性能改善。
[0159]
根据本发明的另一实施例，第一区段中的实心芯部具有面向磁性组件的第一致动面，从而在磁性组件和第一区段之间形成第一间隙区段，其中第二区段中的实心芯部具有面向磁性组件的第二致动面，从而在磁性组件和第二致动面之间形成第二间隙区段。
[0160]
根据一个实施例，轴承组件包括滚子轴承，该滚子轴承至少部分地布置在固定部分和可倾斜部分之间。特别地，旋转轴线在反射层中延伸。例如，滚子轴承包括固定地附接到倾斜部分的第一保持架元件和固定地附接到固定部分的第二保持架元件，以及布置在第一保持架元件和第二保持架元件之间的滚动元件。特别地，第一保持架元件和第二保持架
元件或滚动元件包括多个旋转对称元件，所述多个旋转对称元件使得第一保持架、第二保持架和滚动元件能够相对运动。旋转对称元件可以具有球形、针形、圆柱形、吨形(ton shape)或锥形，其中旋转对称元件被布置成围绕其旋转对称轴线旋转。特别地，第一保持架元件和第二保持架元件具有弯曲形状，其沿着假想圆柱表面延伸，其中假想圆柱表面围绕旋转轴线延伸。
[0161]
根据一个实施例，可倾斜部分通过洛伦兹力移出其平衡状态，并且回复力被布置成将可倾斜部分移回平衡状态，其中，致动器组件被布置成使得最大洛伦兹力和回复力的量在可倾斜部分的最大倾角处相同。约束力可以取决于固定部分和可倾斜部分之间的磁吸引力。此外，连接固定部分和可倾斜部分的弹性元件可有助于回复力。有利地，将致动器组件的尺寸设计成使得最大洛伦兹力和回复力的量在可倾斜部分的最大倾斜角处相同，这允许将可倾斜部分保持在最大倾斜角处。另外，如规定的那样确定洛伦兹力和回复力的大小，使得在倾斜部分以振荡方式偏转的装置的动态模式中的能量消耗非常低，因为在最大倾斜角处，洛伦兹力的方向可以被切换为与回复力在相同的方向上作用。
附图说明
[0162]
具体地，下面结合附图描述示例性实施例。附图被附加到权利要求书，并且伴随有解释本发明的所示实施例的各个特征和方面的文本。在附图中示出的和/或在附图的文本中提到的每个单独的特征可以并入(也以分离的方式)到与根据本发明的装置有关的权利要求中。
[0163]
图1示出了本发明的第一实施例的三维视图；
[0164]
图2示出了与第一实施例相似的可倾斜反射镜装置的横截面图；
[0165]
图3示出了弯曲线圈；
[0166]
图4a、4b、4c示出了该装置的第二实施例的三种变型；
[0167]
图5a、5b示出了本发明的第三实施例的两个变型；
[0168]
图6示出了本发明的第四实施例；以及
[0169]
图7示出了本发明的第五实施例。
具体实施方式
[0170]
在图1中，示出了根据本发明的装置1的第一实施例的三维视图。装置1包括可倾斜部分2和固定部分3。可倾斜部分2相对于固定部分3可倾斜地布置。可倾斜部分2围绕旋转轴线100倾斜或旋转。所述旋转轴线可以是假想轴线，或者它可以是包括有助于围绕旋转轴线100旋转的轴构件的物理轴线。
[0171]
在使用中，固定部分3保持静止，其中可倾斜部分2围绕旋转轴线100旋转或倾斜。
[0172]
为此，装置1还包括轴承组件4，其将固定部分3机械地连接到可倾斜部分2。轴承组件4被配置成将可倾斜部分2安装在固定部分3上。理想地，轴承组件4布置在旋转轴线100的两端中的至少一端处。
[0173]
在所示的示例中，可倾斜部分2采用0
°
的倾斜角。该位置也称为装置1的平衡状态。当没有电流提供给装置1并且没有惯性力作用在可倾斜部分2上时，特别地采用装置1的平衡状态。
[0174]
作为本说明书中的惯例，旋转轴线100沿着与可倾斜部分2相关联的笛卡尔坐标系的y轴延伸。此外，旋转轴线100也沿着与固定部分相关联的笛卡尔坐标系的y轴延伸。
[0175]
可倾斜部分2包括具有用于反射可见光的反射层2.2的基板2.1，但是它也可以用于反射不同波长的光，例如也覆盖不可见光谱区。为此，反射层2.2可以包括反射金属化合物，例如银、金和/或铝。
[0176]
基板2.1和反射层2.2可以形成反射镜元件。图1中的可倾斜部分2还包括其中安装有反射镜元件2.3的容器2.4。容器2.4连接到轴承组件4，并且包括沿着旋转轴线在每侧上保持基板2.1的支架2.41保持器。容器2.4还包括与支架保持器2.41一体地形成的固体层2.42，其中所述层2.42包括布置在基板的与反射层2.2相对的一侧上的绝热材料。固体层2.42还用作反射镜元件的支撑件。固体层2.42的热绝缘保护反射镜元件不受产生自致动反射镜元件的热量的影响。
[0177]
可倾斜部分2的反射层2.2面向第一侧201，待被反射镜元件反射的光从该第一侧照射在反射层2.2上。该第一侧201对应于可倾斜部分2的第一侧201。与第一侧201相对，反射层2.2面向第二侧202，在该示例中，该第二侧对应于反射层2.2附接到基板2.1的一侧。第二侧202对应于可倾斜部分2的第二侧。基板2.1可以由合适的轻质聚合物形成。
[0178]
在图1的示例中，反射层2.2是平面的并且沿着主延伸平面400延伸。该平面400沿着与可倾斜部分相关联的笛卡尔坐标系的y轴(用标记为x、y和z的三个箭头示出)延伸，并且还包括该坐标系的x轴(这里假设该坐标系的原点o居中地布置在反射层2.2上)。该坐标系的相应z轴从主延伸平面垂直地延伸，特别地朝向反射层2.2的第一侧。在该示例中，z轴对应于装置1的光轴。
[0179]
可倾斜部分的坐标系与可倾斜部分2一起倾斜，即与可倾斜部分2相关的坐标系相对于与固定部分相关的坐标系的方位取决于可倾斜部分2的倾斜角α。特别地，在倾斜角α＝0
°
处，可倾斜部分2和固定部分3的坐标系具有相同的取向。为此，在图1中仅描绘了一个坐标系。
[0180]
除了笛卡尔坐标系之外，还适于定义柱面坐标系。对于该柱面坐标系，圆柱轴线位于旋转轴线100上，其中角坐标对应于可倾斜部分2的倾斜角α。角坐标α＝0
°
对应于固定部分3的z轴方向。每当可倾斜部分2倾斜偏离平衡状态时，角坐标可以借助于倾斜角α来描述倾斜状态，倾斜角α可以沿着一个倾斜方向以正值测量，并且沿着相反的倾斜方向以负值测量。柱面坐标系的径向坐标和径向方向由到旋转轴线100的距离给出。
[0181]
在该示例中，旋转轴线100基本上延伸穿过可倾斜部分2的基板2.1，并且可倾斜部分2的质心位于旋转轴线100上。
[0182]
为了描述装置1的部件的位置和取向，可以限定假想中心平面500，其中所述中心平面500垂直于旋转轴线100延伸并且在旋转轴线100的中心中点o'(靠近坐标系的原点)处与旋转轴线100相交，所述中心中点o'沿着旋转轴线100对称地划分旋转轴线100、基板2.1和/或容器2.4。
[0183]
根据本发明，装置1还包括致动器组件，该致动器组件基本上由两个部件组成，即线圈部分6和磁性组件5。这两个部件中的一个布置在可倾斜部分2上，其中这两个部件中的另一个布置在固定部分3上。在图1的示例中，线圈部分6布置在可倾斜部分2上，其中磁性组件5布置在固定部分3上。
[0184]
致动器组件作为整体被布置在致动空间300中的反射层2.2“后方”。特别地，致动器组件不完全围绕旋转轴线100，而是仅围绕所述轴线100的一部分，这允许装置1的紧凑设计，因为致动器组件没有布置成相对于旋转轴线横向地移位。
[0185]
图1所示的实施例包括线圈部分6，其部分地沿着假想的圆柱表面延伸，该假想的圆柱表面以其沿着装置1的旋转轴线100的圆柱轴线为中心。
[0186]
线圈部分6以半圆柱的方式从基板2.21的第二侧202向装置1的致动空间300延伸。致动空间300具体地为沿着与可倾斜部分相关联的坐标系的z轴从基板2.21的第二侧向前延伸的半空间，即，朝向固定部分3所在的空间。特别地，致动空间300沿着与固定部分3相关联的坐标系的z轴从反射层2.42或基板2.1朝向固定部分3延伸。
[0187]
因此，线圈部分6——更概括地是布置在可倾斜部分2上的致动器组件的部件——仅布置在基板2.1和旋转轴线100的一侧上。
[0188]
图1的示例中的线圈部分6具有部分地沿着假想圆柱表面延伸的弯曲带的形式。由于线圈部分6以旋转轴线100为中心，线圈部分6只进行旋转运动而不进行平移运动。
[0189]
线圈部分6包括具有导体(例如导线)的线圈6.1。线圈6.1具有总是沿着与可倾斜部分2相关联的坐标系的z轴指向的线圈轴线。线圈轴线是线圈6.1的假想轴线，导体围绕该假想轴线缠绕，并且由提供给线圈6.1的电流感生的磁场的主分量沿着该假想轴线定向。线圈轴线在本说明书中也称为绕组轴线。此外，线圈6.1具有沿着与线圈轴线垂直相交的假想表面的弯曲形状。该形状对应于线圈部分6的形状，并且部分地遵循假想的圆柱表面。
[0190]
线圈6.1沿所述假想圆柱表面具有类似正方形的横截面(也参见图3)。
[0191]
线圈部分6连接到容器2.4的绝热固体层2.42，并且因此基本上形成围绕旋转轴线100定心的中空半圆柱形带，并且延伸到致动空间300中。
[0192]
在图1中，磁性组件5布置在固定部分3上或由其构成。固定部分3布置成比可倾斜部分2径向地更远离旋转轴线100。磁性组件5以及因此在该示例中固定部分3还包括第一部分3.1，其包括磁性组件5的两个永磁体5.11、5.12。两个磁体中的一个磁体5.11定向成其磁极沿固定部分的坐标系的z轴平行，其中另一个磁体5.12定向成与所述z轴反平行。
[0193]
磁性组件5以及固定部分3包括第一区段3.3和第二区段3.4，其中每个区段3.3、3.4包括两个磁体5.11、5.12中的一个磁体。
[0194]
第一和第二区段3.3、3.4沿固定部分3的坐标系的x轴横向偏移地布置。第一区段3.1布置在第一角空间区段601中，其中第二区段3.4布置在第二角空间区段602中。
[0195]
第一角空间区段601位于假想的零度平面600的第一侧上，该平面包括旋转轴线100并且沿着与固定部分3相关联的坐标系的z轴延伸。因此，第二角空间区段602位于零度平面600的与第一侧相对的第二侧上。当装置处于其平衡位置时，即，假设倾斜角α＝0
°
，零度平面600与可倾斜部分的中间平面重合。中间平面可以与可倾斜部分2一起倾斜并且延伸通过旋转轴线100，并且在可倾斜部分2的倾斜状态下，中间平面与零度平面600围成倾斜角α。
[0196]
第一部分3.1的每个区段3.3、3.4具有面向弯曲的线圈部分6的致动面3.31、3.32。特别地，所述致动面部分地沿着或平行于线圈部分6的曲面延伸。在致动面3.31、3.32和线圈部分6之间形成间隙区段。这些间隙区段理想地相对较小并且刚好足够大以允许线圈6.1部分相对于固定部分3旋转并且允许由外部冲击引起的移动、热膨胀和制造公差。因此，致
动面3.31、3.32的表面可以遵循圆柱几何形状，以在线圈部分6和固定部分3/磁性组件5之间具有恒定的间隙宽度。
[0197]
在致动面3.31、3.32处，线圈部分6中的线圈6.1的导体沿着与固定或可倾斜部分相关联的坐标系的y轴延伸，使得当电流被提供给线圈6.1时，所产生的洛伦兹力将沿着x方向指向，从而在可倾斜部分2上感应出扭矩，该扭矩将使可倾斜部分2围绕旋转轴线100倾斜。
[0198]
第一部分3.1的两个区段3.3、3.4通过磁性组件5的基部3.5连接在第一部分3.1的基部。所述基部3.5由具有相对高的磁导率(与空气相比)的材料形成，使得磁体5.11、5.12的磁场集中在基部3.5中。
[0199]
根据图1的装置1还包括固定部分3的第二部分3.2，其中所述第二部分3.2被布置成比线圈部分6更靠近旋转轴线100。因此第二部分3.2被布置在形成于线圈部分6的弯曲带和容器2.4的固体层2.42之间的中空空间中。
[0200]
第二部分3.2由支撑结构3.6支撑，该支撑结构从第一部分3.1，特别是从基部3.5，通过包括线圈轴线的线圈6.1的开口朝向旋转轴线100延伸。因此，支撑结构3.6基本上居中地布置在装置1中。支撑结构3.6限制线圈部分6的旋转并且可以用作硬止挡。
[0201]
第二部分3.2布置在支撑结构3.6的顶部上，并且包括第二部分面3.21，该第二部分面面向线圈部分6并且特别地具有部分地遵循假想圆柱表面的形状。第二部分3.2在两个角空间区段601、602中延伸，并且可以由具有相对高的磁导率(与空气相比)的材料的实心件形成。第二部分3.2可以形成为圆柱区段。
[0202]
在第二部分面3.21和线圈部分6之间形成另一个间隙，允许线圈部分6相对于第二部分3.2旋转。
[0203]
第二部分3.2允许将装置1的磁通量集中在线圈部分6附近。
[0204]
在线圈部分6附近，固定部分3，特别是第一和第二部分3.1、3.2，具有冷却通道7，其被配置成输送液体或气体冷却剂，以将由于提供给线圈6.1的电流而在线圈部分6处产生的热量带走。这些冷却通道7可以部分地沿着固定部分3的y轴延伸。
[0205]
装置1还包括轴承组件4，其被配置成将可倾斜部分2支撑在固定部分3上。本发明的说明书中公开了用于合适轴承组件的若干实施例。特别地，在说明书中以单独的实施例公开了合适的轴承组件4。
[0206]
在图1中，轴承组件4包括两个轴承4.1、4.2，每个轴承布置在旋转轴线100的一端，使得可倾斜部分2可旋转地安装在固定部分3上。
[0207]
电流可以借助于电接触(未示出)经由轴承组件4提供给线圈部分6中的线圈6.1。
[0208]
在图2中，示出了与图1类似的实施例。因此，对于装置1的相同或类似的部件或特征，附图标记是相同的。并且为了避免不必要的冗余，重点放在不同的特征和部件上，而图1的基本相同的特征和部件在本段中不重复，而是也适用于图2的实施例。
[0209]
除了图1所示的实施例之外，在图2中，示出了作为固定部分3的一部分的壳体结构3.7。壳体结构3.7在固定部分3的一侧上支撑轴承组件4。
[0210]
轴承组件4包括两个部分，每个部分都是沿着旋转轴线100突出的梁4.4的形式。两个部分4.4形成为轴或销，其通过轴延伸到其中的凹槽4.5支撑在固定部分的侧面上。
[0211]
此外，轴承组件4包括两个弹簧元件4.3形式的弹性结构，所述弹性结构在一侧上
连接到固定部分3，即壳体结构3.7，并且在另一侧上连接到基板2.1的容器4。弹性结构4.3提供预加载，使得平衡状态被明确地限定，并且使得当可倾斜部分2呈现不同于α＝0
°
的倾斜角时产生回复力。
[0212]
与图1所示的实施例相比，固定部分3的第二部分3.2支撑在形成第二部分3.2的支撑结构3.6的壳体结构3.7上。因此，支撑结构3.6不延伸穿过线圈6.1的开口，而是沿着旋转轴线100进一步横向延伸以由壳体结构3.7支撑。在第二部分3.2上布置印刷电路板3.8。
[0213]
印刷电路板3.8包括传感器(未示出)，该传感器被配置成提供关于可倾斜部分2的旋转位置(即，倾斜状态)的反馈。
[0214]
此外，印刷电路板3.8可以包括温度传感器(未示出)、非暂时性存储器(未示出)，例如eeprom，以存储设备特定操作参数。
[0215]
在图3中，示出了图1和2的实施例的线圈6.1的表示。线圈6.1包括线圈轴线6.2和具有围绕线圈轴线6.2圆周布置的铜线的导体6.3。这样，线圈6.1可以被称为扁平线圈。然而，线圈6.1沿着假想的圆柱表面弯曲，因此采用部分地沿着所述圆柱表面的延伸。导体6.3布置在圆柱形平面中。具有这种形状的线圈6.1特别适合于根据本发明的装置1。
[0216]
在图4a、图4b和4c以及图5a和5b中，示出了装置1的各种不同的实施例。与图1和图2的实施例相比，这些实施例具有布置在可倾斜部分2上的磁性组件5和布置在固定部分3上的线圈部分6。
[0217]
相似或相同的特征和部件用相同的附图标记表示，并且可以不再详细描述，但是读者可以参考本说明书的前述实施例的描述。
[0218]
在图4a和图4b中，磁性组件5布置在可倾斜部分2上，使得其延伸到致动空间300中，并且其磁极n、s沿着与可倾斜部分2相关联的坐标系的x轴布置。
[0219]
图4a中的磁性组件5由单个永磁体5.10构成，其具有沿着以旋转轴线100为中心的圆柱表面延伸的致动面5.2。因此，磁体5.10基本上形成为附接到容器2.4的固体层2.42或基板2.1的实心半圆柱形部件。
[0220]
与磁性组件5的致动面5.2相对，包括线圈部分6的固定部分3布置在致动空间300中，该致动空间具有面向(第一和第二致动面)磁体组件5的致动面3.31、3.32，并且具有与磁体组件5的致动面基本上相同或至少部分相同的形状，使得在固定部分3和可倾斜部分2之间形成间隙。
[0221]
固定部分3包括包含在第一角空间区段601中的第一区段3.3'，其中线圈6.1的第一导体区段6.31布置在固定部分3的第一致动面3.31'处，其中第一导体区段6.31在致动面3.31'处沿着旋转轴线100延伸。
[0222]
类似地，固定部分3包括包含在第二角空间区段602中的第二区段3.4'，其中线圈6.1的第二导体区段6.32布置在固定部分3的第二致动面3.32'(其位于第二区段3.4')处，其中第二导体区段6.32在第二致动面3.32'处沿着旋转轴线100延伸，但是使得当电流被提供给线圈6.1时，第二导体区段6.32中的电流在与第一导体区段6.31中的电流相反的方向上流动。
[0223]
固定部分3包括在180
°
的角方向(即，在装置不能呈现的180
°
的理论倾斜角)处的凹部9，其被配置和布置成引导磁性组件5的磁场，以实现通过线圈的磁通量的期望方向和强度，在线圈中可促进空气流动，以提供远离线圈部分6的热对流的手段。
[0224]
图4a和图4b中的固定部分3包括在装置1的底部连接固定部分3的第一和第二区段3.3'、3.4'的基部3.5。
[0225]
此外，固定部分3，特别是在线圈部分6附近，可以包括用于输送冷却剂的冷却通道(未示出)。固定部分3可以由铁(fe)制成。
[0226]
图4b中示出了与图4a的实施例类似的实施例。相反，与图4a相比，磁性组件5包括单独的铁磁性部分，这里是铁部分5.3。此外，磁性组件5的面向致动空间300内部的表面5.2不是沿着具有圆形基部区域的圆柱体的表面延伸，而是沿着具有椭圆形基部区域的圆柱体延伸。
[0227]
固定部分3的形状，特别是固定部分3/线圈部分6的致动面3.31'、3.32'可以相应地形成或与图4a的实施例或磁性组件5的表面5.2相同地形成。
[0228]
在图4c中，磁性组件5包括两个隔室5.41、5.42，其中这两个隔室分别沿着磁化轴线5.5磁化。磁化轴线5.5从南极延伸到北极，反之亦然。磁化轴线5.5彼此成一定角度，特别是成基本上120
°
的角度地、径向远离旋转轴线100地朝向致动空间300延伸。特别地，在非倾斜状态下，线圈部分6的第一区段6.31通过布置在其磁化轴线5.5上而被分配给一个隔室5.41，并且线圈部分6的第二部分6.32通过布置在另一个磁化轴线5.5上而被分配给另一隔室5.42。优选地，在最大倾斜时，磁化轴线5.5分别不与非指定的第一线圈区段6.31或第二线圈区段6.32重叠。例如，磁化轴线5.5以相对于彼此至多120
°
的角度延伸。特别地，两个隔室5.41、5.42沿着它们各自的磁化轴线5.5在相反的方向上被磁化，其中一个隔室5.41的南极背离旋转轴线200，并且另一个隔室5.42的北极背离旋转轴线100。
[0229]
优选地，磁化方向相对于彼此的角度对应于线圈部分的第一区段相对于线圈部分的第二区段的角度。
[0230]
与图4的实施例相比，在图5a和图5b中，磁性组件5的磁极沿与可倾斜部分2相关联的坐标系的z轴取向。
[0231]
磁性组件5的面向致动空间300的表面5.2类似于图4b中的实施例的表面，即部分地沿着具有椭圆形基部区域的假想圆柱表面延伸。因此，磁性组件5作为整体基本上形成为实心的半圆柱形部件。
[0232]
图5a中的实施例具有由单个永磁体5.10组成的磁性组件5。
[0233]
线圈部分6设置在固定部分3上。然而，由于与图4的实施例相比磁极n、s的不同取向，线圈部分6中的线圈6.1布置成与它们的沿着与固定部分3相关联的坐标系的x轴取向的线圈轴共线。在所示的示例中的线圈部分6包括分别布置在固定部分3的第一和第二区段3.3'、3.4'中的两个线圈6.1。
[0234]
导体6.3平行于中心平面600或垂直于磁性组件5附近的线圈轴线的旋转轴线100延伸。
[0235]
两个线圈6.1的导体6.3的缠绕方向相同，使得在固定部分3的致动面3.31'、3.32'上延伸的第一导体区段6.31中，电流在相同的方向上流动，这里平行或反平行于旋转轴线100，使得电流的方向，即固定部分3的致动面3.31'、3.32'上的第一导体区段6.31和磁性组件5的磁体5.10的磁通量基本上垂直，使得所产生的洛伦兹力可以被最大化。
[0236]
第二导体区段6.32在装置1的基部3.5处沿另一方向延伸。线圈6.1的导体6.3缠绕在固定部分3的固体化合物周围，其中固体化合物优选地具有高磁导率。包含铁或由铁组成
的化合物可能是合适的。
[0237]
在图5b中，示出了与图5a中类似的实施例。与图5a相比，磁性组件5沿中心平面500具有蘑菇形横截面。蘑菇形磁性组件5定向成蘑菇头部5.3比蘑菇杆部径向更远，即“上下颠倒”。
[0238]
蘑菇头部5.3部分包括铁或由铁构成，其中蘑菇杆部包括永磁体5.10，该永磁体的磁极n、s沿着与可倾斜部分2相关联的坐标系的z轴取向。蘑菇头部5.3的外表面5.2限定相对于固定部分3的间隙几何形状，并且允许可倾斜部分2围绕旋转轴线100旋转，而不与其表面相应地形成的固定部分3碰撞。
[0239]
因此，磁性组件5提供了磁性组件5的特别轻质的实施例。
[0240]
固定部分3包括线圈部分6，其中线圈部分6仅由单个线圈6.1组成。线圈轴线沿着与固定部分3相关联的坐标系的x轴取向。类似于图5a，导体6.3沿着零度平面600缠绕——在图5b的实施例中，导体6.3在零度平面上延伸，与磁体5.10的磁极n、s的取向共线。
[0241]
在图6中，示出了装置1的可选实施例，其在磁通量相对于旋转轴线100的方向方面与先前的实施例特别不同。
[0242]
尽管在图1、2和4的实施例中，磁性部分5被布置成使得用于引起洛伦兹力的磁通量基本上沿着径向方向延伸穿过线圈部分6，但是在图6的实施例中，磁通量基本上沿着旋转轴线100延伸穿过线圈部分6。
[0243]
图6中的装置包括平面盘状线圈部分6，其在垂直于旋转轴线100的中心平面500上平面延伸。
[0244]
线圈部分6包括在盘的边沿部分处沿盘形线圈部分6周向延伸的线圈6.1。
[0245]
线圈部分6沿中心平面500具有基本上梯形的形状。
[0246]
线圈部分6包括两个致动边沿部分(被磁体5.12和5.11覆盖，即不可见)，其从旋转轴线100开始沿着柱面坐标系的角坐标方向与零度平面600围成相反的角度，并且沿着所述角度径向对称地延伸，使得每个致动边沿部分形成线圈部分6的基本上直的边沿部分。
[0247]
在底部边沿部分，线圈部分6连接所述致动边沿部分。
[0248]
包括在线圈部分6中的线圈6.1的导体6.3沿着致动边沿部分和底部边沿部分布置。
[0249]
线圈轴线沿着旋转轴线100定向，但是以0
°
(或更精确地180
°
)角位置沿着与可倾斜部分2相关联的坐标系的z轴径向向内定位到致动空间300中。
[0250]
磁性组件5布置在固定部分3上，并且被配置成在线圈部分6处呈现基本上沿着旋转轴线100延伸的磁通量。
[0251]
磁性组件5包括四个单独的永磁体5.11、5.12、5.14，它们的磁极沿着旋转轴线100定向。由于立体图的原因，一个磁体是不可见的。
[0252]
磁性组件5包括第一和第二部分3.3、3.5。磁性组件5的第一部分3.1布置在中心平面500的第一侧上(并且因此在平面线圈部分的第一侧上)，其中磁性组件5的第二部分3.2布置在中心平面500的第二侧、亦即相对侧上(并且因此在平面线圈部分的第二侧上)。
[0253]
第一部分3.1和第二部分3.2各自包括四个磁体5.11、5.12、5.14中的两个磁体。
[0254]
第一和第二部分3.1、3.2各自包括第一和第二区段3.3、3.4，其中第一区段3.3布置在第一角空间区段601中，第二区段3.4布置在第二角空间区段602中。在说明书中已经预
先定义了角空间区段。
[0255]
磁性组件5的每个区段3.3、3.4包括四个磁体中的一个磁体。
[0256]
包括在第一区段3.3中的磁体5.11的磁极彼此对齐，其中包括在第二区段4.3中的磁体5.12、5.14的磁极彼此对齐，但是与第一区段3.3中的磁体5.11的磁极方向相反。
[0257]
第一区段3.3中的磁体5.11以及第二区段3.4中的磁体5.12、5.14被布置成沿着旋转轴线100共线。
[0258]
注意，致动边沿部分在不同的角空间区段601、602中延伸，使得线圈6.1的导体6.3在分别在第一或第二区段3.3、3.4中共线布置的磁体5.12、5.14、5.11之间延伸。
[0259]
底部边沿部分比磁体5.11、5.12、5.14径向延伸得更远，使得当线圈被提供有电流时，通过底部边沿部分和其中的导体6.3的磁通量相对于其中主要感生洛伦兹力的致动边沿部分减小。
[0260]
平行于中心平面500，磁体5.11、5.12、5.14在它们沿所述平面500的横截面中具有基本上梯形形状，其中梯形形状的主轴以与线圈部分6的致动边沿区段的角度相同的角度定向。因此，磁体5.11、5.12、5.14覆盖了其中磁通量基本上恒定的角区段(相对于柱面坐标系的角坐标)，使得可以实现该角区段内的致动。
[0261]
在图7中，示出了示例性实施例的示意性截面图。在该实施例中，轴承组件4包括滚子轴承，该滚子轴承至少部分地布置在固定部分3和可倾斜部分2之间。旋转轴线100在反射层2.2中延伸。例如，滚子轴承包括固定地附接到倾斜部分2的第一保持架元件4.61和固定地附接到固定部分3的第二保持架元件4.62，以及布置在第一保持架元件4.61和第二保持架元件4.62之间的滚动元件4.63。特别地，第一保持架元件4.61和第二保持架元件4.62或滚动元件4.63包括多个旋转对称元件4.64，其使得第一保持架4.61、第二保持架4.62和滚动元件能够相对运动。旋转对称元件4.65可以具有球形、针形、圆柱形、吨形(ton shape)或锥形，其中旋转对称元件4.65被布置成围绕其旋转对称轴线旋转。特别地，第一保持架元件4.61和第二保持架元件4.62具有弯曲形状，其沿着假想圆柱表面延伸，其中该假想圆柱表面围绕旋转轴线100以恒定的距离延伸。
[0262]
磁性组件5包括两个隔室5.41、5.42，其中这两个隔室分别沿着磁化轴线5.5磁化。磁化轴线5.5从南极延伸到北极，反之亦然。磁化轴线5.5彼此成一定角度，特别是成基本上120
°
的角度地、径向远离旋转轴线100地朝向致动空间300延伸。特别地，在非倾斜状态下，线圈部分6的第一区段6.31通过布置在其磁化轴线5.5上而被分配给一个隔室5.41，并且线圈部分6的第二区段6.32通过布置在另一个磁化轴线5.5上而被分配给另一隔室5.42。优选地，在最大倾斜时，磁化轴线5.5分别不与非指定的第一线圈区段6.31或第二线圈区段6.32重叠。例如，磁化轴线5.5以相对于彼此至多120
°
的角度延伸。特别地，两个隔室5.41、5.42沿着它们各自的磁化轴线5.5在相反的方向上被磁化，其中一个隔室5.41的南极背离旋转轴线200，并且另一个隔室5.42的北极背离旋转轴线100。
[0263]
优选地，磁化方向相对于彼此的角度对应于线圈部分的第一区段相对于线圈部分的第二区段的角度。
[0264]
根据本发明的装置1允许用于通过洛伦兹力倾斜反射镜的装置的紧凑的轻质设计。
[0265]
根据第一方面，线圈部分6由可倾斜部分2包括，并且磁性组件5由固定部分3包括。
[0266]
根据第二方面，线圈部分6沿着以旋转轴线100为中心的假想曲面，特别是圆柱表面，远离反射层2.2延伸到致动空间300中，其中一个或多个线圈6.1的导体6.3围绕线圈6.1的绕组轴线6.2圆周地延伸，绕组轴线6.2相对于旋转轴100垂直地延伸，其中每个线圈6.1的导体6.3沿着所述假想曲面延伸。
[0267]
根据第三方面，磁性组件5包括第一部分3.1，该第一部分3.1被布置成比线圈部分6在径向上更远离旋转轴线100，其中第一部分3.1包括第一区段3.3，该第一区段3.3被布置在相对于旋转轴线100的第一角空间区段601中，其中第一区段3.3具有面向线圈部分6的第一致动面3.31，在线圈部分6和第一区段3.3之间形成第一间隙区段，并且其中第一部分3.1还包括第二区段3.4，该第二区段3.4被布置在相对于旋转轴线100的第二角空间区段602中，其中第二区段3.4具有面向线圈部分6的第二致动面3.32，从而在线圈部分6和第二区段3.4之间形成第二间隙区段，其中由磁性组件5产生的磁场从第一致动面3.31经由第一间隙区段朝向线圈部分6延伸，并且从线圈部分6经由第二间隙部分延伸到磁性组件5的第二区段3.4中，使得当向一个或多个线圈6.1、6.2提供电流时，磁场以允许产生用于移动线圈部分6的洛伦兹力的方式延伸通过该一个或多个线圈6.1、6.2。
[0268]
根据第四方面，磁性组件5包括磁性组件5的第二部分3.2，其被布置成比线圈部分6在径向上更靠近旋转轴线100，其中第二部分3.2具有沿着或切向于线圈部分6延伸的第二部分面3.21，从而在线圈部分6和第二部分面3.21之间形成间隙，特别地其中磁场在磁性组件5的第二部分3.2内部从第一角空间区段601朝向第二角空间区段602延伸，特别地其中第二部分3.2包括具有大于一的磁导率的化合物，特别地其中第二部分3.2包括铁磁化合物。
[0269]
根据第五方面，磁性组件5包括连接第一部分3.1的第一区段3.3和第二区段3.4的基部3.5，特别地其中基部3.5包括具有大于一的磁导率的化合物，特别地其中基部3.5包括铁磁化合物。
[0270]
根据第六方面，第二部分3.2通过延伸穿过线圈部分6的自由中心部分的支撑结构3.6连接到第一部分3.1，其中支撑结构3.5在第一区段3.3和第二区段3.4之间延伸，特别地其中支撑结构3.5包括具有大于40w/m/k，特别地大于100w/m/k的热导率的化合物，特别地其中支撑结构3.5包括顺磁化合物，更特别地其中该化合物包括铝。
[0271]
根据第七方面，磁性组件5包括冷却通道7，其被配置为使冷却剂，特别是液体冷却剂流过磁性组件5，使得在线圈部分5处产生的热可以由冷却剂消散，特别是其中冷却通道7是液密的。
[0272]
根据第八方面，线圈部分6形成为平面的，特别是盘形的部分，其延伸到致动空间300中并且正交于旋转轴线100定向，其中，一个或多个线圈6.1的导体6.3围绕线圈6.1的绕组轴线6.2周向地延伸，绕组轴线平行于旋转轴线100延伸，特别地其中，一个或多个线圈6.1中的每一个的周长比沿着绕组轴线6.2的线圈高度大至少10倍，特别地其中，一个或多个线圈6.1是扁平线圈。
[0273]
根据第九方面，磁性组件5包括布置在线圈部分6的第一侧501上的第一部分3.1，其中第一部分3.1包括第一区段3.3，该第一区段3.3被布置在相对于旋转轴线100的第一角空间区段601中，其中第一区段3.3具有面向线圈部分6的第一致动面，在线圈部分6和第一区段3.1之间形成第一间隙区段，并且其中第一部分3.1还包括第二区段3.4，该第二区段3.4被布置在相对于旋转轴线100的第二角空间区段602中，其中第二区段3.4具有面向线圈
部分5的第二致动面，从而形成在线圈部分与第二致动面之间的第二间隙区段，其中由磁性组件5产生的磁场从第一致动面经由第一间隙区段朝向线圈部分6延伸，并且从线圈部分6经由第二间隙部分延伸到磁性组件5的第二致动面，使得当向一个或多个线圈6.1提供电流时，磁场以允许产生用于移动线圈部分6的洛伦兹力的方式延伸通过该一个或多个线圈6.1。
[0274]
根据第十方面，磁性组件5包括布置在线圈部分6的第二侧502上的第二部分3.2，其中第二部分3.2包括第一区段3.3，该第一区段3.3被布置在相对于旋转轴线100的第一角空间区段601中，其中第一区段3.3具有面向线圈部分5的第一致动面，在线圈部分5和第一区段3.3之间形成第一间隙区段，并且其中第二部分3.1还包括相对于旋转轴线100布置在第二角空间区段602中的第二区段3.4，其中第二区段3.4具有面向线圈部分6的第二致动面，从而形成在线圈部分6与第二致动面之间的第二间隙区段，其中由磁性组件5产生的磁场从第一部分3.1的第一区段3.3经由第一间隙区段延伸到第二部分3.2的第一区段3.3，并且从第二部分3.2的第二区段3.4经由第二间隙区段延伸到第一部分3.1的第二区段3.4，使得当向一个或多个线圈6.1提供电流时，磁场以允许产生用于移动线圈部分的洛伦兹力的方式延伸通过线圈部分6的一个或多个线圈6.1。
[0275]
根据第十一方面，磁性组件5的第一部分3.1的第一区段3.3和第二区段3.4各自包括永磁体5.11、5.12，其中磁体5.11、5.12关于它们的磁极具有相反的取向，并且特别地其中磁性组件5的第二部分3.2的第一区段3.3和第二区段3.4各自包括永磁体5.14，其中永磁体5.14关于它们的磁极具有相反的取向，其中包括在第一部分3.1和第二部分3.2的第一区段3.3中的磁体5.11关于它们的磁极具有相同的取向，并且其中包括在第一部分3.1和第二部分3.2的第二区段3.4中的磁体5.12、5.14关于它们的磁极具有相同的取向。
[0276]
根据第十二方面，磁性组件5包括在第一部分3.1的第一区段3.3与第二区段3.4之间延伸的第一返回部分，并且其中磁性组件5包括在第二部分3.2的第一区段3.3与第二区段3.4之间延伸的第二返回部分，特别地其中第一返回部分和/或第二返回部分包括具有大于一的磁导率的化合物，特别地其中第一返回部分和/或第二返回部分包括铁磁化合物。
[0277]
根据第十三方面，一个或多个线圈6.1经由轴承组件4电接触，该轴承组件包括用于一个或多个线圈6.1的电接触，使得电流能够被提供给一个或多个线圈6.1，特别地其中电接触被布置在第一和/或第二轴承6.1处或第一和/或第二轴承6.1中。
[0278]
附图标记列表
[0279]
1可倾斜反射镜装置
[0280]
2可倾斜部分
[0281]
2.1基板
[0282]
2.2反射层
[0283]
2.4容器
[0284]
2.41支架保持器
[0285]
2.42固体保持器
[0286]
3固定部分
[0287]
3.1第一部分
[0288]
3.2第二部分
[0289]
3.21第二部分面
[0290]
3.31'、3.32'、3.31、3.32固定部分的致动面
[0291]
3.3、3.3'第一区段
[0292]
3.4、3.4'第二区段
[0293]
3.5基部
[0294]
3.7壳体结构
[0295]
3.8电路板
[0296]
4轴承组件
[0297]
4.1第一轴承
[0298]
4.2第二轴承
[0299]
4.3弹簧元件
[0300]
4.4梁
[0301]
4.5凹槽
[0302]
5磁性组件
[0303]
5.2致动面
[0304]
5.10磁体
[0305]
5.11、5.12、5.13、5.14磁体
[0306]
5.3铁部分
[0307]
6线圈部分
[0308]
6.1线圈
[0309]
6.2绕组轴线、线圈轴线
[0310]
6.3导电体
[0311]
6.31第一导体区段
[0312]
6.32第二导体区段
[0313]
9凹部
[0314]
100旋转轴线
[0315]
201第一侧
[0316]
202第二侧
[0317]
300致动空间
[0318]
400延伸平面
[0319]
500假想中心平面
[0320]
600零度平面
[0321]
601、602角空间区段
[0322]
o'中心中点