曝光机、触控显示装置的制作方法及触控显示装置与流程

1.本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种曝光机、触控显示装置的制作方法及触控显示装置。


背景技术：

2.在制作显示装置过程中，光刻工艺(photo engraving process，pep)是必不可少的工艺之一，光刻工艺包括光刻胶涂布、曝光、显影、蚀刻及光刻胶剥离等工序。在光刻工艺中利用曝光机进行曝光时，为了实现各层之间图形重合度达到像素级的对位，一个重要的条件就是需要曝光机准确识别设置在基板上的对位标记(alignment mark)，以进行曝光机对准，实现各层图形对位。
3.例如在制作彩色滤光(color filter，cf)基板时，在玻璃底板的四周设置有对位标记，当在玻璃底板两侧形成光刻图案时，在曝光过程中，将玻璃底板设置的对位标记作为曝光机识别的对准点，进行曝光。
4.近年来，on-cell触控显示装置被广泛应用，是目前主流的触控结构之一。在制作on-cell触控显示装置时，需要在薄膜晶体管(thin film transistor，tft)基板与彩色滤光基板组装完成后，在彩色滤光基板上远离薄膜晶体管基板一侧表面制作触控感测层。
5.制作触控感测层的过程需要在彩色滤光片基板远离薄膜晶体管基板的一侧的表面通过物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)镀膜形成金属膜，然后再对金属膜进行光刻工艺以形成图案化的触控感测层。由于镀膜后形成金属膜会覆盖整个彩色滤光片基板的表面，且金属膜不透光，会将彩色滤光基板上另一侧的对位标记遮挡住。为了避免后续的光刻工艺制作的触控感测层发生偏移而造成触控功能异常，制作触控感测层的光刻工艺同样也同样需要使用对位标记进行对准曝光，因此，在将金属膜图案化形成触控感测层前还需先将彩色滤光基板上另一侧的对位标记从金属膜层一侧显现出来。
6.目前常用的做法是通过在金属膜层上滴酸蚀刻使对位标记显现，具体是通过滴酸机将不透明的金属膜层腐蚀，但滴酸制程会产生黑点腐蚀、漏滴、蚀刻不良、酸液扩散等问题，严重影响产能和良率，同时还要增加相应的设备及人力成本等。


技术实现要素：

7.本发明的目的在于提供了一种曝光机、触控显示装置的制作方法及触控显示装置，利用该曝光机及制作方法制作的触控显示装置能提升的产品良率，降低了成本。
8.本发明解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。本发明实施例公开了一种曝光机，包括载台，所述载台具有呈2
×
2阵列排布或2
×
3阵列排布的多个入镜区域；每个所述入镜区域相对的两侧均设有一组ccd对位相机，在x方向上相邻的两个入镜区域之间共设一组所述ccd对位相机；每组所述ccd对位相机内包括1至3个所述ccd对位相机。
9.在本发明的一个实施例中，所述载台具有呈2
×
2阵列排布或2
×
3阵列排布的多个入镜区域；所述载台上设有一组可移动的ccd对位相机，每组所述ccd对位相机内包括1至3
个所述ccd对位相机，所述载台设有供所述ccd对位相机移动的轨道以使所述ccd对位相机依次移动至每个所述入镜区域的两侧。
10.在本发明的一个实施例中，所述曝光机具有两个所述载台，其中一个所述载台具有呈2
×
2阵列排布的四个入镜区域，另一个所述载台具有呈2
×
3阵列排布的六个入镜区域。
11.在本发明的一个实施例中，每个所述ccd对位相机旁对应设有一个激光头。
12.本发明还公开了一种触控显示装置的制作方法，包括：提供显示基板，所述显示基板包括相对设置的阵列基板和彩色滤光基板，所述阵列基板远离所述彩色滤光基板一侧设有多个定位标记，所述彩色滤光基板远离所述阵列基板一侧的表面设有金属膜层；在所述金属膜层上涂布光刻胶；提供上述的曝光机，将具有所述光刻胶的所述显示基板放置在所述曝光机的载台上并使所述阵列基板具有多个所述定位标记的一侧面向所述载台；利用所述ccd对位相机识别多个所述定位标记以对所述显示基板进行定位；以及在对所述显示基板进行定位后，对所述彩色滤光基板上的所述光刻胶进行曝光。
13.在本发明的一个实施例中，当在每个所述入镜区域相对的两侧均设有一组所述ccd对位相机时，利用所述ccd对位相机识别多个所述定位标记以对所述显示基板进行定位的方法包括：利用每个所述入镜区域两侧的两组所述ccd对位相机识别位于该入镜区域两侧的所述定位标记。
14.在本发明的一个实施例中，当所述ccd对位相机为可移动时，利用所述ccd对位相机识别多个所述定位标记以对所述显示基板进行定位的方法包括：移动所述ccd对位相机依次识别位于每个所述入镜区域两侧的所述定位标记。
15.在本发明的一个实施例中，所述载台上还设有多个第一调整销和多个第二调整销；多个所述第一调整销分别设置在所述显示基板沿x方向的两侧，多个所述第二调整销分别设置在所述显示基板沿y方向的两侧。
16.在本发明的一个实施例中，当在每个所述ccd对位相机旁对应设有一个所述激光头时；在所述阵列基板上设置多个所述定位标记的方法包括：将所述阵列基板放置在所述载台上，利用所述激光头在所述阵列基板上打印出所述定位标记。
17.本发明还公开了一种触控显示装置，由上述的触控显示装置的制作方法制作形成。
18.本发明实施例公开的曝光机、触控显示装置的制作方法及触控显示装置中，将曝光机的对位方法从现有的彩色滤光基板一侧调整至阵列基板一侧，无需从彩色滤光基板一侧对金属膜层使用滴酸制程，避免了滴酸制程中出现的黑点腐蚀、漏滴、蚀刻不良、酸液扩散等问题，提升触控显示装置的产品良率；同时还减少设备成本，以及相应的滴酸人力成本，设备管理成本等。
附图说明
19.图1为本发明第一实施例中显示基板的结构示意图。
20.图2为本发明第一实施例中显示基板在曝光机的载台时的示意图。
21.图3为本发明第一实施例中曝光机的载台的结构示意图。
22.图4为本发明第一实施例中显示基板在曝光机的载台时的另一示意图。
23.图5为本发明第一实施例中打印与对位组件的结构示意图。
24.图6为本发明第二实施例中曝光机的载台的结构示意图。
25.图7为本发明第三实施例中曝光机载台的工作过程示意图。
26.图8为本发明另一实施例中曝光机的载台的工作过程示意图。
具体实施方式
27.下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
28.[第一实施例]
[0029]
本发明第一实施例提供的触控显示装置的制作方法，包括：
[0030]
提供显示基板1，如图1所示，显示基板1包括相对设置的阵列基板11和彩色滤光基板12；其中，阵列基板11远离彩色滤光基板12一侧设有多个定位标记111，彩色滤光基板12远离阵列基板11一侧的表面设有金属膜层13。阵列基板11和彩色滤光基板12之间还夹设有液晶层(图未绘示)，阵列基板11面向彩色滤光基板12一侧设有薄膜晶体管阵列等，彩色滤光基板12面向阵列基板11一侧设有黑矩阵(图未标注)和色阻层(图未标注)等，此为本领域技术人员所熟知，在此不再赘述。
[0031]
在金属膜层13上涂布光刻胶14。金属膜层13整面覆盖在彩色滤光基板12远离阵列基板11一侧的表面，金属膜层13为不透光的导光金属沉积形成。光刻胶14整面覆盖金属膜层13。
[0032]
如图2所示，提供曝光机，将具有光刻胶14的显示基板1放置在曝光机的载台2上并使阵列基板11具有多个定位标记111的一侧面向曝光机的载台2，载台2上设有至少一个ccd对位相机211。具体地，ccd对位相机211为微型传感器结构，可嵌设在载台2。
[0033]
利用ccd对位相机211识别多个定位标记111以对显示基板1进行定位。曝光机设有定位系统，定位系统接收到ccd对位相机211识别的多个定位标记111后，判断显示基板1的位置是否需要调整，以方便后续曝光制程。
[0034]
在对显示基板1进行定位后，对彩色滤光基板12上的光刻胶14进行曝光。光刻胶14曝光后还需要对金属膜层13显影、蚀刻及光刻胶剥离等工序，使金属膜层13最终形成触控感测层，此为本领域技术人员所熟知，在此不再赘述。
[0035]
本发明实施例的触控显示装置的制作方法将曝光机的对位方法从现有的彩色滤光基板一侧调整至阵列基板一侧，无需从彩色滤光基板一侧对金属膜层使用滴酸制程，避免了滴酸制程中出现的黑点腐蚀、漏滴、蚀刻不良、酸液扩散等问题，提升产品良率；同时还减少了设备成本，以及相应的滴酸人力成本、设备管理等成本。
[0036]
本实施例中，在曝光机的载台上固定设置了多个ccd对位相机211。
[0037]
进一步地，载台2具有多个入镜区域20。如图3所示，本实施例的载台2上具有四个入镜区域20，呈2
×
2阵列排布。入镜区域20是指曝光机每次识别定位标记111时所能覆盖的范围。曝光机依次识别每个入镜区域20内的定位标记111，然后综合所有定位标记111的数据调整阵列基板1的位置。
[0038]
进一步地，每个入镜区域20相对的两侧均设有一组ccd对位相机211。定义载台2的宽度方向为x方向，长度方向为y方向，在x方向上相邻的两个入镜区域20共用一组ccd对位
相机。即曝光机识别上排左侧入镜区域20的定位标记111时，使用该入镜区域20左侧和中间的两组ccd对位相机211；曝光机识别上排右侧入镜区域20的定位标记111时，使用中间和该入镜区域20右侧的两组ccd对位相机211。也即是说，利用ccd对位相机211识别多个定位标记111以对显示基板1进行定位的方法包括：利用每个入镜区域20两侧的两组ccd对位相机211识别位于该入镜区域20两侧的定位标记111。
[0039]
进一步地，每组ccd对位相机211内包括1至3个ccd对位相机211。本实施例中，如图3所示，每组ccd对位相机内包括3个ccd对位相机211，该3个ccd对位相机211沿y方向间隔设置。
[0040]
进一步地，如图4所示，载台2上还设有多个第一调整销221和多个第二调整销222；多个第一调整销221分别设置在显示基板1沿x方向的两侧，多个第二调整销222分别设置在显示基板1沿y方向的两侧。第一调整销221和第二调整销222用于微调显示基板1的位置，避免显示基板1偏移出ccd对位相机211的视野范围。
[0041]
进一步地，载台2上还设有至少一个激光头212。具体地，每个ccd对位相机211旁对应设一个激光头212；在阵列基板11上设置多个定位标记111的方法包括：将阵列基板11放置在载台2上，利用激光头212在阵列基板11上打印出定位标记111。
[0042]
具体到本实施例中，如图5所示，ccd对位相机211与激光头212并列设置以形成打印与对位组件21，打印与对位组件21内的ccd对位相机211与激光头212设置在同一位置，更方便ccd对位相机211识别激光头212打印的定位标记111，且可使用同一台曝光机制作定位标记111和给显示基板1定位。例如，在阵列基板11与彩色滤光基板12未组装之前，可先用曝光机在阵列基板11上用激光头212打印出对位标记111。对位标记111的数量的位置可根据显示基板1的尺寸等适当选择，在此不受限制。
[0043]
[第二实施例]
[0044]
如图6所示，本实施例与第一实施例的区别在于，载台2上设有一组可移动的ccd对位相机211，每组所述ccd对位相机211内包括1至3个所述ccd对位相机211。当ccd对位相机211为可移动时，利用ccd对位相机211识别多个定位标记111以对显示基板1进行定位的方法包括：移动ccd对位相机211依次识别每个入镜区域20两侧的定位标记111。
[0045]
相应地，曝光机的载台2设有供ccd对位相机211移动的轨道以使ccd对位相机211依次移动至每个入镜区域20的两侧。具体到本实施例中，如将图6中a区域范围内的三个ccd对位相机211形成一组，依图中空心箭头方向依次移动至所需位置识别定位标记111。通过移动该组ccd对位相机211依次识别每个入镜区域20两侧的定位标记111，再综合所有定位标记111的数据调整阵列基板1的位置。
[0046]
可以理解，当在ccd对位相机211旁边并列设置激光头212形成打印与对位组件21时，用曝光机在阵列基板11上用激光头212打印对位标记111，同样也是使用上述移动的方法进行打印的。
[0047]
设置可移动的ccd对位相机211和激光头212，可减少ccd对位相机211和激光头212的总数量，节约成本。
[0048]
[第三实施例]
[0049]
如图7所示，本实施例与第一实施例的区别在于，本实施例的载台2上具有六个入镜区域20，呈2
×
3阵列排布。每个入镜区域20两侧各设置一个ccd对位相机211，载台2上共
设有八个ccd对位相机211，即每组ccd对位相机211内仅设有1个ccd对位相机211。
[0050]
如图8所示，在本发明的另一实施例中，该ccd对位相机211为可移动式，例如仅设置一个ccd对位相机211，沿图中空心箭头方向依次移动至所需位置识别定位标记111。可以理解，当在ccd对位相机211旁边并列设置激光头212形成打印与对位组件21时，用曝光机在阵列基板11上用激光头212打印对位标记111，同样也是使用上述移动的方法进行打印的。
[0051]
[第四实施例]
[0052]
本实施例与第一实施例的区别在于，曝光机具的两个载台2，其中一个载台2具有呈2
×
2阵列排布的四个入镜区域20，另一个载台2具有呈2
×
3阵列排布的六个入镜区域20。该曝光机可对不同规格的显示基板1进行曝光。两个载台2上的ccd对位相机211可设置成固定式和也可设置成移动式。
[0053]
本发明还涉及一种触控显示装置，其通过上述触控显示装置的制作方法制作形成。
[0054]
在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。
[0055]
在本文中，所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的，只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解，所述方位词的使用不应限制本技术请求保护的范围。
[0056]
在不冲突的情况下，本文中上述实施例及实施例中的特征可以相互结合。
[0057]
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。