一种涂胶显影机废液排液装置的制作方法

1.本发明属于半导体涂胶显影机技术领域，具体涉及一种涂胶显影机废液排液装置。


背景技术：

2.涂胶显影机为了满足工艺要求，对各化学品流量、化学品是否有气泡要求非常严格，为了排出le tank(缓冲瓶，排泡用)和filter(过滤器)中的气泡，现有设备在filter(过滤器)上安装了drain(废液)管用来排空气泡，drain管上有手动阀，当需要排气泡时打开drain阀即可。
3.为了排空化学品管路或者filter中的气泡时需要打开drain阀手动排气泡，可能出现多个filter需要排气泡，同时打开多个drain阀时可能会出现忘记关或者漏关drain阀的可能，现有设备drain排只有一个手动阀，无论手动阀是否打开，机台(涂胶显影机)都不会有任何提示或者报警装置。drain阀打开忘记关化学品会一直从drain管中流出，造成化学品的大量浪费，特殊工艺的机台drain管排液需要废液收集桶收集，如果drain阀忘记关，化学品会一直排出，造成废液收集桶很快就满而溢出，工作人员不能及时发现会造成大面积化学品污染。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本发明提供一种涂胶显影机废液排液装置，设置排液检测部来检测排液管路检测并实时显示排液管路中是否有所述化学品流动，能够使相应人员实施监控排液管路中是否有化学品流动，时时提醒相关人员排液阀是否关闭或排液阀是否损坏，避免因为未有效打开或关闭排液管路所引起的化学品中气体超标或化学品外泄造成污染。
5.为了实现上述技术目的，本发明所采用的具体技术方案为：
6.一种涂胶显影机废液排液装置，包括：
7.过滤器，入口连接化学品供液管路，用于过滤所述化学品供液管路中的杂质、基于排液出口排出化学品中的气泡以及向所述涂胶显影机进行化学品供液；
8.排液管路，连接所述过滤器的排液出口，设置有排液阀控制所述排液管路的通断；
9.排液检测部，用于检测并实时显示所述排液管路中是否有所述化学品流动。
10.进一步的，所述排液检测部包括排液检测传感器和显示面板；
11.所述排液检测传感器设置在所述排液管路上，用于检测所述排液管路中是否有所述化学品流动；
12.所述显示面板上设置有指示灯，根据所述排液检测传感器的检测结果执行不同的显示状态。
13.进一步的，所述排液阀为手动阀门。
14.进一步的，所述排液检测传感器设置在所述排液管路上所述排液阀的下游。
15.进一步的，所述显示面板基于指示灯是否点亮显示所述排液检测传感器的检测结
果。
16.进一步的，所述排液检测传感器为一组以上，分别安装在所述涂胶显影机的不同排液管路上。
17.进一步的，所述显示面板上所述指示灯为多组，分别显示各所述排液检测传感器的检测结果。
18.进一步的，所述显示面板还用于在所述排液管路中有所述化学品流动时产生电子报警信号。
19.进一步的，所述显示面板基于报警信号线与所述涂胶显影机的显示屏幕通信；所述显示屏幕基于所述报警信号显示各所述排液管路中是否有所述化学品流动。
20.采用上述技术方案，本发明还能够带来以下有益效果：
21.1)本发明的显示面板基于指示灯是否点亮来显示排液管路的通断状态，能够简单、直观且有效的对相关人员进行提醒；
22.2)本发明的排液检测传感器设置在排液阀的下游，还能够有效监测排液阀是否出现故障；
23.3)本发明基于一个显示面板显示多个排液管路的通断状态，能够以较低成本同时监测机台上所有过滤器的排液管路；
24.4)本发明的显示面板与机台的显示屏幕通信，监测效果显示更加直观，便于相关人员查看。
附图说明
25.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
26.图1为本发明具体实施方式中一种涂胶显影机废液排液装置的结构示意图；
27.其中：1、供液管路；2、化学品到机台管路；3、过滤器；4、排液阀；5、排液管路；6、排液检测传感器；7、显示面板；8、报警信号线；9、显示屏幕。
具体实施方式
28.下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。
29.以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
30.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本发明，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面
可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
31.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
32.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
33.在本发明的一个实施例中，提出一种涂胶显影机废液排液装置，如图1所示，包括：
34.过滤器3，入口连接化学品供液管路1，用于过滤供液管路1的杂质、基于排液出口排出化学品中的气泡以及基于化学品到机台管路2向涂胶显影机进行化学品供液；
35.排液管路5，连接过滤器3的排液出口，设置有排液阀4控制排液管路5的通断；
36.排液检测部，用于检测并实时显示排液管路5中是否有化学品流动。
37.在本实施例中，过滤器3用来滤除化学品中的气泡及其他杂质。排液检测部为光电检测装置或流量检测装置，由于涂胶显影机的化学品粘稠度大，排液检测部采用不与排液管路道内化学品接触的光电检测装置或流量监测装置，具体装置型号本实施例不作限定。
38.在一个实施例中，排液检测部包括排液检测传感器6和显示面板7；
39.排液检测传感器6设置在排液管路5上，用于检测排液管路5中是否有化学品流动；
40.显示面板7上设置有指示灯，根据排液检测传感器6的检测结果执行不同的显示状态。
41.本实施例的指示灯通过明亮对比、是否闪烁、不同颜色对比等来显示状态来提醒相关人员排液管路5内是否有化学品流动，能够直观显示即可，此处不作具体限定。
42.在本实施例中，排液阀4为手动阀门。
43.在一个实施例中，排液检测传感器6设置在排液管路5上排液阀4的下游。本实施例的排液检测传感器6设置在排液阀4的下游，当确定排液阀4关闭时扔检测到化学品流动，即标识排液阀4已出现故障，本实施例还能够有效监测排液阀4是否出现故障。
44.在一个实施例中，显示面板7基于指示灯是否点亮显示排液检测传感器6的检测结果。基于指示灯是否点亮来显示排液管路5的通断状态，能够简单、直观且有效的对相关人员进行提醒。
45.在一个实施例中，由于排液检测传感器6为一组以上，分别安装在涂胶显影机的不同排液管路5上。本实施例基于一个显示面板7显示多个排液管路5的通断状态，能够以较低成本同时监测机台上所有过滤器3的排液管路5。显示面板7上指示灯为多组，分别显示各排液检测传感器6的检测结果。
46.在一个实施例中，显示面板7还用于在排液管路5中有化学品流动时产生电子报警信号。
47.显示面板7基于报警信号线8与涂胶显影机的显示屏幕9通信；显示屏幕9基于报警信号显示各排液管路5中是否有化学品流动。本实施例的显示面板7与机台的显示屏幕9通
信，监测效果显示更加直观，便于相关人员查看
48.本发明实施例的排液检测部能够检测drain管中是否有化学品流出。当需要排filter中的气泡打开drain阀时化学品会从drain管中流出，排液检测部会检测到有液体流出，drain排液检测部中对应drain管编号的红灯会亮起，机台会出现alarm(报警),机台不会停止，alarm会一直存在直到drain阀关闭，drain阀关闭后，检测drain管中没有化学品流出，alarm会自动消除。
49.本发明可以提示工作人员drain排的状态，drain是否忘记关闭，或者drain阀损坏化学品一直外排。
50.以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。