衍射薄膜的曝光监控方法、装置、电子设备及存储介质与流程

文档序号:32894865发布日期:2023-01-13 00:07阅读:29来源:国知局
衍射薄膜的曝光监控方法、装置、电子设备及存储介质与流程

1.本发明涉及人机界面技术领域,具体而言,涉及一种衍射薄膜的曝光监控方法、装置、电子设备及存储介质。


背景技术:

2.曝光系统利用相干光在感光薄膜上形成经过优化设计的相干条纹,经过一定时间的曝光,再经过显影、固影等多道工序,形成体衍射薄膜光栅。
3.目前对衍射薄膜曝光过程中的进程等监控主要依靠人为观察,监控难度大,用户难以及时了解曝光的过程,以及当前的曝光工作状态。


技术实现要素:

4.本发明的目的在于,针对上述现有技术中的不足,提供一种衍射薄膜的曝光监控方法、装置、电子设备及存储介质,以实现对衍射薄膜的曝光及时监控。
5.为实现上述目的,本技术实施例采用的技术方案如下:
6.第一方面,本技术实施例提供了一种衍射薄膜的曝光监控方法,所述方法包括:
7.根据衍射薄膜的控制参数,在状态监控界面上显示第一曝光进度显示区域,所述第一曝光进度显示区域包括:依次排列的多个状态组件,所述控制参数包括:多组曝光工序的曝光控制参数,每组曝光工序包括:所述衍射薄膜上依次相邻的多个曝光区域;所述多个状态组件分别对应所述衍射薄膜上多组曝光工序的所有曝光区域;
8.获取所述多组曝光工序的所述所有曝光区域的曝光状态;
9.根据所述所有曝光区域的曝光状态,依次动态更新所述多个状态组件的显示状态。
10.可选的,所述状态监控界面还显示有:两个第一指示组件;所述方法还包括:
11.根据所述所有曝光区域的曝光状态,分别确定所述两组曝光工序的曝光状态;
12.根据所述两组曝光工序的曝光状态,依次动态更新所述两个第一指示组件的显示状态。
13.可选的,所述状态监控界面还显示有:第二指示组件;所述方法还包括:
14.获取光路上快门的开闭状态;
15.根据所述快门的开闭状态,动态更新所述第二指示组件的显示状态。
16.可选的,所述状态监控界面还显示有:第三指示组件;所述方法还包括:
17.若获取到异常代码,则响应所述异常代码,切换所述第三指示组件的显示状态,以指示存在异常。
18.可选的,所述多个状态组件包括:多个第一曝光显示组件,和多个第二曝光显示组件;
19.所述根据衍射薄膜的控制参数,在状态监控界面上显示第一曝光进度显示区域,包括:
20.根据所述衍射薄膜的控制参数以及所述两组曝光工序的预设颜色,在所述状态监控界面上显示所述第一曝光进度显示区域,使得所述多个第一曝光显示组件的边框颜色与一组曝光工序的预设颜色匹配,所述多个第二曝光显示组件的边框颜色与另一组曝光工序的预设颜色匹配。
21.可选的,所述第一曝光进度显示区域还包括:第四指示组件;所述方法还包括:
22.根据所述所有曝光区域的曝光状态,确定当前光阑位置;
23.根据所述当前光阑位置,动态调整所述第四指示组件的显示位置,以使得所述第四指示组件指向所述当前光阑位置对应的曝光区域的状态组件。
24.可选的,所述第一曝光进度显示区域内还显示有:第五指示组件,所述第五指示组件与所述多个第一曝光显示组件对齐显示;所述方法还包括:
25.根据所述所有曝光区域的曝光状态,确定第一组曝光工序的曝光区域是否均曝光完成;
26.若所述第一组曝光工序的曝光区域均曝光完成,则取消所述第五指示组件的显示,并重新显示第六指示组件,使得所述第六指示组件与所述多个第二曝光显示组件对齐显示,以指示正在对所述第二组曝光工序的曝光区域进行曝光。
27.第二方面,本技术实施例还提供了一种衍射薄膜的曝光监控装置,包括:
28.显示模块,用于根据衍射薄膜的控制参数,在状态监控界面上显示第一曝光进度显示区域,所述第一曝光进度显示区域包括:依次排列的多个状态组件,所述控制参数包括:两组曝光工序的曝光控制参数,每组曝光工序包括:所述衍射薄膜上依次相邻的多个曝光区域;所述多个状态组件分别对应所述衍射薄膜上两组曝光工序的所有曝光区域;
29.获取模块,用于获取所述两组曝光工序的所述所有曝光区域的曝光状态;
30.更新模块,用于根据所述所有曝光区域的曝光状态,依次动态更新所述多个状态组件的显示状态。
31.第三方面,本技术实施例还提供了一种电子设备,包括:处理器、存储介质和总线,所述存储介质存储有所述处理器可执行的程序指令,当电子设备运行时,所述处理器与所述存储介质之间通过总线通信,所述处理器执行所述程序指令,以执行时执行如第一方面任一所述的衍射薄膜的曝光监控方法的步骤。
32.第四方面,本技术实施例还提供了一种计算机可读存储介质,所述存储介质上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器运行时执行如第一方面任一所述的衍射薄膜的曝光监控方法的步骤。
33.本技术的有益效果是:本技术实施例提供一种衍射薄膜的曝光监控方法,首先根据衍射薄膜的控制参数,在状态监控界面上显示第一曝光进度显示区域。其后,获取多组曝光工序的所有曝光区域的曝光状态,并根据所有曝光区域的曝光状态,依次动态更新多个状态组件的显示状态。由此,用户通过状态监控界面上显示的第一曝光进度显示区域,即可确定目前的曝光进度,从而实现对衍射薄膜的曝光及时监控。
附图说明
34.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本发明的某些实施例,因此不应被看作是对
范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
35.图1为本技术一实施例提供的一种衍射薄膜曝光系统示意图;
36.图2为本技术一实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控方法的流程图;
37.图3为本技术一实施例提供的一种状态监控界面示意图;
38.图4为本技术又一实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控方法的流程图;
39.图5为本技术另一实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控方法的流程图;
40.图6为本技术再一实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控方法的流程图;
41.图7为本技术再二实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控方法的流程图;
42.图8为本技术一实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控装置的示意图;
43.图9为本技术实施例提供的一种电子设备的示意图。
具体实施方式
44.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
45.在本技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包含至少一个特征。在本发明中的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个、三个,除非另有明确具体的限定。术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个
……”
限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
46.针对目前对衍射薄膜曝光过程中的进程等监控主要依靠人为观察,监控难度大,用户难以即使了解曝光的过程,以及当前的曝光工作状态的问题,本技术实施例提供了多种可能的实现方式,以实现对衍射薄膜的曝光及时监控。如下结合附图通过多个示例进行解释说明。
47.首先,本技术的衍射薄膜的曝光监控方法是对衍射薄膜曝光系统的监控,下面对此衍射薄膜曝光系统进行说明:
48.图1为本技术一实施例提供的一种衍射薄膜曝光系统示意图,如图1 所示,衍射薄膜曝光系统包括:光源10、分光装置20、两个反射镜30,两个光阑40、衍射薄膜50、两个驱动设备以及控制设备,光源10的出光面朝向分光装置20的入光面,分光装置20的两个出光面分别朝向两个反射镜30,两个反射镜30还分别通过两个光阑40朝向衍射薄膜50的两个感光面,两个光阑40分别电连接两个驱动设备,两个驱动设备还通信连接控制设备。
49.需要说明的是,衍射薄膜曝光系统是利用相干光在衍射薄膜上形成经过优化设计的相干条纹,经过一定时间的曝光后,再经过显影、固影等多道工序,形成衍射薄膜光栅(或者体全息衍射薄膜光栅)的系统。
50.参照图1,光源10发出的光束在经过分光装置20后分为两束(即图中从分光装置向右的一束和向下的一束),两束光分别在两个反射镜30反射后,分别通过光阑,在衍射薄膜上形成衍射条纹。
51.还需要说明的是,衍射薄膜曝光系统中还可以包括更少或者更多的组成部分,例如还可以包括:扩束装备(设置在光源10与分光装置20之间,对光源发出的光束进行扩束,扩束后的光束在进入分光装置20中)、导光棱镜(导光棱镜用于放置衍射薄膜,以改变经过两个光阑中一个光阑的光束的角度)等,本技术对此不做限定。
52.基于上述衍射薄膜曝光系统,通过预设的或者后期保存编辑的控制参数,可以实现对衍射薄膜的曝光,其中,控制参数包括两组移动控制参数,以及多组曝光工序的曝光控制参数,每组曝光工序包括:衍射薄膜上依次相邻的多个曝光区域。
53.根据每组移动控制参数,控制两个光阑依次移动至一个曝光工序中多个曝光区域对应的光阑指定位置。其中,每个光阑对应的每个曝光区域的光阑指定位置可能相同,也可能不同,本技术对此不做限定,参照图1,由于系统的两个光束照射到衍射薄膜上时存在夹角,两侧光束的尺寸、能量可能存在差别,因此,可以为每个光阑设置一组移动控制参数,在控制光阑移动时,使用光阑对应的一组移动控制参数控制光阑移动。当两个光阑分别移动到目标曝光区域对应的光阑指定位置(目标曝光区域可以为多个曝光区域中的任一曝光区域)后,根据每组曝光工序中该目标曝光区域的曝光控制参数,对该目标曝光区域进行曝光。
54.下面对基于上述衍射薄膜曝光系统实现的衍射薄膜的曝光监控方法进行说明。
55.图2为本技术一实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控方法的流程图,该方法可由运行有上述衍射薄膜的曝光监控方法的电子设备实现,该电子设备例如可以为终端设备,也可以为服务器。如图2所示,该方法包括:
56.步骤201:根据衍射薄膜的控制参数,在状态监控界面上显示第一曝光进度显示区域,第一曝光进度显示区域包括:依次排列的多个状态组件,控制参数包括:多组曝光工序的曝光控制参数,每组曝光工序包括:衍射薄膜上依次相邻的多个曝光区域;多个状态组件分别对应衍射薄膜上多组曝光工序的所有曝光区域。
57.图3为本技术一实施例提供的一种状态监控界面示意图,如图3所示,在状态监控界面中包括第一曝光进度显示区域11,第一曝光进度显示区域11中包括依次排列的多个状态组件,图3中用多个带数字标志的方格表示多个状态组件,每个方格表示一个状态组件,上述仅为示例说明,在本技术中,也可以用其他图形或者其他排列形式表示,本技术对此不做限定。
58.在一种可能的实现方式中,根据衍射薄膜的控制参数中的多组曝光工序的曝光控制参数,可以确定多组曝光工序的所有曝光区域,根据所有曝光区域的数量,确定状态组件的数量,并根据确定的状态组件数量显示在第一曝光进度显示区域中。例如图3的状态组件数量共有9个,表示多组曝光工序共有9个曝光区域。
59.在另一种可能的实现方式中,根据衍射薄膜的控制参数中的多组曝光工序的曝光控制参数,可以确定曝光工序的数量,每组曝光工序中曝光区域的数量,根据曝光工序数量以及每组曝光工序的曝光区域的数量,确定第一曝光进度显示区域中显示的状态组件的数量及形式。例如可以用不同的边框颜色、边框形式等对不同的曝光工序进行区分。例如图3
的状态组件数量共有9个,其中编号1-5的状态组件用灰色边框,编号6-9的状态组件用黑色边框,表示共有两组曝光工序,其中第一组曝光工序有5个曝光区域,第二组曝光工序有4个曝光区域。
60.步骤202:获取多组曝光工序的所有曝光区域的曝光状态。
61.需要说明的是,曝光状态指的是曝光区域的曝光完成情况,曝光状态例如可以为:已曝光、未曝光等,本技术对此不做限定。
62.步骤203:根据所有曝光区域的曝光状态,依次动态更新多个状态组件的显示状态。
63.在一种可能的实现方式中,可以获取所有曝光区域的曝光状态,并根据所有曝光区域的曝光状态,依次动态更新多个状态组件的显示状态。
64.在另一种可能的实现方式中,可以根据上次获取曝光状态时,处于未曝光状态的所有曝光区域的曝光状态,并根据上述未曝光区域的曝光状态,动态更新上述未曝光区域对应的状态组件的显示状态。
65.上述仅为示例说明,在实际实现中,还可以有其他的更新方式,本技术对此不做限定。
66.综上所述,本技术实施例提供一种衍射薄膜的曝光监控方法,首先根据衍射薄膜的控制参数,在状态监控界面上显示第一曝光进度显示区域。其后,获取多组曝光工序的所有曝光区域的曝光状态,并根据所有曝光区域的曝光状态,依次动态更新多个状态组件的显示状态。由此,用户通过状态监控界面上显示的第一曝光进度显示区域,即可确定目前的曝光进度,从而实现对衍射薄膜的曝光及时监控。
67.可选的,在上述图2的基础上,所述状态监控界面还显示有:两个第一指示组件;本技术还提供一种衍射薄膜的曝光监控方法的可能实现方式,图 4为本技术又一实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控方法的流程图;如图 4所示,该方法包括:
68.步骤401:根据所有曝光区域的曝光状态,分别确定两组曝光工序的曝光状态。
69.参考图3,状态监控界面还显示有:两个第一指示组件13;第一指示组件指示的是当前执行哪一组工序。需要说明的是,第一指示组件的数量与曝光工序的数量一致,因此若存在更多或者更少的曝光工序,可能存在更多或者更少的第一指示组件,本技术对此不做限定。
70.根据所有曝光区域的曝光状态,确定当前在执行的是哪一组曝光工序。
71.步骤402:根据两组曝光工序的曝光状态,依次动态更新两个第一指示组件的显示状态。
72.根据两组曝光工序的曝光状态,对两个第一指示组件的显示状态进行更新。例如在进行第一组曝光工序时,可以将指示第一组曝光工序的第一指示组件用彩色表示,将指示第二组曝光工序的第一指示组件用灰色表示;当进行第二组曝光工序时,对两个第一指示组件进行调整,将指示第二组曝光工序的第一指示组件用彩色表示,将指示第一组曝光工序的第一指示组件用灰色表示。上述仅为示例说明,在实际实现中,还可以有其他的表示方式,本技术对此不做限定。
73.可选的,在上述图2的基础上,本技术还提供一种衍射薄膜的曝光监控方法的可能实现方式,所述状态监控界面还显示有:第二指示组件;图5 为本技术另一实施例提供的一
种衍射薄膜的曝光监控方法的流程图;如图5 所示,该方法包括:
74.步骤501:获取光路上快门的开闭状态。
75.参考图3,状态监控界面还显示有:第二指示组件15指示的是目前的快门状态,由于快门为开状态是表示光路连通,则衍射薄膜处于曝光状态,当快门为闭状态时表示光路中断,衍射薄膜处于非曝光状态,因此快门的开闭状态同时也可以指示衍射薄膜的曝光状态。
76.需要说明的是,快门是光路上设置的对光源发出光线进行阻断的光学元件,本技术对快门设置的具体位置不做限定,其例如可以设置在光源10 与分光装置20之间,或者在两个反射镜与光阑之间分别设置两个快门等。
77.步骤502:根据快门的开闭状态,动态更新第二指示组件的显示状态。
78.获取光路上快门的开闭状态后,根据快门的开闭状态,动态更新第二指示组件的显示状态。例如当快门为开状态时,可以将第二指示组件用彩色表示,当快门为闭状态时,将第二指示组件用灰色表示。上述仅为示例说明,在实际实现中,还可以有其他的显示状态标识方法,本技术对此不做限定。
79.可选的,在上述图2的基础上,本技术还提供一种衍射薄膜的曝光监控方法的可能实现方式,所述状态监控界面还显示有:第三指示组件;该方法还包括:若获取到异常代码,则响应所述异常代码,切换所述第三指示组件的显示状态,以指示存在异常。
80.参考图3,状态监控界面还显示有:第三指示组件17指示的是目前的异常状态。
81.需要说明的是,在本技术中,第三指示组件可以指示光路异常(例如快门控制出现异常等)、曝光执行异常(例如光阑没有移动到位,或者曝光时间不足等)、程序异常(例如未按照工序执行等)等多种异常状态,获取异常状态后,例如存在任意一种异常时,可以将第三指示组件用彩色表示,当不存在异常时,将第三指示组件用灰色表示。上述仅为示例说明,在实际实现中,还可以有其他的显示异常状态的方式,本技术对此不做限定。
82.可选的,在上述图2的基础上,本技术还提供一种衍射薄膜的曝光监控方法的可能实现方式,多个状态组件包括:多个第一曝光显示组件,和多个第二曝光显示组件;根据衍射薄膜的控制参数,在状态监控界面上显示第一曝光进度显示区域,包括:
83.根据衍射薄膜的控制参数以及两组曝光工序的预设颜色,在状态监控界面上显示第一曝光进度显示区域,使得多个第一曝光显示组件的边框颜色与一组曝光工序的预设颜色匹配,多个第二曝光显示组件的边框颜色与另一组曝光工序的预设颜色匹配。
84.参考图3,状态监控界面的多个状态组件包括:多个第一曝光显示组件 111,和多个第二曝光显示组件113;其中,第一曝光显示组件代表的是第一组曝光工序中的状态组件,第二曝光显示组件代表的是第二组曝光工序中的状态组件。在根据控制参数,确定每组曝光工序中曝光区域的个数之后,在状态监控界面上第一曝光进度显示区域中,将多个第一曝光显示组件的边框颜色与一组曝光工序的预设颜色匹配,多个第二曝光显示组件的边框颜色与另一组曝光工序的预设颜色匹配。
85.需要说明的是,每一组曝光工序的预设颜色可以由用户进行设定,本技术对此不做限定,只要为每组曝光工序设定的预设颜色能够实现对两组曝光工序的区分即可。
86.可选的,在上述实施例的基础上,本技术还提供一种衍射薄膜的曝光监控方法的可能实现方式,图6为本技术再一实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控方法的流程图;如
图6所示,所述第一曝光进度显示区域还包括:第四指示组件;所述方法还包括:
87.步骤601:根据所有曝光区域的曝光状态,确定当前光阑位置。
88.参考图3,状态监控界面的第一曝光进度显示区域11还包括:第四指示组件115,第四指示组件115指示的是光阑位置。
89.步骤602:根据当前光阑位置,动态调整第四指示组件的显示位置,以使得第四指示组件指向当前光阑位置对应的曝光区域的状态组件。
90.在一种可能的实现方式中,根据所有曝光区域的曝光状态,确定当前光阑位置后,根据当前光阑位置,对第四指示组件115的显示位置进行调整,使其指向当前光阑位置对应的曝光区域的状态组件。
91.可选的,在上述图6的基础上,本技术还提供一种衍射薄膜的曝光监控方法的可能实现方式,所述第一曝光进度显示区域内还显示有:第五指示组件,所述第五指示组件与所述多个第一曝光显示组件对齐显示;图7为本技术再二实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控方法的流程图;如图7所示,该方法还包括:
92.步骤701:根据所有曝光区域的曝光状态,确定第一组曝光工序的曝光区域是否均曝光完成。
93.参考图3,状态监控界面的第一曝光进度显示区域11还包括:第五指示组件117,第五指示组件117指示的是当前曝光工序为第一组曝光工序时的曝光区域,例如当当前曝光工序为第一组曝光工序(即图3中编号1-5的状态组件)时,第五指示组件117与所述多个第一曝光显示组件(即编号 1-5的第一曝光显示组件)对齐显示。第六指示组件指示的是当前曝光工序为第二组曝光工序时的曝光区域,例如当当前曝光工序为第二组曝光工序 (即图3中编号6-9的状态组件)时,第六指示组件与所述多个第二曝光显示组件(即编号6-9的第二曝光显示组件)对齐显示。图3中仅体现了第五指示组件,但是应当理解,第六显示组件的显示方式可以与第五显示组件的样式相同,也可以不同,本技术对此不做限定。
94.步骤702:若第一组曝光工序的曝光区域均曝光完成,则取消第五指示组件的显示,并重新显示第六指示组件,使得第六指示组件与多个第二曝光显示组件对齐显示,以指示正在对第二组曝光工序的曝光区域进行曝光。
95.根据所有曝光区域的曝光状态,确定第一组曝光工序的曝光区域是否完成曝光。若完成曝光,则取消第五指示组件的显示,并显示第六指示组件,从而指示正在对第二组曝光工序的曝光区域进行曝光。
96.在一种可能的实现方式中,第一组曝光工序的曝光区域均曝光完成后,将第四指示组件指向第一组曝光工序对应曝光区域的状态组件,与第二组曝光工序对应曝光区域的状态组件之间,取消第五指示组件的显示,且暂时不显示第六指示组件。直到开始执行第二组曝光工序,再动态调整所述第四指示组件的显示位置,并显示第六指示组件。
97.上述仅为示例说明,在实际实现中,还可以有其他的实现方式,本技术对此不做限定。
98.在上述实施例的基础上,如图3所示,状态监控界面上的第一曝光进度显示区域还包括:进度条119,进度条119可以用于显示目前的曝光工序的完成进度,其显示的完成进度可以是已曝光区域与所有曝光区域的比值,也可以是已执行时间与预计执行时间的比值等,本技术对此不做限定。
99.可选的,状态监控界面中还包括:多个显示组件,例如图3中的连接状态显示组件、a轴当前位置显示组件、b轴当前位置显示组件,分别显示目前显示状态监控界面的设备与控制设备是否已通信连接、一个光阑的当前位置(可以是实际位置,也可以是基于预设零点的位置等)、另一个光阑的当前位置。
100.可选的,状态监控界面中还包括:回零键21、一组启动键23、二组启动键25、停止键27;其中,回零键21用于接收用户通过状态监控界面输入的光阑位置回零操作,状态监控界面接收到回零操作后,将回零请求传递给控制设备,由控制设备控制光阑回到起始位置(或者设定的零点位置);一组启动键23用于接收用户通过状态监控界面输入的第一组曝光工序启动操作,状态监控界面接收到第一组曝光工序启动操作后,将第一组工序启动请求传递给控制设备,由控制设备控制光阑按照第一组曝光工序的相关控制参数执行;二组启动键25用于接收用户通过状态监控界面输入的第二组曝光工序启动操作,状态监控界面接收到第二组曝光工序启动操作后,将第二组工序启动请求传递给控制设备,由控制设备控制光阑按照第二组曝光工序的相关控制参数执行;停止键27用于接收用户通过状态监控界面输入的停止操作,状态监控界面接收到停止操作后,将停止请求传递给控制设备,由控制设备进行控制,停止动作(光阑移动动作、曝光动作等)。
101.上述仅为示例说明,在实际实现中,还可以对上述按键的动能进行扩展等,本技术对此不做限定。
102.在一种具体的实现方式中,用户将衍射薄膜放置好后,操作一组启动键23,当第一组曝光工序执行完成后,用户根据需要手动调整或者控制设备调整衍射薄膜位置,再操作二组启动键25。
103.下述对用以执行本技术所提供的衍射薄膜的曝光监控装置、电子设备及存储介质等进行说明,其具体的实现过程以及技术效果参见上述,下述不再赘述。
104.本技术实施例提供一种衍射薄膜的曝光监控装置的可能实现示例,能够执行上述实施例提供的衍射薄膜的曝光监控方法。图8为本技术一实施例提供的一种衍射薄膜的曝光监控装置的示意图。如图8所示,上述衍射薄膜的曝光监控装置100,包括:
105.显示模块81,用于根据衍射薄膜的控制参数,在状态监控界面上显示第一曝光进度显示区域,所述第一曝光进度显示区域包括:依次排列的多个状态组件,所述控制参数包括:两组曝光工序的曝光控制参数,每组曝光工序包括:所述衍射薄膜上依次相邻的多个曝光区域;所述多个状态组件分别对应所述衍射薄膜上两组曝光工序的所有曝光区域;
106.获取模块83,用于获取所述两组曝光工序的所述所有曝光区域的曝光状态;
107.更新模块85,用于根据所述所有曝光区域的曝光状态,依次动态更新所述多个状态组件的显示状态。
108.可选的,获取模块83,用于根据所述所有曝光区域的曝光状态,分别确定所述两组曝光工序的曝光状态;
109.更新模块85,用于根据所述两组曝光工序的曝光状态,依次动态更新所述两个第一指示组件的显示状态。
110.可选的,获取模块83,用于获取光路上快门的开闭状态;
111.更新模块85,用于根据所述快门的开闭状态,动态更新所述第二指示组件的显示状态。
112.可选的,异常模块,用于若获取到异常代码,则响应所述异常代码,切换所述第三指示组件的显示状态,以指示存在异常。
113.可选的,显示模块81,用于根据所述衍射薄膜的控制参数以及所述两组曝光工序的预设颜色,在所述状态监控界面上显示所述第一曝光进度显示区域,使得所述多个第一曝光显示组件的边框颜色与一组曝光工序的预设颜色匹配,所述多个第二曝光显示组件的边框颜色与另一组曝光工序的预设颜色匹配。
114.可选的,获取模块83,用于根据所述所有曝光区域的曝光状态,确定当前光阑位置;
115.更新模块85,用于根据所述当前光阑位置,动态调整所述第四指示组件的显示位置,以使得所述第四指示组件指向所述当前光阑位置对应的曝光区域的状态组件。
116.可选的,判断模块,用于根据所述所有曝光区域的曝光状态,确定第一组曝光工序的曝光区域是否均曝光完成;
117.更新模块85,用于若所述第一组曝光工序的曝光区域均曝光完成,则取消所述第五指示组件的显示,并重新显示第六指示组件,使得所述第六指示组件与所述多个第二曝光显示组件对齐显示,以指示正在对所述第二组曝光工序的曝光区域进行曝光。
118.上述装置用于执行前述实施例提供的方法,其实现原理和技术效果类似,在此不再赘述。
119.以上这些模块可以是被配置成实施以上方法的一个或多个集成电路,例如:一个或多个特定集成电路(application specific integratedcircuit,简称asic),或,一个或多个微处理器(digital singnal processor,简称dsp),或,一个或者多个现场可编程门阵列(field programmable gatearray,简称fpga)等。再如,当以上某个模块通过处理元件调度程序代码的形式实现时,该处理元件可以是通用处理器,例如中央处理器(centralprocessing unit,简称cpu)或其它可以调用程序代码的处理器。再如,这些模块可以集成在一起,以片上系统(system-on-a-chip,简称soc)的形式实现。
120.本技术实施例提供一种电子设备的可能实现示例,能够执行上述实施例提供的衍射薄膜的曝光监控方法。图9为本技术实施例提供的一种电子设备的示意图,该设备可以集成于终端设备或者终端设备的芯片,该终端可以是具备数据处理功能的计算设备。
121.该电子设备包括:处理器901、存储介质902和总线,存储介质存储有处理器可执行的程序指令,当控制设备运行时,处理器与存储介质之间通过总线通信,处理器执行程序指令,以执行时执行上述衍射薄膜的曝光监控方法的步骤。具体实现方式和技术效果类似,这里不再赘述。
122.本技术实施例提供一种计算机可读存储介质的可能实现示例,能够执行上述实施例提供的衍射薄膜的曝光监控方法,存储介质上存储有计算机程序,计算机程序被处理器运行时执行上述衍射薄膜的曝光监控方法的步骤。
123.存储在一个存储介质中的计算机程序,可以包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机,服务器,或者网络设备等)或处理器(英文:processor)执行本发明各个实施例所述方法的部分步骤。而前述的存储介质包括:u盘、移动硬盘、只读存储器(英文:read-only memory,简称:rom)、随机存取存储器(英文:random access memory,简称:ram)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
124.在本发明所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的装置和方法,可以通过其它的方式实现。例如,以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如,所述单元的划分,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口,装置或单元的间接耦合或通信连接,可以是电性,机械或其它的形式。
125.所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
126.另外,在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中,也可以是各个单元单独物理存在,也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现,也可以采用硬件加软件功能单元的形式实现。
127.上述以软件功能单元的形式实现的集成的单元,可以存储在一个计算机可读取存储介质中。上述软件功能单元存储在一个存储介质中,包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机,服务器,或者网络设备等)或处理器(英文:processor)执行本发明各个实施例所述方法的部分步骤。而前述的存储介质包括:u盘、移动硬盘、只读存储器(英文:read
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only memory,简称:rom)、随机存取存储器(英文:random access memory,简称:ram)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
128.以上仅为本技术的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此,本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
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