一种匀胶显影单元的排风系统及其控制方法与流程

1.本发明涉及排风系统技术领域，具体涉及一种用于匀胶显影单元的排风系统。


背景技术：

2.随着全球电子信息产业的发展，芯片在汽车家电、3 c电子等领域有大量应用，在生产过程中，匀胶显影是整个工艺过程中关键的一环，匀胶显影机排风系统是针对匀胶显影过程中要求的特殊环境设计的，其主要功能是保持内部气压稳定并及时排出匀胶显影过程中产生的气体及杂质粒子。
3.传统的排风系统主要由排风管道、排风风机、进气阀门组成，然而现有技术多采用的单通路排风，对生产过程中存在的不同匀胶显影单元的工作状态难以协调，导致匀胶显影机在长时间工作中良品率下降甚至出现设备损坏。


技术实现要素：

4.本发明能够解决在匀胶显影单元工作过程中双工位旋涂排风恒压不稳定的技术问题。
5.为解决上述问题，本发明提供了一种用于匀胶显影单元的排风系统，匀胶显影单元包括匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位，排风系统包括：公用风道，公用风道设有公用风道排气口；与匀胶显影单元第一工位适配的第一风道，第一风道设有第一进气口，并与公用风道连通；与匀胶显影单元第二工位适配的第二风道，第二风道设有第二进气口，并与公用风道连通；第一风道气控风阀，第一风道气控风阀设于第一风道，并用于控制第一风道的开闭；第二风道气控风阀，第二风道气控风阀设于第二风道，并用于控制第二风道的开闭；手动风阀，手动风阀用于调节风道中的风速，手动风阀设于第二风道。
6.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：可以理解的是，排风系统在对匀胶显影单元多工位进行排风作业的时候，需要使用多风道进行排风作业，第一风道针对匀胶显影单元第一工位进行排风调节，第二风道针对匀胶显影单元第二工位进行排风调节，第一气控风阀控制第一风道，第二风阀控制第二风道；排风系统在工作时，能够使环境中的废气与杂质颗粒及时排出，进而保持了气压的稳定，同时也实现了换风稳压的目的。
7.进一步的，在本发明中，第一风道和第二风道并排布置，第二风道的设置位置位于第一风道和公用风道排气口之间，手动风阀设于第二风道。
8.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：由于排风系统空间占用较大，采用匀胶显影单元双工位双支路排风系统后，避免了排风结构与显影机内部结构之间的冲突，保证了设备的稳定运行，同时也方便拆解维修；采用第一风道与第二风道并排布置的方式，可以保证排风系统与匀胶显影机之间的配合；仅在第二风道的设置手动风阀便可以满足整个排风系统的稳压调节需求，同时也节省了排风系统内部空间，进一步的也提高排风系统的排风效率。
9.进一步的，在本发明中，排风系统还包括：公用风道气控风阀，公用风道气控风阀
设于公用风道。
10.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：公用风道气控风阀的设置实现了调节公用风道与外部风道的风压的目的，同时也保证了匀胶显影机内部风压的稳定；进一步的，公用风道气控风阀也可以与第一风道、第二风道之间形成配合，促进了匀胶显影单元的泄压，避免了匀胶显影单元泄压不及时而造成匀胶显影机内部气压过高的问题。
11.进一步的，在本发明中，排风系统还包括：第一双支路风道，第一双支路风道设于第一风道的第一进气口外；和/或第二双支路风道，第二双支路风道设于第二风道的第一进气口外。
12.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：双支路风道的设置可与匀胶显影机中如显影液喷嘴等结构形成避让，从而避免了匀胶显影机运行时，排风系统与匀胶显影机中其他结构之间的干扰；且相较于单进气口设计，双支路风道增加了进气口，提高了排气以及换气效率，同时也保障了排风系统的气压稳定。
13.进一步的，在本发明中，排风系统还包括：第一风道风栅，第一风道风栅设于第一风道；和/或第二风道风栅，第二风道风栅设于第二风道。
14.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：第一风道风栅以及第二风道风栅是匀胶显影机风道口的补充进气装置，用于平衡排风系统与匀胶显影机内部的风压；第一风道风栅以及第二风道风栅还能协助排风系统完成对匀胶显影单元的泄压，同时采用栅格状的风栅对排风系统的均匀进气起到了辅助作用。
15.进一步的，在本发明中，手动风阀包括：风挡连杆、风挡滚轮与风挡，风挡与风挡滚轮连接，用于通过风挡连杆翻转，遮挡或避让风道；手动阀，手动阀设置于风挡滚轮的任意一端，用于驱动风挡翻转。
16.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：手动风阀可以控制匀胶显影机内部环境的初始风压值，使排风系统的启动时的风压更均匀，且手动风阀可以根据匀胶显影单元内的压差表进行人为控制。
17.进一步的，在本发明中，手动风阀包括：刻度盘，刻度盘上设有刻度盘凹槽，手动阀由刻度盘凹槽限制为顺时针或逆时针拨动。
18.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：刻度盘可以使调节过程更准确，同时也提高了手动风阀调节精度。
19.进一步的，在本发明中还提供了一种排风系统的控制方法，控制方法用于控制上述实施例中的排风系统，控制方法包括：在匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位中的任至少一者开启的情况下，保持公用风道排气口开启；根据匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位的各自启停状态，控制第一风道气控风阀和第二风道气控风阀的开闭；获取第一风道在排气状态下的第一风压，并获取第二风道在排气状态下的第二风压；在匀胶显影单元第一工位与匀胶显影单元第二工位同时开启时根据第一风压和所述第二风压之间的差异程度，控制手动风阀的开闭。
20.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风系统的控制方法适配匀胶显影单元不同的工作模式，在匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位中的任
至少一者开启的情况下，排风稳压调节机制可以通过关闭其余风道风阀的方式完成对匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位中的任至少一者排风稳压的任务，从而降低了匀胶显影机整体系统的负荷，进一步的也节约了资源；通过控制手动风阀的开闭，实现了人为控制环境风压的目的，保证了环境气压的稳定，提高了匀胶显影单元的排风效率。
21.进一步的，在本发明中，排风系统还包括公用风道气控风阀：在匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位同时开启的情况下，关闭公用风道气控风阀。
22.与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：排风系统也能够实现对公用风道的风压稳定的控制，由于公用风道受匀胶显影机内部风压的影响，而在匀胶显影单元多个工位同时运作时关闭公用风道气控风阀，可以最大限度的降低匀胶显影机其他组件对公用风道的影响。
23.综上所述，采用本发明的技术方案后，能够达到如下技术效果：i）排风系统在对多单元进行排风作业的时候，需要使用多风道进行排风作业，第一风道针对匀胶显影单元第一工位进行排风调节；第二风道分别针对匀胶显影单元第二工位进行排风调节，第一气控风阀控制第一风道，第二风阀控制第二风道，使环境中的废气与杂质颗粒及时排出，保持气压保持稳定，达到换风稳压的目的；ii）排风系统的控制方法适配匀胶显影单元不同的工作模式，在匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位中的任至少一者开启的情况下，排风稳压调节机制可以通过关闭其余风道风阀的方式完成对匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位中的任至少一者排风稳压任务的处理，这样做既降低了整体系统的负荷，又节约了资源。
附图说明
24.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图；图1为本发明第一实施例提供的匀胶显影单元排风系统示意图；图2为图1的爆炸图；图3为图2中手动风阀的结构示意图；图4为图3的俯视图；图5为本发明第二实施例中提供的排风系统控制方法的流程图；附图标记说明10-排风系统；100-公用风道；101-公用风道排气口；102-快拆装置；203-第一风道；204-第二风道；205-第一风道气控风阀；206-第二风道气控风阀；301-公用风道气控风阀；302-手动风阀；401-第一双支路风道；402-第二双支路风道；201-第一风道风栅；202-第二风道风栅；323-风挡滚轮；325-风挡连杆；312-风挡；322-手动阀；321-刻度盘；331-刻度盘凹槽。
具体实施方式
25.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明
的具体实施例做详细的说明。在本发明的描述中，需要理解的是，术语“横向”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、
ꢀ“
竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
26.【第一实施例】优选的，图1与图2，参见本发明第一实施例提供了一种用于匀胶显影单元的排风系统10，匀胶显影单元包括匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位；排风系统10连接至匀胶显影机的匀胶显影单元，排风系统10包括：公用风道100，公用风道100设有公用风道排气口101；与匀胶显影单元第一工位适配的第一风道203，第一风道203设有第一进气口，并与公用风道100连通；与匀胶显影单元第二工位适配的第二风道204，第二风道204设有第二进气口，并与公用风道100连通；第一风道气控风阀205，第一风道气控风阀205设于第一风道203，并用于控制第一风道203的开闭；第二风道气控风阀206，第二风道气控风阀206设于第二风道204，并用于控制第二风道204的开闭；手动风阀302，手动风阀302用于调节风道中的风速，手动风阀302设于第一风道203和第二风道204中的任一者。
27.其中，匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位为匀胶显影机中的转盘结构；第一风道203连接至公用风道100，且第一风道203与公用风道100之间设置为弯折结构，第一风道203与第二风道204的高度相同；公用风道100设有左右两个开口，匀胶显影机还设置有进气管道（图中未示出）以及排气管道（图中未示出），公用风道100的左侧开口与进气管道连接，进气管道能够将匀胶显影机内部产生的废气输送至公用风道100中；公用风道100右侧开口与排气管道连接，用于将排气系统中的气体排出匀胶显影机外；风道整体构型为内部中空结构，公用风道100为左宽右窄构型，右侧窄口套筒结构上装有快拆装置102，方便与排气管道连接。
28.进一步的，手动风阀302用于调节风道中的风速，且手动风阀302设于第一风道203或者第二风道204；第一风道203和第二风道204设置于公用风道100的同一侧，第二风道204的设置于第一风道203和公用风道排气口101之间；排风系统10还包括：公用风道气控风阀301，公用风道气控风阀301设于公用风道100内，用于控制公用风道100的开闭；举例来说，在本实施例中手动风阀302设于第二风道204。
29.优选的，排风系统10还包括：第一双支路风道401和/或第二双支路风道402，第一双支路风道401设于第一风道203的第一进气口外；第二双支路风道402设于第二风道204的第一进气口外；排风系统10还包括：第一风道风栅201和/或第二风道风栅202，第一风道风栅201设于第一风道203，第二风道风栅202设于第二风道204。
30.具体的，第一双支路风道401与第一风道203相接，第一风道气控风阀205置于第一风道203内，第一风道风栅201置于第一风道203外；第二双支路风道402与第二风道204相接，第二风道气控风阀206置于第二风道204内，第二风道风栅202置于第二风道204外；手动风阀302置于第二风道204，第二风道气控风阀206设置于手动风阀302靠近第二双支路风道402处，第一风道203与第二风道204构型为内部中空的立方体结构，从而方便了风阀风栅与风道装配。
31.需要说明的是，在进气管道向排风系统10输送废气时，废气可以由第一双支路风
道401进入第一风道203，进而在通过第一风道气控风阀205后进入公用风道100中；和/或，废气也可以由第二双支路风道402进入第二风道204，进而在通过第二风道气控风阀206后进入公用风道100中；其中，当手动风阀302设置于第二风道204时，废气会先后经过第二风道气控风阀206以及手动风阀302，再进入公用风道100；排气系统在运行时，第一风道203与第二风道204参与排风，提高了排风系统10的工作效率，第一风道风栅201与第二风道风栅202在第一风道203与第二风道204协同工作时辅助完成排气作业；排风系统10内的风压能够通过第一风道气控风阀205，第二风道气控风阀206与手动风阀302进行控制；公用风道100左侧设有公用风道气控风阀301，对匀胶显影机进气管道接入排风系统10的风压进行调节，手动风阀302能够对第一风道气控风阀205，第二风道气控风阀206的调节阈值进行调节。
32.优选的，如图3、图4，手动风阀302包括：风挡连杆325、风挡滚轮323、风挡312以及手动阀322；风挡312与风挡滚轮323连接，用于通过风挡连杆325翻转，遮挡或避让风道；手动阀322设置于风挡连杆325的任意一端，用于驱动风挡312翻转；手动阀322设有刻度盘321，刻度盘321上设有刻度盘凹槽331，刻度盘凹槽331能够限制手动阀322由沿顺时针或逆时针转动。
33.具体的，风挡连杆325贯穿风挡滚轮323，与刻度盘321连接，且风挡连杆325固定在第二风道204内，可以通过拨动手动阀322，带动风挡滚轮323与风挡312绕风挡连杆325转动；手动阀322在拨动过程中需在刻度盘321内的刻度盘凹槽331内按刻度拨动，这样能够实现对气压调节的量化操作。
34.【第二实施例】在本发明第二实施例提供了一种空调器节能控制方法，所述控制方法用于控制上述实施例中所述的空调器节能系统，所述控制方法包括：在匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位中的任至少一者开启的情况下，保持公用风道排气口开启；根据匀胶显影单元第一工位和匀胶显影单元第二工位的各自启停状态，控制第一风道气控风阀和第二风道气控风阀的开闭；获取第一风道在排气状态下的第一风压，并获取第二风道在排气状态下的第二风压。
35.具体的，参见图5，控制方法包括：s101：风道初始关闭状态，由气控风阀与手动风阀限制风道内的气体流动，阻隔内外部环境；s112：判断匀胶显影单元第一工位工作情况匀胶显影单元第二工位工作情况，若是满足匀胶显影单元第一工位工作匀胶显影单元第二工位不工作，则执行s113至s115；s102：判断匀胶显影单元第一工位工作情况匀胶显影单元第二工位工作情况，若是满足匀胶显影单元第一工位不工作匀胶显影单元第二工位工作，则执行s103至s105；s122：判断匀胶显影单元第一工位工作情况匀胶显影单元第二工位工作情况，若是满足匀胶显影单元第一工位工作匀胶显影单元第二工位工作，则执行s123至s125。
36.可以理解的是，匀胶显影单元除初始关闭状态外有三种工作模式，分别是匀胶显影单元第一工位工作匀胶显影单元第二工位不工作，匀胶显影单元第二工位工作匀胶显影单元第一工位不工作，匀胶显影单元第一工位与匀胶显影单元第二工位同时工作，对应的排风系统控制模式也需要设置除初始状态外的三种模式。
37.优选的，在s101中，通过匀胶显影单元内压差表获取到标准范围内的风压值后，判断风压值大小，能够得出是否满足启动排风系统的条件，当风压值大于一定数值满足启动排风系统后，再根据匀胶显影单元不同的工作模式调节排风系统。
38.进一步的，在排风系统的控制方法满足s112的条件时：s113：开启公用风道气控风阀，保持整体公用风道与外部风道畅通；s114：开启第一风道气控风阀关闭第二风道气控风阀，使排风系统仅针对工作的匀胶显影单元第一工位；s115：调节手动风阀，使两个风道内风压均匀。
39.具体的，当匀胶显影单元第一工位工作匀胶显影单元第二工位不工作时，排风系统执行一种控制模式，开启公用风道气控风阀，开启第一风道气控风阀关闭第二风道气控风阀，根据单元内压差表得到标准范围内的风压数值，再根据风压数值调节手动风阀，改变第二风道排风量，需要注意的是，虽然此时第二风道气控风阀处于关闭状态，但环境空气仍可以通过风栅等进入风道，调节手动风阀依旧可以起到稳定风压的作用。
40.进一步的，在排风系统的控制方法满足s102的条件时：s103：开启公用风道气控风阀，保持整体公用风道与外部风道畅通；s104：开启第二风道气控风阀关闭第一风道气控风阀，使排风系统仅针对工作的匀胶显影单元第二工位；s105：调节手动风阀，使第一风道与第二风道内风压均匀。
41.具体的，当匀胶显影单元第二工位工作匀胶显影单元第一工位不工作时，排风系统执行一种控制模式，开启公用风道气控风阀，开启第二风道气控风阀关闭第一风道气控风阀，根据单元内压差表得到标准范围内的风压数值，再根据风压数值调节手动风阀，改变第二风道排风量，需要注意的是，此时第二风道气控风阀处于开启状态，调节手动风阀依旧可以起到控制风压大小的作用。
42.进一步的，在排风系统的控制方法满足s122的条件时：s123：关闭公用风道气控风阀；s124：开启第一风道气控风阀，同时开启第二风道气控风阀；s125：调节手动风阀，使第一风道与第二风道内风压均匀。
43.具体的，当匀胶显影单元第二工位与匀胶显影单元第一工位同时工作时，排风系统执行一种控制模式，关闭公用风道气控风阀，开启第二风道气控风阀开启第一风道气控风阀，根据单元内压差表得到标准范围内的风压数值，再根据风压数值调节手动风阀，改变第二风道排风量，需要注意的是，此时第一风道气控风阀与第二风道气控风阀处于开启状态，调节手动风阀起到控制第二风道与第一风道风压差的作用。
44.s111：各调节模式最终达成风压稳定。
45.优选的，在s111中，各调节模式最终达成风压稳定，风压稳定是匀胶显影单元正常工作的保障。
46.虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。