技术特征：
1.一种反射式偏振分光棱镜，其特征在于，所述反射式偏振分光棱镜应用于深紫外波段或极紫外波段，所述反射式偏振分光棱镜包括：错位平行设置的第一面和第二面，错位平行设置的第三面和第四面；所述第一面和第二面为竖直错位平行设置，分别用于透射光束；所述第三面和第四面倾斜错位平行设置于所述第一面和第二面之间，所述第三面朝向所述第一面倾斜，所述第四面朝向所述第二面倾斜；所述第三面的反射面和第四面的反射面中的至少一个反射面为布儒斯特反射，使所述第一面和第二面之间的光束至少经过一次布儒斯特反射起偏；所述第三面的反射面和第四面的反射面分别以相同的布儒斯特角反射所述第一面和第二面之间的光束，使所述第一面透射光束的传播方向和第二面透射光束的传播方向相同。2.如权利要求1所述的反射式偏振分光棱镜，其特征在于，所述第三面的反射面和第四面的反射面均为布儒斯特反射，使所述第一面和第二面之间的光束经过两次布儒斯特反射起偏。3.如权利要求1所述的反射式偏振分光棱镜，其特征在于，所述反射式偏振分光棱镜还包括第五面和第六面，所述第五面连接于所述第一面和第三面之间，所述第六面连接于所述第二面和第四面之间，通过所述第一面、第五面、第三面、第二面、第六面、第四面的顺次连接形成一体化结构的反射式偏振分光棱镜。4.如权利要求1所述的反射式偏振分光棱镜，其特征在于，所述反射式偏振分光棱镜包括对称的两个布儒斯特棱镜，所述两个布儒斯特棱镜通过叠加形成反射式偏振分光棱镜，叠加后的两个布儒斯特棱镜的布儒斯特反射面倾斜错位平行设置。5.如权利要求4所述的反射式偏振分光棱镜，其特征在于，一布儒斯特棱镜的布儒斯特反射面反射的光束垂直于所述两个布儒斯特棱镜叠加后的叠加面入射至另一布儒斯特棱镜的布儒斯特反射面。6.如权利要求1所述的反射式偏振分光棱镜，其特征在于，所述第一面和第二面分别镀有增透膜。7.如权利要求1-6任一项所述的反射式偏振分光棱镜，其特征在于，所述反射式偏振分光棱镜为规则形状或非规则形状。8.一种光刻机，其特征在于，包括反射式偏振分光棱镜，所述反射式偏振分光棱镜用于对光刻机的照明光束进行起偏获得线偏振光，所述反射式偏振分光棱镜为权利要求1-7任一项所述的反射式偏振分光棱镜。
技术总结
一种反射式偏振分光棱镜及光刻机，反射式偏振分光棱镜包括：错位平行设置的第一面和第二面，错位平行设置的第三面和第四面；第一面和第二面为竖直错位平行设置，分别用于透射光束；第三面和第四面倾斜错位平行设置于第一面和第二面之间，第三面朝向所述第一面倾斜，第四面朝向第二面倾斜；第三面的反射面和第四面的反射面中的至少一个反射面为布儒斯特反射，使第一面和第二面之间的光束至少经过一次布儒斯特反射起偏；第三面的反射面和第四面的反射面分别以相同的布儒斯特角反射第一面和第二面之间的光束，使第一面透射光束的传播方向和第二面透射光束的传播方向相同。通过两次布儒斯特角反射，使入射光束的传播方向与出射光束的传播方向相同。束的传播方向相同。束的传播方向相同。
技术研发人员：徐磊 朱玲琳 曾爱军 黄惠杰
受保护的技术使用者：上海镭望光学科技有限公司
技术研发日：2022.11.11
技术公布日：2023/2/27