一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法与流程

1.本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法。


背景技术：

2.光刻机(lithography)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
3.现有的光刻机装备包括主体和升降组件，所述主体具有加工舱，所述升降组件包括沿上下向活动安装于所述加工舱内的掩膜板承载台，所述掩膜板承载台用于承载掩膜板，光刻工作时，存在掩膜板承载台或掩膜板有杂质，或者所述掩膜板位置错位等情况，当出现上述情况时，通常需要对所述掩膜板承载台进行维护，由于光刻机自身程序设定，当打开加工舱的舱门后，所述升降组件将断电且自锁，使得所述掩膜板承载台沿上下向位置无法调节，导致维护困难。


技术实现要素：

4.本发明的主要目的是提出一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法，旨在解决打开加工舱的舱门维护掩膜板承载台时，所述升降组件将断电且自锁，使得所述掩膜板承载台沿上下向位置无法调节，导致维护困难的问题。
5.为实现上述目的，本发明提出一种升降辅助工装，适用于光刻机维护使用，所述升降辅助工装包括：
6.控制装置；
7.连接组件，包括电源连接线以及信号传输线，所述电源连接线和所述信号传输线的一端均与所述控制装置电连接，所述电源连接线和所述信号传输线的另一端用于分别与光刻机的电源接头和信号传输接头电连接；以及，
8.开关组件，与所述控制装置电连接，以控制所述电源连接线和/或所述信号传输线的通断。
9.可选地，所述控制装置包括：
10.壳体，所述壳体上设置有穿设孔；以及，
11.控制器，安装于所述壳体内；
12.所述电源连接线和所述信号传输线的一端穿过所述穿设孔与所述控制器电连接。
13.可选地，所述壳体一侧面呈内凹设置，以形成用以供所述开关组件安装的容纳槽；和/或，
14.所述升降辅助工装还包括防脱组件，所述防脱组件包括绕线部、连接绳及套环，所述绕线部的一端安装于所述壳体，所述连接绳绕设于所述绕线部上，且其一端与所述绕线部固定连接，所述套环与所述连接绳的另一端相连，所述套环用于套装于操作者的手臂上。
15.可选地，还包括盖板，所述盖板对应所述容纳槽设置，且所述盖板的一端与所述壳体之间转动连接，以使得所述盖板具有运动至打开所述容纳槽的开启位置和关闭所述容纳槽的闭合位置；和/或，
16.所述绕线部包括绕线柱和限位盘，所述绕线柱的一端安装于所述壳体，所述绕线柱用以供所述连接绳绕设，所述限位盘设于所述绕线柱的另一端，且所述限位盘的端面与所述绕线柱的端面相抵接；和/或，
17.所述套环的制成材质包括橡胶。
18.可选地，还包括第一锁紧组件，所述第一锁紧组件用以在所述盖板处于所述闭合位置时，将所述盖板与所述壳体锁紧固定；和/或，
19.所述升降辅助工装还包括第二锁紧组件，所述第二锁紧组件用以在所述盖板处于所述开启位置时，将所述盖板与所述壳体锁紧固定；和/或，
20.所述盖板呈透明设置；和/或，
21.所述盖板的制成材质包括塑料。
22.可选地，所述第一锁紧组件包括第一磁体和与所述第一磁体磁吸配合的第一锁紧部，所述第一磁体和所述第一锁紧部中，其中一者设于所述盖板，另一者设于所述壳体；和/或，
23.所述第二锁紧组件包括第二磁体和与所述第二磁体磁吸配合的第二锁紧部，所述第二磁体和所述第二锁紧部中，其中一者设于所述盖板，另一者设于所述壳体。
24.可选地，所述第一锁紧部包括铁片或者与所述第一磁体磁吸相吸的磁体；和/或，
25.所述第二锁紧部包括铁片或者与所述第二磁体磁吸相吸的磁体。
26.可选地，所述限位盘背离所述绕线柱的端面上还设置有环形卡槽，所述环形卡槽用以供所述套环卡装。
27.本发明还提出一种光刻机，其中，所述光刻机包括：
28.主体，具有接线区域，所述接线区域设置有电源接头和信号传输接头，所述主体内部开设有加工舱；
29.升降组件，包括掩膜板承载台，所述掩膜板承载台沿上下向活动安装于所述加工舱内，所述掩膜板承载台用以供待加工掩膜板安放；以及，
30.升降辅助工装，包括如上述所述的升降辅助工装，所述升降辅助工装的所述电源连接线和所述信号传输线的另一端分别与所述电源接头和所述信号传输接头电连接。
31.本发明还提出一种基于上述所述的光刻机的维护方法，其中，所述维护方法的步骤包括：
32.将所述升降辅助工装的电源连接线和信号传输线分别对应插装于所述电源接头和所述信号传输接头，此时所述加工舱内的掩膜板承载台处于断电且自锁的状态；
33.按压所述开关组件，使得所述电源连接线以及信号传输线与所述控制装置电导通，以为所述掩膜板承载台供电且解除所述掩膜板承载台的自锁，使得所述掩膜板承载台可下降至维护位置；
34.完成对所述掩膜板承载台上的掩膜板的维护后，按压所述开关组件，以使得所述掩膜板自所述维护位置上升至加工位置；
35.将升降辅助工装的所述电源连接线和所述信号传输线与对应的所述电源接头和
所述信号传输接头相分离，完成维护操作。
36.本发明的技术方案中，通过设置一所述升降辅助工装，当需要对所述掩膜板承载台进行维护时，在打开加工舱的舱门后，所述升降组件将断电且自锁，通过使得所述电源连接线和所述信号传输线的另一端分别与光刻机的电源接头和信号传输接头电连接，由于所述开关组件与所述控制装置电连接，按压所述开关组件，通过所述开关组件控制所述电源连接线和/或所述信号传输线的电导通，实现通过所述电源连接线为所述掩膜板承载台断电后重新供电，所述控制装置通过所述信号传输线传输解除自锁的信号，使得所述掩膜版承载台解除自锁，从而实现掩膜版承载台根据需要进行位置调节。从而便于清理所述掩膜板承载台或掩膜板有上的杂质，或者调节所述掩膜板位置，结构简单，易操作。
附图说明
37.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
38.图1为本发明提供的升降辅助工装的一实施例的立体示意图；
39.图2为图1的控制装置的壳体上的盖板处于闭合位置的结构示意图；
40.图3为图1的控制装置的壳体上的盖板处于开启位置的结构示意图；
41.图4为本发明提供的光刻机的一实施例的立体示意图；
42.图5为本发明提供的光刻机的维护方法的流程示意图。
43.附图标号说明：
[0044][0045]
[0046]
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0047]
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0048]
需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0049]
另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“a和/或b”为例，包括a方案、或b方案、或a和b同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
[0050]
光刻机(lithography)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
[0051]
现有的光刻机装备包括主体和升降组件，所述主体具有加工舱，所述升降组件包括沿上下向活动安装于所述加工舱内的掩膜板承载台，所述掩膜板承载台用于承载掩膜板，光刻工作时，存在掩膜板承载台或掩膜板有杂质，或者所述掩膜板位置错位等情况，当出现上述情况时，通常需要对所述掩膜板承载台进行维护，由于光刻机自身程序设定，当打开加工舱的舱门后，所述升降组件将断电且自锁，使得所述掩膜板承载台沿上下向位置无法调节，导致维护困难。
[0052]
鉴于此，本发明提供一种升降辅助工装，图1至图3为本发明提供的升降辅助工装的一实施例，以下将结合具体的附图对所述升降辅助工装进行说明。
[0053]
请参阅图1至图3，所述升降辅助工装100包括控制装置1、连接组件2及开关组件3，所述连接组件2包括电源连接线21以及信号传输线22，所述电源连接线21和所述信号传输线22的一端均与所述控制装置1电连接，所述电源连接线21和所述信号传输线22的另一端用于分别与光刻机的电源接头和信号传输接头电连接，所述开关组件3与所述控制装置1电连接，以控制所述电源连接线21和/或所述信号传输线22的通断。
[0054]
本发明的技术方案中，通过设置一所述升降辅助工装100，当需要对所述掩膜板承载台进行维护时，在打开加工舱的舱门后，所述升降组件将断电且自锁，通过使得所述电源连接线21和所述信号传输线22的另一端分别与光刻机的电源接头和信号传输接头电连接，由于所述开关组件3与所述控制装置1电连接，按压所述开关组件3，通过所述开关组件3控制所述电源连接线21和/或所述信号传输线22的电导通，实现通过所述电源连接线21为所述掩膜板承载台断电后重新供电，所述控制装置1通过所述信号传输线22传输解除自锁的
信号，使得所述掩膜版承载台解除自锁，从而实现掩膜版承载台根据需要进行位置调节。从而便于清理所述掩膜板承载台或掩膜板有上的杂质，或者调节所述掩膜板位置，结构简单，易操作。
[0055]
需要说明的是，由于所述开关组件3的技术已经成熟，本技术在此不一一赘述，另外，本技术中，所述开关组件3可以设置为按压式的两档位开关，当按压一次时，使得所述掩膜版承载台可向下活动，当按压第二次时，所述掩膜版承载台可以向上运动，具体地，所述开关组件3可以根据需要进行选择，本技术对此不作限定。
[0056]
具体地，所述控制装置1包括壳体11和控制器，所述壳体11上设置有穿设孔，所述控制器安装于所述壳体11内，实现了对所述控制器的保护，所述电源连接线21和所述信号传输线22的一端穿过所述穿设孔与所述控制器电连接，结构简单。
[0057]
此外，所述壳体11表面设置有颗粒状耐磨层。在所述壳体11设置所述颗粒状耐摩层，一方面增加握持摩擦力，另一方面提升手感，还一方面延长其使用寿命。可以理解的是，所述壳体11采用绝缘设置，以避免对所述信号传输线22传输的讯号造成影响。
[0058]
参照图3，所述壳体11一侧面呈内凹设置，以形成用以供所述开关组件3安装的容纳槽111，通过将所述开关组件3安装于所述容纳槽111内，实现了对所述开关组件3的保护，避免所述控制装置1掉落，导致所述开关组件3发生碰撞而损坏。
[0059]
具体地，所述升降辅助工装100还包括盖板4，所述盖板4对应所述容纳槽111设置，且所述盖板4的一端与所述壳体11之间转动连接，以使得所述盖板4具有运动至打开所述容纳槽111的开启位置和关闭所述容纳槽111的闭合位置，如此设置，通过所述盖板4盖合所述容纳槽111，实现了对所述容纳槽111的进一步保护，且当需要使用所述开关组件3时，只需要使得所述盖板4活动至打开所述容纳槽111，便可以按压所述开关组件3，结构简单，易操作。
[0060]
具体地，所述升降辅助工装100还包括第一锁紧组件，所述第一锁紧组件用以在所述盖板4处于所述闭合位置时，将所述盖板4与所述壳体11锁紧固定，以避免所述盖板4自所述闭合位置向所述开启位置方向活动，影响使用效果。
[0061]
进一步地，所述第一锁紧组件的种类有多种，例如，在一个实施例中，所述第一锁紧组件包括卡扣结构，具体地，在本技术的实施例中，所述第一锁紧组件包括第一磁体51和与所述第一磁体磁51吸配合的第一锁紧部52，所述第一磁体51和所述第一锁紧部52中，其中一者设于所述盖板4，另一者设于所述壳体11，通过所述第一磁体51和所述第一锁紧部52磁吸配合，从而实现了将所述盖板4与所述壳体11锁紧固定，结构简单，易操作。
[0062]
需要说明的是，所述第一锁紧部52包括铁片或者与所述第一磁体51磁吸相吸的磁体。
[0063]
具体地，所述升降辅助工装100还包括第二锁紧组件，所述第二锁紧组件用以在所述盖板4处于所述开启位置时，将所述盖板4与所述壳体11锁紧固定，如此设置，以避免所述盖板4自所述开启位置向所述闭合位置方向活动，影响使用效果。
[0064]
进一步地，所述第二锁紧组件的种类有多种，例如，在一个实施例中，所述第二锁紧组件包括卡扣结构，具体地，在本技术的实施例中，所述第二锁紧组件包括第二磁体61和与所述第二磁体61磁吸配合的第二锁紧部62，所述第二磁体61和所述第二锁紧部62中，其中一者设于所述盖板4，另一者设于所述壳体11，通过所述第二磁体61和所述第二锁紧部62
磁吸配合，从而实现将将所述盖板4与所述壳体11锁紧固定，结构简单，易操作。
[0065]
需要说明的是，所述第二锁紧部62包括铁片或者与所述第二磁体61磁吸相吸的磁体。
[0066]
具体地，所述盖板4呈透明设置，如此，便于透过所述盖板4观察开关组件3的情况。
[0067]
所述盖板4的制成材质包括塑料，如此，减轻了所述控制装置1的重量，节约成本。
[0068]
考虑到在使用过程中，存在手滑导致控制装置1滑落至地面而损坏的风险，参照图1，在本技术的实施例中，所述升降辅助工装100还包括防脱组件7，所述防脱组件7包括绕线部71、连接绳72及套环73，所述绕线部71的一端安装于所述壳体11，所述连接绳72绕设于所述绕线部71上，且其一端与所述绕线部71固定连接，所述套环73与所述连接绳72的另一端相连，通过使得所述套环73套装于操作者的手臂上，当发生手滑使得所述控制装置1自手中掉落时，由于所述套环73套装于操作者的手臂上，在所述连接绳72的牵引作用下，避免控制装置1掉落至地面发生碰撞而损坏，实现了对控制装置1的保护。
[0069]
为了提高套设有套环73的胳膊的舒适度，在本技术的实施例中，所述套环73的制成材质包括橡胶。当然，在其他是实施例中，所述套环73的制成材质还可以包括硅胶等，具体地，本技术对此不作限定。
[0070]
具体地，参照图2至图3，所述绕线部71包括绕线柱711和限位盘712，所述绕线柱711的一端安装于所述壳体11，所述绕线柱711用以供所述连接绳72绕设，所述限位盘712设于所述绕线柱711的另一端，且所述限位盘712的端面与所述绕线柱711的端面相抵接，如此设置，便于所述连接绳72绕设于所述绕线柱711，且所述限位盘712可以避免绕设于所述绕线柱711上的连接绳72松散，提高了连接绳72的绕设效果。
[0071]
进一步地，所述限位盘712背离所述绕线柱711的端面上还设置有环形卡槽a，当不需要使用所述升降辅助工装100时，可将所述套环73卡装于所述环形卡槽a，实现了所述套环73的收纳，结构简单，易操作，提高了美观度。
[0072]
需要说明的是，上述实施例中，通过设置所述容纳槽111、所述盖板4以及所述防脱组件7，使得在使用结束后，能够把盖板4翻折到竖直状态，在所述第一磁体51和所述第一锁紧部52的相互吸引力的作用下，使得盖板4能够很好的对开关组件3进行防护，避免了在放置或运输过程中对开关组件3造成损害；以及在使用控制器主体控制设备上部件降下时，可以先取下套环73，然后把缠绕在绕线柱711上的连接绳72取下，使用者手臂能够穿进套环73内，避免了在使用时，手滑而导致控制器主体脱落。
[0073]
参照图4，本发明还提出一种光刻机，所述光刻机1000包括主体200、升降组件200以及升降辅助工装100，所述主体200具有接线区域，所述接线区域设置有电源接头201和信号传输接头202，所述主体200内部开设有加工舱，所述升降组件300包括掩膜板承载台301，所述掩膜板承载台301沿上下向活动安装于所述加工舱内，所述掩膜板承载台301用以供待加工掩膜板安放，所述升降辅助工装100包括如上述所述的升降辅助工装100，当需要对所述掩膜板承载台301进行维护时，在打开加工舱的舱门后，所述升降组件300将断电且自锁，所述升降辅助工装100的所述电源连接线21和所述信号传输线22的另一端分别与所述电源接头201和所述信号传输接头202电连接，由于所述开关组件3与所述控制装置1电连接，按压所述开关组件3，通过所述开关组件3控制所述电源连接线21和/或所述信号传输线22的电导通，实现通过所述电源连接线21为所述掩膜板承载台301断电后重新供电，所述控制装
置1通过所述信号传输线22传输解除自锁的信号，使得所述掩膜版承载台解除自锁，从而实现掩膜版承载台根据需要进行位置调节。从而便于清理所述掩膜板承载台301或掩膜板有上的杂质，或者调节所述掩膜板位置，结构简单，易操作。
[0074]
需要说明的是，所述电源连接线21的另一端设置有卡侬接头211，通过所述卡侬接头211为所述升降组件300提供24v电源，所述信号传输线22的另一端设置fgg接头221，通过所述fgg接头221给升降组件300发送解除自锁的信号。
[0075]
具体地，因所述光刻机较为精密且昂贵，为保障加工舱内的加工装置不受损害而避免产生较大损失，所述光刻机的防护较为周密，但如此也会导致简单的日常维护较为繁琐，故，设置所述升降辅助工装100以简化维护操作，提升维护效率。
[0076]
基于上述的加工设备，本发明还提出一种维护方法，请参阅图5，所述维护方法的步骤包括：
[0077]
步骤s10、将所述升降辅助工装100的电源连接线21和信号传输线22分别对应插装于所述电源接头201和所述信号传输接头202，此时所述加工舱内的掩膜板承载台301处于断电且自锁的状态；
[0078]
步骤s20、按压所述开关组件3，使得所述电源连接线21以及信号传输线22与所述控制装置1电导通，以为所述掩膜板承载台301供电且解除所述掩膜板承载台301的自锁，使得所述掩膜板承载台301可下降至维护位置；
[0079]
步骤s30、完成对所述掩膜板承载台301上的掩膜板的维护后，按压所述开关组件3，以使得所述掩膜板自所述维护位置上升至加工位置；
[0080]
步骤s40、将升降辅助工装100的所述电源连接线21和所述信号传输线22与对应的所述电源接头201和所述信号传输接头202相分离，完成维护操作。
[0081]
综上，所述加工舱内的掩膜板承载台301处于断电且自锁的状态时，通过外接升降辅助工装100，使得所述升降辅助工装100的所述电源连接线21和所述信号传输线22的另一端分别与所述电源接头201和所述信号传输接头202电连接，由于所述开关组件3与所述控制装置1电连接，按压所述开关组件3，通过所述开关组件3控制所述电源连接线21和/或所述信号传输线22的电导通，实现通过所述电源连接线21为所述掩膜板承载台301断电后重新供电，所述控制装置1通过所述信号传输线22传输解除自锁的信号，使得所述掩膜版承载台解除自锁，从而使得所述掩膜板承载台301可下降至维护位置，便于操作者清理掩膜板承载台301或掩膜板存在的杂质或者调节所述掩膜板的位置，结构简单，易操作。完成对所述掩膜板承载台301上的掩膜板的维护后，按压所述开关组件3，以使得所述掩膜板自所述维护位置上升至加工位置，便于后续对掩膜版的加工处理，然后将升降辅助工装100的所述电源连接线21和所述信号传输线22与对应的所述电源接头201和所述信号传输接头202相分离，完成维护操作。
[0082]
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。