1.一种光谱滤波器，包括多个滤波器阵列，每个滤波器阵列包括具有彼此不同的中心波长的多个单元滤波器，
2.根据权利要求1所述的光谱滤波器，其中，所述空腔和所述下图案膜的有效折射率随着所述第一图案和所述第二图案的尺寸而变化。
3.根据权利要求1所述的光谱滤波器，其中，所述多个单元滤波器中的每个单元滤波器的所述空腔具有均匀的厚度，并且所述多个单元滤波器中的每个单元滤波器的所述下图案膜具有均匀的厚度。
4.根据权利要求1所述的光谱滤波器，其中，所述第一金属反射层和所述第二金属反射层中的每个金属反射层包括al、ag、au、cu、w、ti或tin中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的光谱滤波器，其中，所述多个单元滤波器中的每个单元滤波器还包括设置在所述第二金属反射层上并包括第三图案的上图案膜。
6.根据权利要求5所述的光谱滤波器，其中，在具有相同中心波长的所述单元滤波器中，所述上图案膜的第三图案根据具有相同中心波长的所述单元滤波器的位置而变化。
7.根据权利要求1所述的光谱滤波器，其中，所述多个单元滤波器中的每个单元滤波器还包括滤色器，所述滤色器设置在所述第二金属反射层上并被配置为仅透射特定波长带。
8.一种光谱滤波器，包括多个滤波器阵列，每个滤波器阵列包括具有彼此不同的中心波长的多个单元滤波器，
9.根据权利要求8所述的光谱滤波器，其中，所述波长偏移补偿层根据具有相同中心波长的所述单元滤波器的位置而具有不同的厚度。
10.根据权利要求8所述的光谱滤波器，其中，所述波长偏移补偿层包括根据具有相同中心波长的所述单元滤波器的位置而变化的图案。
11.根据权利要求8所述的光谱滤波器，其中，所述第一反射层和所述第二反射层分别包括第一金属反射层和第二金属反射层。
12.根据权利要求11所述的光谱滤波器，其中，在所述第一金属反射层下方设置包括第二图案的下图案膜。
13.根据权利要求12所述的光谱滤波器，其中，所述下图案膜还包括下波长偏移补偿层。
14.根据权利要求11所述的光谱滤波器，其中，在所述第二金属反射层上设置包括第三图案的上图案膜。
15.根据权利要求14所述的光谱滤波器，其中，所述上图案膜还包括上波长偏移补偿层。
16.一种图像传感器，包括：
17.根据权利要求16所述的图像传感器，其中，所述多个单元滤波器中的每个单元滤波器还包括设置在所述第二金属反射层上并包括第三图案的上图案膜。
18.根据权利要求17所述的图像传感器，其中，在具有相同中心波长的所述单元滤波器中，所述上图案膜的第三图案根据具有相同中心波长的所述单元滤波器的位置而变化。
19.根据权利要求16所述的图像传感器，其中，所述多个单元滤波器中的每个单元滤波器还包括滤色器，所述滤色器设置在所述第二金属反射层上并被配置为仅透射特定波长带。
20.根据权利要求16所述的图像传感器，还包括定时控制器、行解码器和输出电路。