大面积纳米压印拼接模板的制作方法

文档序号:30659364发布日期:2022-07-06 01:30阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种大面积纳米压印拼接模板,其特征在于,包括:基板,所述基板上设有多个阵列排布的基准光栅,所述多个阵列排布的基准光栅在所述基板上界定多个拼接区域;多个压印模板单元,分别设于所述多个拼接区域内,且任意相邻的两个所述压印模板单元相互拼接。2.如权利要求1所述的大面积纳米压印拼接模板,其特征在于,所述基板上任意相邻的两个所述基准光栅的对准中心之间的间距为d;所述压印模板单元上形成有多个微纳结构,相邻的两个所述微纳结构之间的间距为a;其中,d为a的正整数倍。3.如权利要求1所述的大面积纳米压印拼接模板,其特征在于,所述基准光栅呈矩阵排布。4.如权利要求3所述的大面积纳米压印拼接模板,其特征在于,所述基准光栅为能够形成摩尔纹的圆形光栅。5.如权利要求1所述的大面积纳米压印拼接模板,其特征在于,任意相互拼接的两个所述压印模板单元均具有相互重合的过渡部分。6.如权利要求5所述的大面积纳米压印拼接模板,其特征在于,任意相互拼接的两个所述压印模板单元的所述过渡部分相互压合。7.如权利要求6所述的大面积纳米压印拼接模板,其特征在于,所述压印模板单元由压印胶固化形成。8.如权利要求1~7中任一项所述的大面积纳米压印拼接模板,其特征在于,所述基板的表面上设有增粘剂。

技术总结
本实用新型公开了一种大面积纳米压印拼接模板,其包括基板和多个压印模板单元;所述基板上设有多个阵列排布的基准光栅,所述多个阵列排布的基准光栅在所述基板上界定多个拼接区域;所述多个压印模板单元分别设于所述多个拼接区域内,且任意相邻的两个所述压印模板单元相互拼接。本实用新型提供的大面积纳米压印拼接模板,通过在基板上设置多个阵列排布的基准光栅,该基准光栅能够在拼接压印模板单元时,作为对准准星,以使得压印模板单元能够精确的被布置在基板上预定的拼接区域内,从而实现压印模板单元间的精准过渡。现压印模板单元间的精准过渡。现压印模板单元间的精准过渡。


技术研发人员:罗刚
受保护的技术使用者:苏州鸿兴微纳科技有限公司
技术研发日:2022.01.13
技术公布日:2022/7/5
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