用于板材曝光的移载装置的制作方法

文档序号:31145675发布日期:2022-08-16 23:32阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种用于板材曝光的移载装置,其特征在于,包括:传送模组(31),其用于对板材进行传送;搬运模组(32),其用于将所述传送模组(31)上传送的所述板材进行拾取并传送;定位模组(33),其安装于所述传送模组(31)上,并用于对所述传送模组(31)上的所述板材进行位置定位,以使得所述搬运模组(32)拾取不同所述板材上的同一位置。2.如权利要求1所述的用于板材曝光的移载装置,其特征在于,所述传送模组(31)包括第一载台(311)、第一驱动组件和若干滚轴(312),所述第一驱动组件固定安装于所述第一载台(311)上,所述滚轴(312)的两端分别连接所述第一载台(311),所述板材在所述第一驱动组件的驱动力下在所述滚轴(312)上进行传送。3.如权利要求2所述的用于板材曝光的移载装置,其特征在于,所述搬运模组(32)包括第二载台(324)、第一方向组件(321)、第二方向组件(322)和拾取头组件(323),所述第二载台(324)与所述第一载台(311)固定连接,所述第一方向组件(321)安装于所述第二载台(324)上,所述第二方向组件(322)安装于所述第一方向组件(321)上,所述拾取头组件(323)与所述第二方向组件(322)固定连接,所述拾取头组件(323)在所述第一方向组件(321)与第二方向组件(322)的作用下分别沿竖直方向与水平方向进行往复运动。4.如权利要求3所述的用于板材曝光的移载装置,其特征在于,所述拾取头组件(323)包括第一支撑架(3231)与若干吸头(3232),若干所述吸头(3232)固定安装于所述第一支撑架(3231)上,若干所述吸头(3232)在所述第一方向组件(321)与第二方向组件(322)的传送下均匀吸附于所述板材表面。5.如权利要求2所述的用于板材曝光的移载装置,其特征在于,所述定位模组(33)包括第三载台(332)、第二驱动组件(331)和拍板组件,所述第三载台(332)与所述第一载台(311)固定连接,所述第二驱动组件(331)固定安装于所述第三载台(332)上,所述拍板组件连接所述第二驱动组件(331)并用于将停止的所述板材进行位置移动,所述拍板组件在所述第二驱动组件(331)的驱动力下沿垂直于所述板材运动方向移动,以使得所述板材移至所述传送模组(31)上的预设位置处。6.如权利要求5所述的用于板材曝光的移载装置,其特征在于,所述拍板组件包括传送带(333)、固定件(334)和移动板(335),所述传送带(333)连接所述第二驱动组件(331),所述固定件(334)与移动板(335)固定连接,所述固定件(334)固定连接于所述传送带(333)上,所述移动板(335)位于所述滚轴(312)的上方,所述移动板(335)在所述第二驱动组件(331)的驱动力下跟随所述传送带(333)沿垂直于所述板材传送方向进行运动,以使得所述移动板(335)将所述滚轴(312)上的所述板材推至所述预设位置。7.如权利要求6所述的用于板材曝光的移载装置,其特征在于,所述移动板(335)上设有若干限位齿(3351),所述限位齿(3351)位于相邻所述滚轴(312)之间间隙处。8.如权利要求7所述的用于板材曝光的移载装置,其特征在于,所述相邻限位齿(3351)之间的凹槽的弧度匹配所述滚轴(312)的外形。9.如权利要求4所述的用于板材曝光的移载装置,其特征在于,所述第一支撑架(3231)包括横杆与若干竖杆,若干所述竖杆可拆卸的安装于所述横杆上,若干所述吸头(3232)固定安装于所述竖杆上。

技术总结
本实用新型提供一种用于板材曝光的移载装置,包括:传送模组用于对板材进行传送;搬运模组用于将所述传送模组上传送的所述板材进行拾取并传送;定位模组安装于所述传送模组上,并用于对所述传送模组上的所述板材进行位置定位,以使得所述搬运模组拾取不同所述板材上的同一位置;该装置通过将定位模组安装于传送模组上,在搬运模组拾取板材之前对其进行位置定位,以提高搬运模组拾取板材的拾取精度,进一步提高曝光机的曝光精度。进一步提高曝光机的曝光精度。进一步提高曝光机的曝光精度。


技术研发人员:孟庆浩 杨帆 陈曦 刘劼 任跃辉 魏亚菲 李高飞 胡辉来 曹葵康 温延培
受保护的技术使用者:苏州天准科技股份有限公司
技术研发日:2022.04.12
技术公布日:2022/8/15
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