一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构的制作方法

1.本实用新型涉及一种无掩模光刻机，特别是一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构。


背景技术：

2.无掩模光刻机已经广泛应用于集成电路的线路曝光、阻焊等，部分已应用于晶圆级封装、芯片封装等领域。目前现有的光刻机的移动平台通过高精密度的导轨安装于底座上，移动平台底部采用拖链的方式包裹电线、气管(用于抽真空平台的底部吸附线路板/晶圆/芯片等需要曝光的板)等随着移动平台一起移动，移动平台前后运动的过程中会导致拖链的振动，从而带动平台振动，影响扫描光刻的精度，尤其是微米级别的解析甚至未来纳米级别的解析，拖链的振动将对设备的稳定性以及解析精度有重大影响。此外，传统的方式使用久了以后还会出现导线来回折叠运动扯断、接口松动、气管来回折叠运动破损断裂等问题。为解决此问题，本技术人设计了一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构。


技术实现要素：

3.为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构，包括底座、移动平台，其特征在于：所述移动平台上设有电线转接头，所述电线转接头中设有金属触片，设备电线通过电线转接头与金属触片电连接，所述底座上设有线轨座，所述线轨座中设有与外界电源导通的导线，所述金属触片能够与导线滑动接触而导通，所述气管为伸缩管。
6.所述线轨座中设有凹槽，所述导线设置于凹槽的槽底。
7.所述凹槽的槽底设有圆弧卡槽，所述导线卡紧在圆弧卡槽中且导线的部分露在圆弧卡槽外从而与金属触片接触。
8.所述电线转接头上固定有螺纹导电柱，所述螺纹导电柱贯穿电线转接头且其两端露在螺纹导电柱外，所述金属触片上设有通孔，所述金属触片通过通孔套在螺纹导电柱上且通过螺母锁固。
9.所述金属触片包括连接片及弯折的接触片，所述通孔设置于连接片上，所述导线与接触片接触。
10.本实用新型的有益效果是：本实用新型提出采用导轨式接电通电代替电线及拖链，从而不使用电线以及拖链，当移动平台移动时，电线转接头中设有的金属触片会一直与导线电接触，从而保持移动平台上的设备一直有电，而且没有电线及拖链随着移动平台移动，因而不会有振动，而气管采用塑料伸缩式气管一端直接与平台上的阀体连接，另一端直接与气阀连接，气管不仅质量轻，而且通过伸缩的方式随移动平台动作也不会对平台造成振动，而且上述方式更不会有线路混乱互缠的问题。
11.本实用新型不使用拖链的方式不仅可以减少振动对设备的稳定性以及解析精度的影响，同时可以减少结构装配，减少后期人力物力成本。
附图说明
12.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
13.图1是本实用新型结构示意图；
14.图2是本实用新型另一方向的结构示意图。
具体实施方式
15.将通过参照附图描述的以下实施方案来阐明本公开的优点和特征以及其实施方法。然而，本公开可以体现为不同的形式并且不应当被解释为限于本文所阐述的实施方案。相反，提供这些实施方案，以使得本公开将是全面而完整的，并且将向本领域技术人员充分地传递本公开的范围。此外，本公开仅由权利要求书的范围限定。
16.用于描述本公开的实施方案的附图中所公开的形状、尺寸、比例、角度和数目仅是示例，因此本公开不限于所示出的细节。贯穿本说明书，相同的附图标记指代相同的元件。在以下描述中，当相关已知功能或配置的详细描述被确定为不必要地模糊本公开的重点时，将省略该详细描述。在使用本说明书中描述的“包括”、“具有”和“包含”的情况下，除非使用“仅”，否则可以添加其他部件。除非被相反地指出，否则单数形式的术语可以包括复数形式。
17.在对元件进行解释时，尽管没有明确描述，但是元件被理解为包括误差范围。
18.在描述位置关系时，例如，当位置关系被描述为“在
……
上”、“在
……
上方”、“在
……
下方”和“与
……
毗邻”时，除非使用“紧接”或“直接”，否则可以在两个其他部分之间布置一个或更多个部分。
19.在描述时间关系时，例如，当时间顺序被描述为“在
……
之后”、“随后”、“接下来”以及“在
……
之前”时，除非使用“刚好”或“直接”，否则可以包括不连续的情况。
20.应当理解，尽管在本文中可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但这些元件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件与其他元件区分。例如，第一元件可以被称为第二元件，并且类似地，第二元件可以被称为第一元件，而不偏离脱离本公开的范围。
21.如本领域技术人员可以充分理解的，本公开的不同实施方案的特征可以部分地或全部地彼此耦合或组合，并且可以以各种方式彼此协作并在技术上被驱动。本公开的实施方案可以彼此独立地执行，或者可以以相互依赖的关系一起执行。
22.参照图1、图2，本实用新型公开了一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构，包括底座1、移动平台2，所述移动平台2上设有电线转接头3，电线转接头3采用绝缘塑料制成，也可外购市面上的成品插座进行改装，电线转接头3采用螺钉固定在移动平台2上，所述电线转接头3中设有金属触片4，设备电线通过电线转接头3与金属触片4电连接，所述底座1上设有线轨座5，所述线轨座5中设有与外界电源导通的导线6，所述金属触片4能够与导线6滑动接触而导通，导线6是裸金属线，线轨座5也是绝缘塑料制成，本技术中导线6有两根，分别是火线和零线，当然为了更安全，我们也可以额外增加一条地线，当然金属触片4也会相应为三
片，分别与对应的导线6接触，而另一端会与对应的设备线连接,当然为了安全，我们可以设计绝缘塑料罩将电线转接头3与线轨座5罩起来，外露部分也可包覆绝缘皮。
23.导线6的具体安装结构在于：所述线轨座5中设有凹槽7，所述导线6设置于凹槽7的槽底，所述凹槽7的槽底设有圆弧卡槽，所述导线6卡紧在圆弧卡槽中且导线6的部分露在圆弧卡槽外从而与金属触片4接触，圆弧卡槽的槽口宽度稍小于导线6的直径且圆弧卡槽的深度稍大于导线6的半径，因而导线6可以卡在圆弧卡槽中且部分露在凹槽7的槽底上与金属触片4接触。通过凹槽7可以引导及限制金属触片4，防止金属触片4偏摆脱离导线6。
24.金属触片4的具体安装结构在于：所述电线转接头3上固定有螺纹导电柱8，所述螺纹导电柱8贯穿电线转接头3且其两端露在螺纹导电柱8外，螺纹导电柱8与电线转接头3可一体注塑成型，所述金属触片4上设有通孔，所述金属触片4通过通孔套在螺纹导电柱8上且通过螺母(图中未显示出)锁固。所述金属触片4包括连接片9及弯折的接触片10，所述通孔设置于连接片9上，所述导线6与接触片10接触，这样金属触片4既通过连接片9与螺纹导电柱8固定并导通了，而且接触片10弯折倾斜具有一定角度接触片10从而能够具有一定的弹性能够使接触片10的端部与导线6紧密接触，接触片10的端部设有圆弧槽，从而与导线6匹配而增大接触。
25.本技术中，所述气管(图中未显示出)为伸缩管，该伸缩管为塑料伸缩管，塑料伸缩管也称风琴管，塑料伸缩管为市面上常见的产品，因而具体结构不详述，伸缩管连接和之前气管的连接结构是一样的，仅仅是能够伸缩，从而利用伸缩的方式随移动平台2动作也不会对平台造成振动。
26.以上对本实用新型实施例所提供的一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。