一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置的制作方法

1.本实用新型涉及掩模板制造技术领域，尤其涉及一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置。


背景技术：

2.目前掩模板制造行业对不同尺寸掩模板范围越来越广，行业内制程机制造厂商生产了一种g10代掩膜版生产线专用的大尺寸自动测量设备，该设备只能够测量尺寸为800*920mm 至1620*1780mm掩膜版产品，市场逐渐加大了对小尺寸的g10代掩膜版的需求，例如尺寸为800*700mm甚至小的掩模板，g10代掩膜版的大尺寸自动测量设备无法兼容小尺寸掩模板的测量工序，额外制造小型号的测量设备成本较高，且生产过程复杂，因此急需可以使大尺寸自动测量设备兼容小尺寸掩模板的技术。


技术实现要素：

3.本实用新型解决了g10代掩膜版的大尺寸自动测量设备无法兼容小尺寸掩模板的问题，提出了一种专用于小尺寸掩模板的限位装置，可以模拟成自动测量设备适配达尺寸掩模板，并将小尺寸掩模板固定在该限位装置上，以兼容小尺寸掩模板。
4.本实用新型通过下述技术方案实现：
5.一种适用于小尺寸掩膜版测量的限位装置，用于使g10代掩膜版自动测量机兼容小尺寸掩膜版，包括基板和安装在基板表面的限位件，所述基板靠近长边的基板板面上分别设有第一限位孔组和第二限位孔组，所述基板靠近短边的基板板面上都设有对称的两个第三限位孔组；所述第一限位孔组、第二限位孔组和第三限位孔组都包括间隔布置的两个限位孔，所述限位件包括两个尺寸与各限位孔组适配的安装头，多个所述限位件与第一尺寸掩模板边缘抵接，目前常用的g10代掩膜版生产线专用的大尺寸自动测量设备，通过光学传感器对模板的外形进行测量，一般第一尺寸掩模板尺寸为800*700mm，第二尺寸掩模板尺寸为800*520mm，第三尺寸掩模板尺寸为610*520mm。
6.该方案中，所述基板的尺寸设置为适配测量设备的最小尺寸，该基板可以模拟成适配的掩模板，保证基板安装的稳定性，根据产品要求，该基板所使用材料的热膨胀率及整体平台度要求较高，所以材料选取viosil-sq合成石英玻璃；
7.所述第一限位孔组为两个半径5mm的孔洞，设置在距离基板一条长边45mm的位置，所述第一限位孔组设有两组，所述第二限位孔组的孔洞尺寸与第一限位孔组一致，设置在距离基板另一条长边45mm的位置；
8.所述第三限位孔组共有两组，分别设置在距离基板两条短边55mm的位置，此时，所述第一限位孔组、第二限位孔组和第三限位孔组之间形成了尺寸与第一尺寸掩模板适配的限位区间，所述限位件安装在限位件上之后，可以将小尺寸掩模板固定在基板上，使得测量设备可以适应小尺寸掩模板测量工序，安装头是半径为5mm的圆柱形凸起，可以插入到不同的限位孔组内；
9.将需要测量的小尺寸掩模板放置在所述基板上后，将限位件插入到各个限位孔组内后，即可将掩模板限制并固定住，以便于完成测量，基板可以模拟为尺寸兼容的掩模板，以适应测量设备，最大程度地减小误差，使得g10代掩膜版的大尺寸自动测量设备可以对小尺寸掩模板进行测量。
10.进一步的，所述基板上还设有第四限位孔组，所述第四限位孔组和所述第一限位孔组的排布方向一致，所述第四限位孔组上也安装有限位件，此时所述第四限位孔组和第三限位孔组之间组成了更小的限位区域，使得该限位装置还可以适用于第二尺寸掩模板测量工序。
11.进一步的，所述基板上还设有两组第五限位孔组，所述第五限位孔组平行与第三限位孔组，此时所述第五限位孔组、第一限位孔组和第四限位孔组之间组成了更小的区域，使得该限位装置还可以适用于第三尺寸掩模板测量工序。
12.优选的，所述基板的上表面为光滑反射面，所述基板的下表面的侧面为粗糙雾面，以适配g10自动测量设备上的光学传感器。
13.优选的，所述基板的光滑反射面上还铺设有透明透气层，所述透明透气层表面的孔洞设置与所述基板的孔洞设置一致，所述透明透气层的材料为高分子透气膜，厚度为0.6mm，所述透气层可以保护基板表面。
14.优选的，所述基板的边缘还设有多个腰型孔，腰型孔使得操作员可以人工抓取和移动基板，宽度尺寸大于20mm，便于抓握。
15.优选的，所述限位件还包括连接在两个安装头之间的定位条，所述两个安装头圆心连线的方向平行于所述定位条的方向，所述定位条可以贴靠在相应的小尺寸掩模板边缘。
16.优选的，所述定位条朝向基板中心的一侧设有夹持凸起，所述夹持凸起可以夹持并固定住小尺寸掩模板的边缘，防止掩模板移动或掉落。
17.优选的，所述限位件为具有防静电效果的铁氟龙材质，防止电流在限位件上传播导致限位件的温度过高或者产生变形。
18.优选的，所述基板的四角都设置为圆角，以防止操作员移动所述基板的过程中产生磨损。
19.本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：专用于小尺寸掩模板的限位装置，带有尺寸适配掩模板的限位件和限位孔组，可以模拟成自动测量设备适配达尺寸掩模板，并将小尺寸掩模板固定在该限位装置上，以兼容小尺寸掩模板。
附图说明
20.此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本技术的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：
21.图1为本实用新型的整体结构示意图；
22.图2为本实用新型中基板的俯视图；
23.图3为本实用新型中基板以及透明透气层示意图；
24.图4为本实用新型中限位件的详细结构图；
25.图5为本实用新型中第一尺寸掩模板的安装示意图；
26.图6为本实用新型中第二尺寸掩模板的安装示意图；
27.图7为本实用新型中第三尺寸掩模板的安装示意图；
28.附图中标记及对应的零部件名称：
29.1-基板；11-第一限位孔组；12-第二限位孔组；13-第三限位孔组；14-第四限位孔组；15
‑ꢀ
第五限位孔组；16-光滑反射面；17-粗糙雾面；2-限位件；21-安装头；22-定位条；23-夹持凸起；3-腰型孔；4-圆角。
具体实施方式
30.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。
31.在以下描述中，为了提供对本实用新型的透彻理解阐述了大量特定细节。然而，对于本领域普通技术人员显而易见的是：不必采用这些特定细节来实行本实用新型。在其他实施例中，为了避免混淆本实用新型，未具体描述公知的结构、电路、材料或方法。
32.在整个说明书中，对“一个实施例”、“实施例”、“一个示例”或“示例”的提及意味着：结合该实施例或示例描述的特定特征、结构或特性被包含在本实用新型至少一个实施例中。因此，在整个说明书的各个地方出现的短语“一个实施例”、“实施例”、“一个示例”或“示例”不一定都指同一实施例或示例。此外，可以以任何适当的组合和、或子组合将特定的特征、结构或特性组合在一个或多个实施例或示例中。此外，本领域普通技术人员应当理解，在此提供的示图都是为了说明的目的，并且示图不一定是按比例绘制的。这里使用的术语“和/或”包括一个或多个相关列出的项目的任何和所有组合。
33.在本实用新型的描述中，术语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“高”、“低”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。
34.实施例
35.用于使掩膜版自动测量机兼容小尺寸掩膜版，其特征在于，包括基板1和安装在基板1 表面的限位件2，基板1靠近长边的基板板面上分别设有第一限位孔组11和第二限位孔组12；第一限位孔组11与第二限位孔组12之间的距离用于与第一尺寸的小尺寸掩模板适配，基板 1靠近短边的基板板面上都设有对称的两个第三限位孔组13，两个第三限位孔组13之间的距离用于与第一尺寸掩模板适配；第一限位孔组11、第二限位孔组12和第三限位孔组13都包括间隔布置的两个限位孔，限位件2包括两个尺寸与各限位孔组适配的安装头21，多个限位件2与第一尺寸掩模板边缘抵接；
36.第一限位孔组11与第二限位孔组12之间的距离为700mm，基板1靠近短边的基板板面上都设有对称的两个第三限位孔组13，两个第三限位孔组13之间的距离为800mm，其中第一限位孔组11、第二限位孔组12和第三限位孔组13形成800*700mm的区域可以用于放置和夹持相应尺寸大小的第一尺寸掩模板；
37.第一限位孔组11、第二限位孔组12和第三限位孔组13都包括间隔布置的两个限位孔，限位件2包括两个尺寸与各限位孔组适配的安装头21，多个限位件2与小尺寸掩模板边
缘抵接，各个限位孔组可以起到定位的效果，限位件2起到固定的效果。
38.其中，基板1的尺寸设置为适配测量设备的最小尺寸，即800*920*8mm的基板1，该基板1可以模拟成适配的掩模板，保证基板1安装的稳定性，根据产品要求，该基板1所使用材料的热膨胀率及整体平台度要求较高，所以材料选取viosil-sq合成石英玻璃，热膨胀率不大于6.5
×
10-7/deg，平坦度要求不大于25um，且为了减小误差，该基板1的外形加工公差为
±
0.02mm；
39.第一限位孔组11为两个半径5mm的孔洞，设置在距离基板1一条长边45mm的位置，第一限位孔组11设有两组，第二限位孔组12的孔洞尺寸与第一限位孔组11一致，设置在距离基板1另一条长边45mm的位置，第一限位孔组11和第二限位孔组12的孔洞圆心之间形成间隔为700mm的区域；
40.第三限位孔组13共有两组，分别设置在距离基板1两条短边55mm的位置，两个第三限位孔组13之间形成间隔为800mm的区域，此时，第一限位孔组11、第二限位孔组12和第三限位孔组13之间形成了尺寸为800*700mm的限位区间，限位件2安装在限位件2上之后，可以将小尺寸掩模板固定在基板1上，使得测量设备可以适应第一尺寸掩模板测量工序，安装头21是半径为5mm的圆柱形凸起，可以插入到不同的限位孔组内，限位孔组内径的加工公差为+0.02mm，安装头21的加工公差为-0.02mm；
41.如图5所示，将需要测量的小尺寸掩模板放置在基板1上后，将限位件2插入到各个限位孔组内后，即可将小尺寸掩模板限制并固定住，以便于完成测量，基板1可以模拟为尺寸兼容的掩模板，以适应测量设备，最大程度地减小误差，使得g10代掩膜版的大尺寸自动测量设备可以对小尺寸掩模板进行测量。
42.在一个或多个实施例中，如图2所示，较常用的小尺寸掩模板除了800*700mm的第一尺寸，还常常包括尺寸为800*520mm的第二尺寸和610*520mm的第三尺寸，因此在基板1上还设有第四限位孔组14，第四限位孔组14和第一限位孔组11的排布方向一致，第四限位孔组14与第一限位孔组11之间的距离为520mm，第四限位孔组14上也安装有限位件2，此时第四限位孔组14和第三限位孔组13之间组成了800*520mm的区域，使得该限位装置还可以适用于尺寸为800*520mm的掩模板测量工序；基板1上还设有两组第五限位孔组15，第五限位孔组15平行与第三限位孔组13，两个第五限位孔组15之间的距离为610mm，此时第五限位孔组15、第一限位孔组11和第四限位孔组14之间组成了610*520mm的区域，使得该限位装置还可以适用于610*520mm的掩模板测量工序，具体如图6和图7所示。
43.在一个或多个实施例中，如图3所示，基板1的上表面为光滑反射面16，基板1的下表面的侧面为粗糙雾面17，光滑的反射面可以使得测量设备的光学传感器快捷地获取基板1位置和尺寸的信息，而下表面和侧面为了防止倾斜或倒放导致出错，设置为粗糙雾面17，错放后的粗糙屋面无法传递信息，可以防止由于位置偏差造成的测量误差。
44.在一个或多个实施例中，如图3所示，基板1的光滑反射面16上还铺设有透明透气层，透明透气层表面的孔洞设置与基板1的孔洞设置一致，透明透气层的材料为高分子透气膜，厚度为0.6mm，透气层可以保护基板1表面。
45.在一个或多个实施例中，如图1或图2所示，基板1的边缘还设有多个腰型孔3，腰型孔3使得操作员可以人工抓取和移动基板1，宽度尺寸大于20mm，便于抓握。
46.在一个或多个实施例中，如图4所示，限位件2还包括连接在两个安装头21之间的
定位条22，两个安装头21圆心连线的方向平行于定位条22的方向，定位条22可以贴靠在相应的小尺寸掩模板边缘；定位条22朝向基板1中心的一侧设有夹持凸起23，夹持凸起23可以夹持并固定住小尺寸掩模板的边缘，防止掩模板移动或掉落。
47.在一个或多个实施例中，限位件2为具有防静电效果的铁氟龙材质，防止电流在限位件 2上传播导致限位件2的温度过高或者产生变形。
48.在一个或多个实施例中，如图1所示，基板1的四角都设置为圆角4，以防止操作员移动基板1的过程中产生磨损。
49.以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。