一种改良型的激光直写曝光机的制作方法

文档序号:33522532发布日期:2023-03-22 06:47阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种改良型的激光直写曝光机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)上表面的两侧均固定连接有第一电动滑轨(17),两个所述电动滑轨(15)的相对一侧均固定连接有安装壳(3),两个所述安装壳(3)内壁的相反一侧均固定有弹簧(4),两个所述弹簧(4)相对的一端均固定连接有挡板(5),两个所述挡板(5)的相对一侧均固定连接有三角定位板(6),两个所述三角定位板(6)相对的一侧分别贯穿相应的安装壳(3)的内壁一侧,所述机体(1)内壁上方的两侧均通过运动机构连接有放置台(8),两个所述放置台(8)的相反一侧均固定连接有定位板(9),两个所述定位板(9)的相反一侧均开设有定位槽(2),两个所述放置台(8)的上表面均开设有放置槽(10)。2.根据权利要求1所述的一种改良型的激光直写曝光机,其特征在于:所述运动机构包括电机(11),两个所述电机(11)位于机体(1)内壁上方左右两侧均固定连接,两个所述电机(11)的输出端均固定连接有第一齿轮(12),两个所述第一齿轮(12)的一侧表面均啮合连接有第二齿轮(13),两个所述第二齿轮(13)的右侧表面均固定连接有螺杆(14),两个所述螺杆(14)的杆臂表面螺纹连接有运动块(7)。3.根据权利要求2所述的一种改良型的激光直写曝光机,其特征在于:两个所述运动块(7)下表面均固定连接有滑块(16),两个所述滑块(16)的相对一侧均滑动连接有滑轨(15),两个所述滑轨(15)的上表面分别与机体(1)内壁的左右两侧固定连接。4.根据权利要求1所述的一种改良型的激光直写曝光机,其特征在于:所述机体(1)上表面的左右两侧均固定连接有第一电动滑轨(17),两个所述第一电动滑轨(17)的内壁均滑动连接有第一电动滑块(18),两个所述第一电动滑块(18)的上方表面均固定连接有l形支撑架(19),两个所述l形支撑架(19)上方的一端表面均固定连接有移动块(20)。5.根据权利要求4所述的一种改良型的激光直写曝光机,其特征在于:所述机体(1)的上表面的后方中心位置固定连接有支撑板(21),所述支撑板(21)两侧上方表面的前后处均固定连接有支撑块(22),多个所述支撑块(22)相对一侧的表面均固定连接有导向杆(23),多个所述导向杆(23)的杆臂表面分别与相应的移动块(20)内壁滑动连接。6.根据权利要求5所述的一种改良型的激光直写曝光机,其特征在于:两个所述l形支撑架(19)的下方表面均固定连接有第二电动滑轨(24),两个所述第二电动滑轨(24)的内壁均滑动连接有第二电动滑块(25),两个所述第二电动滑块(25)的下方表面均固定连接有光刻镜头(26)。7.根据权利要求1所述的一种改良型的激光直写曝光机,其特征在于:两个所述放置槽(10)的相对一侧均开设有弧形开口(27),所述机体(1)的下方表面的四角处均固定连接有万向轮(28)。

技术总结
本实用新型公开了一种改良型的激光直写曝光机,涉及到激光直写曝光机技术领域,包括机体,机体上表面的两侧均固定连接有第一电动滑轨,两个电动滑轨的相对一侧均固定连接有安装壳,两个安装壳内壁的相反一侧均固定有弹簧,两个弹簧相对的一端均固定连接有挡板,两个挡板的相对一侧均固定连接有三角定位板,两个三角定位板相对的一侧分别贯穿相应的安装壳的内壁一侧,机体内壁上方的两侧均通过运动机构连接有放置台。本实用新型从而能够将放置基板的放置台能够与光刻镜头进行定位对其,使得基板能够与光刻镜头进行校准定位对其,确保了在后续基板光刻的时候能够让光刻镜头准确有效的进行光刻,进而提高了对基板光刻的效果。果。果。


技术研发人员:王新辉 郑昌成 宁吉强
受保护的技术使用者:苏州市大衍智能设备有限公司
技术研发日:2022.11.14
技术公布日:2023/3/21
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