感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法、电子器件的制造方法及化合物与流程

文档序号:36255424发布日期:2023-12-03 15:35阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其含有由下述通式(s1)表示的化合物及酸分解性树脂,

2.根据权利要求1所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其中,所述通式(s1)中的q1、q2、q3、q4及q5中的至少一个表示吸电子基团。

3.根据权利要求1或2所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其中,所述通式(s1)中的q1、q2、q3、q4及q5中的至少一个表示氟原子或一价的氟代烃基。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其中,所述通式(s1)中的lq1表示单键。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其中,所述通式(s1)中的q1、q2、q3、q4及q5中的至少一个表示由所述通式(qr1)表示的芳氧基。

6.根据权利要求5所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其中,所述通式(s1)中的q3表示由所述通式(qr1)表示的芳氧基。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其中,通式(qr1)中的g1、g2、g3、g4及g5中的至少两个表示含有酯基的取代基。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其中,所述含有酯基的取代基为由下述通式(gr1)或(gr2)表示的基团,

9.根据权利要求8所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其中,所述通式(gr1)中的lg1及所述通式(gr2)中的lg2表示单键。

10.根据权利要求8或9所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其中,所述通式(gr1)中的t1及所述通式(gr2)中的t2分别独立地表示碳数1~20的有机基团。

11.根据权利要求8~10中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物,其中,所述通式(gr1)中的t1及所述通式(gr2)中的t2分别独立地表示任选地含有杂原子的链状脂肪族基团、或任选地含有杂原子的环状脂肪族基团。

12.一种抗蚀剂膜,其是使用权利要求1~11中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物而形成的。

13.一种图案形成方法,其使用权利要求12所述的抗蚀剂膜。

14.一种电子器件的制造方法,其包括权利要求13所述的图案形成方法。

15.一种化合物,其由下述通式(s1)表示,


技术总结
本发明提供一种含有由通式(S1)表示的化合物及酸分解性树脂的感光化射线性或感放射线性树脂组合物、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的抗蚀剂膜、图案形成方法、及电子器件的制造方法,以及通过由通式(S1)表示的化合物,在用于图案形成时可获得具有良好形状的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的化合物、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的抗蚀剂膜、图案形成方法、及电子器件的制造方法,以及可用于上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的化合物。Q1~Q5分别独立地表示氢原子或取代基,其中,Q1~Q5中的至少一个表示含有由通式(QR1)表示的芳氧基的取代基;Lq1表示单键或二价的连接基团;M+表示阳离子,G1~G5分别独立地表示氢原子或取代基,其中,G1~G5中的至少一个表示含有酯基的取代基;*表示键合位置。

技术研发人员:户次洋佑,小岛雅史,后藤研由,藤卷锦
受保护的技术使用者:富士胶片株式会社
技术研发日:
技术公布日:2024/1/16
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