一种金属掩模板的制备方法与流程

文档序号:35424076发布日期:2023-09-13 13:21阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属掩模板的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤s102中,过渡区的内边缘宽幅为80~150μm,外边缘宽幅为10~50μm。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,过渡区内还形成有若干分隔线,该分隔线的两端分别与过渡区的外边缘和内边缘连接。

4.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,过渡区构造为跑道环形,内边缘和外边缘围合成过渡区。

5.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述过渡区构造为矩形,内边缘和外边缘平行设置。

6.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,有效区构造为矩形,过渡区分布在有效区的两侧。

7.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,在步骤s104中,金属箔材上还包括位于过渡区外侧的无效区。

8.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,在步骤s106中获得的金属掩模板具有若干贯通孔。

9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述光罩采用包括如下步骤的工艺制备而得:

10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,在步骤s202中,通过描绘机或蚀刻在铬金属层上形成具有有效区和过渡区的图案。


技术总结
本发明公开了一种金属掩模板的制备方法,涉及掩模板制备领域,包括如下步骤:选取金属箔材→施加光刻胶→曝光→显影→湿式蚀刻→去光刻胶→获得具有所需图案的金属箔材,其中,曝光时使用的光罩包括有效区和设置在有效区外侧的过渡区,过渡区的内边缘宽幅大于外边缘宽幅。本发明使用过渡区内边缘宽幅大于外边缘宽幅的光罩对带有光刻胶的金属箔材进行曝光,在金属箔材上也形成内边缘宽幅大于外边缘宽幅的过渡区,使得过渡区靠近有效区一侧的内边缘先被蚀刻,避免内边缘划伤有效区,提高金属掩模板的良品率。

技术研发人员:史小龙
受保护的技术使用者:寰采星科技(宁波)有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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