1.一种金属掩模板的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤s102中,过渡区的内边缘宽幅为80~150μm,外边缘宽幅为10~50μm。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,过渡区内还形成有若干分隔线,该分隔线的两端分别与过渡区的外边缘和内边缘连接。
4.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,过渡区构造为跑道环形,内边缘和外边缘围合成过渡区。
5.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述过渡区构造为矩形,内边缘和外边缘平行设置。
6.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,有效区构造为矩形,过渡区分布在有效区的两侧。
7.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,在步骤s104中,金属箔材上还包括位于过渡区外侧的无效区。
8.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,在步骤s106中获得的金属掩模板具有若干贯通孔。
9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述光罩采用包括如下步骤的工艺制备而得:
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,在步骤s202中,通过描绘机或蚀刻在铬金属层上形成具有有效区和过渡区的图案。