1.一种光罩数据比对方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光罩数据比对方法，其特征在于，所述的对所述异或运算结果文件进行预处理，形成预处理文件包括：
3.根据权利要求2所述的光罩数据比对方法，其特征在于，所述的遍历所述预处理文件中差异图形的位置，输出不同图形类型对应的图形尺寸与格点关系包括：
4.根据权利要求3所述的光罩数据比对方法，其特征在于，所述的根据图形数据系统的标准文件识别所述十六进制文本，获取图形类型和图形尺寸包括：
5.根据权利要求3或4所述的光罩数据比对方法，其特征在于，所述的根据产品参数设定格点包括：
6.根据权利要求3或4所述的光罩数据比对方法，其特征在于，所述的遍历差异图形的位置，根据图形类型对应的图形尺寸与格点关系判别规则，输出图形尺寸与格点关系包括：
7.根据权利要求4所述的光罩数据比对方法，其特征在于，所述的根据所述坐标点位信息判断图形类型包括：
8.根据权利要求7所述的光罩数据比对方法，其特征在于，所述的针对不同的图形类型，分别根据图形单位数据和坐标点位信息计算图形尺寸包括：
9.根据权利要求6所述的光罩数据比对方法，其特征在于，所述的设定每种产品类别对应的异或运算结果判定规则包括：
10.一种光罩数据比对系统，其特征在于，包括：