光学邻近修正方法及系统与流程

本发明涉及半导体制造集成电路领域，特别是涉及一种光学邻近修正方法及系统。

背景技术：

1、随着集成电路器件工艺节点的不断缩小，图形特征尺寸越来越小，在光学邻近修正（optical proximity correction，简称opc）处理中，利用亚分辨率辅助图形技术(sub-resolution assist feature，简称sraf)在掩膜图形中图形稀疏区域内插入亚分辨率辅助图形，即散射条(scattering bar，简称sb)，使得图形稀疏区域具有图形密集区域的特性。散射条已经广泛应用于小技术节点的关键层次出版过程中，其本身不会在硅片上成像，通过对部分工艺窗口偏小图形添加合适的光学散射条，从而提高焦深和所有图形的共同工艺窗口。

2、然而，在光学邻近修正的流程中，不能完全检查出散射条的添加是否遗漏，且检查过程耗时成本较高，从而影响工艺良率及效率。因此，如何优化散射条的添加过程是亟需解决的问题。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述背景技术中的问题，提供一种光学邻近修正方法及系统，以提高散射条添加的准确率，从而优化光学邻近修正的流程，提高光学邻近修正的良率及效率。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本技术的一方面提供了一种光学邻近修正方法，包括：获取初始版图图形，初始版图图形包括至少一个目标边，并在目标边沿第一方向远离初始版图图形的一侧添加散射条；其中，第一方向与目标边的延伸方向垂直，散射条的延伸方向与目标边的延伸方向相同；通过设计规则检查语法检测与初始版图图形邻接且共用目标边的目标区域内是否具有与目标边对应的散射条；若否，则检测目标区域内是否具有除了与目标边对应的散射条之外的散射条；若否，则检测离目标区域最近的散射条与目标区域的最小距离是否达到预设冲突距离；若最小距离位于预设冲突距离之内，则判定散射条的添加无遗漏；反之，则判定散射条的添加有遗漏。

3、于上述实施例中的光学邻近修正方法中，在目标边沿第一方向远离初始版图图形的一侧添加散射条之后，接着检测与初始版图图形邻接且共用目标边的目标区域内是否具有与目标边对应的散射条，从而能够检测出散射条的添加状况，当不具有与目标边对应的散射条时，就检测是否因目标区域内有其他的散射条，而导致新的散射条会与其他散射条重叠而无法添加；若目标区域内无其他散射条，则检测是否因邻近的散射条与目标区域的距离太近，而导致新的散射条会与其他散射条发生冲突而无法添加；若邻近的散射条与目标区域的距离太近，并位于预设冲突距离之内，则本次的散射条添加被判定为无遗漏，反之，则本次散射条的添加被判定为有遗漏。上述光学邻近修正方法中，本技术意想不到的效果是，通过在散射条添加之后，对目标区域及其附近的散射条存在状态进行三次不同的排查过程，从而能够准确判断与目标边对应的散射条是否有遗漏。在相关技术中，普遍在散射条添加之后就对初始版图图形进行光学邻近修正，在整体修正过程结束后，通过散射条添加与否会影响到光刻工艺窗口的原理对散射条是否遗漏进行间接检测，从而基于光学邻近修正的程式来检查随着工艺变化所导致的光学邻近修正结果的变化范围，通过结果的变化范围能够检查散射条的遗漏与否，但此方法的检测结果准确度较低，不能够完全检测出散射条遗漏的位置，且当检测出散射条遗漏后，还需重新进行光学邻近修正，浪费了大量的时间及修正成本。本技术提供的光学邻近修正方法中，通过在散射条添加后，直接检测其是否遗漏，并通过三次不同的检测过程提高了检测的准确度，节省了多次光学邻近修正所占用的时间，从而提高了光学邻近修正的良率及效率。

4、在其中一些实施例中，当目标区域内具有与目标边对应的散射条时，则判定散射条的添加无遗漏。

5、在其中一些实施例中，当目标区域内具有除了与目标边对应的散射条之外的散射条时，则判定散射条的添加无遗漏。

6、在其中一些实施例中，在判定散射条的添加有遗漏之后，进行如下步骤：在遗漏散射条所对应的目标边沿第一方向远离初始版图图形的一侧添加散射条。

7、在其中一些实施例中，目标区域为目标边从所在位置开始，沿第一方向远离初始版图图形的一侧，移动到与目标边的初始位置具有目标距离的位置结束，所覆盖的区域。

8、在其中一些实施例中，在判定散射条的添加无遗漏之后，进行如下步骤：对初始版图图形进行光学邻近修正，以获得目标图形。

9、在其中一些实施例中，在遗漏散射条所对应的目标边沿第一方向远离初始版图图形的一侧添加散射条之后，进行如下步骤：通过设计规则检查语法再次检测与初始版图图形邻接且共用目标边的目标区域内是否具有与目标边对应的散射条。

10、在其中一些实施例中，预设冲突距离为任意两个散射条之间的最小容忍距离。

11、本技术的另一方面提供一种光学邻近修正系统，包括：图形获取模块、散射条添加模块、第一检测模块、第二检测模块、第三检测模块及结果模块。其中，图形获取模块用于获取初始版图图形，初始版图图形包括至少一个目标边；散射条添加模块与图形获取模块连接，用于在目标边沿第一方向远离初始版图图形的一侧添加散射条；其中，第一方向与目标边的延伸方向垂直，散射条的延伸方向与目标边的延伸方向相同；第一检测模块与散射条添加模块连接，用于通过设计规则检查语法检测与初始版图图形邻接且共用目标边的目标区域内是否具有与目标边对应的散射条；第二检测模块与第一检测模块连接，用于当目标区域内不具有与目标边对应的散射条时，检测目标区域内是否具有除了与目标边对应的散射条之外的散射条；第三检测模块与第二检测模块连接，用于当目标区域内不具有除了与目标边对应的散射条之外的散射条时，检测离目标区域最近的散射条与目标区域的最小距离是否达到预设冲突距离；结果模块与第三检测模块连接，用于当最小距离位于预设冲突距离之内时，判定散射条的添加无遗漏；反之，则判定散射条的添加有遗漏。

12、于上述实施例中的光学邻近修正系统中，在散射条添加模块于目标边沿第一方向远离初始版图图形的一侧添加散射条之后，第一检测模块能够检测出散射条的添加状况；第二检测模块能够检测是否因目标区域内有其他的散射条，而导致新的散射条会与其他散射条重叠而无法添加；第三检测模块能够检测是否因邻近的散射条与目标区域的距离太近，而导致新的散射条会与其他散射条发生冲突而无法添加。上述光学邻近修正方法中，本技术意想不到的效果是，通过在散射条添加之后，第一检测模块、第二检测模块及第三检测模块对目标区域及其附近的散射条存在状态进行三次不同的排查过程，从而能够准确判断与目标边对应的散射条是否有遗漏；因此，本技术避免了相关技术中对散射条是否遗漏进行间接检测的检测结果准确度较低、浪费大量的时间及修正成本等问题；本技术提供的光学邻近修正方法中，通过第一检测模块、第二检测模块及第三检测模块直接检测散射条是否遗漏，提高了检测的准确度，节省了多次光学邻近修正所占用的时间，从而提高了光学邻近修正的良率及效率。

13、在其中一些实施例中，光学邻近修正系统还包括补充模块，其与结果模块连接，用于在判定散射条的添加有遗漏之后，在遗漏散射条所对应的目标边沿第一方向远离初始版图图形的一侧添加散射条。