1.一种宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所有透镜均为单透镜。
3.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所有透镜均采用i线玻璃,折射率nd为:1.48<nd<1.52。
4.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所有透镜表面镀防激光损伤增透膜,单面反射率不大于0.2%。
5.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所述镜头的结构件采用钛合金tc4。
6.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,记所有透镜沿所述方向的各个面的曲率半径依次为r1、r2、r3、r4、r5、r6、r7、r8、r9、r10、r11、r12、r13、r14、r15、r16,每个面到相邻的下一个面的中心距依次为h1、h2、h3、h4、h5、h6、h7、h8、h9、h10、h11、h12、h13、h14、h15、h16;则满足:
7.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所述衍射面的binary2 方程如下:
8.根据权利要求1至5任一所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所述第七透镜替换为凹面面向孔径光阑的弯月正透镜。
9.根据权利要求8所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,记所有透镜沿所述方向的各个面的曲率半径依次为r1、r2、r3、r4、r5、r6、r7、r8、r9、r10、r11、r12、r13、r14、r15、r16,每个面到相邻的下一个面的中心距依次为h1、h2、h3、h4、h5、h6、h7、h8、h9、h10、h11、h12、h13、h14、h15、h16;则满足:
10.根据权利要求8所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所述衍射面的binary2 方程如下: