一种宽温度范围工作的投影物镜的制作方法

文档序号:36812896发布日期:2024-01-26 16:15阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所有透镜均为单透镜。

3.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所有透镜均采用i线玻璃,折射率nd为:1.48<nd<1.52。

4.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所有透镜表面镀防激光损伤增透膜,单面反射率不大于0.2%。

5.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所述镜头的结构件采用钛合金tc4。

6.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,记所有透镜沿所述方向的各个面的曲率半径依次为r1、r2、r3、r4、r5、r6、r7、r8、r9、r10、r11、r12、r13、r14、r15、r16,每个面到相邻的下一个面的中心距依次为h1、h2、h3、h4、h5、h6、h7、h8、h9、h10、h11、h12、h13、h14、h15、h16;则满足:

7.根据权利要求1所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所述衍射面的binary2 方程如下:

8.根据权利要求1至5任一所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所述第七透镜替换为凹面面向孔径光阑的弯月正透镜。

9.根据权利要求8所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,记所有透镜沿所述方向的各个面的曲率半径依次为r1、r2、r3、r4、r5、r6、r7、r8、r9、r10、r11、r12、r13、r14、r15、r16,每个面到相邻的下一个面的中心距依次为h1、h2、h3、h4、h5、h6、h7、h8、h9、h10、h11、h12、h13、h14、h15、h16;则满足:

10.根据权利要求8所述宽温度范围工作的投影物镜,其特征在于,所述衍射面的binary2 方程如下:


技术总结
本申请公开了一种宽温度范围工作的投影物镜,以解决现有投影物镜因温度变化导致成像质量变差的问题。该投影物镜的第一透镜为双凸正透镜,第二透镜为凸面背向孔径光阑的平凸正透镜,并基于第二透镜靠近孔径光阑一侧的平面刻蚀形成衍射面,第三透镜为凸面面向孔径光阑的弯月负透镜,第四透镜为凸面背向孔径光阑的弯月正透镜,第五透镜为双凹负透镜,第六透镜为凹面面向孔径光阑的弯月负透镜,第七透镜为双凸正透镜或凸面朝向孔径光阑的弯月正透镜,第八透镜为凸面背向孔径光阑的平凸正透镜;该投影物镜利用了衍射光学元件有别于透镜(基体)的温度特性,可以补偿温度变化引起的像面位移,在宽温度范围工作均具有较好的成像质量。

技术研发人员:张博,王艳军,张品祥,刘琴
受保护的技术使用者:河南百合特种光学研究院有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/25
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