1.一种感光性树脂组合物,其包含:
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述(d)成分是所述通式(1)中n1为0、且r1为碳数3以上的1价非聚合性的有机基团的化合物。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述(a)成分包含选自下述通式(2)及下述通式(3)中的至少1种所示的成分,
4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述通式(2)中的r2及r3中的至少一者包含下述通式(4)所示的基团,
5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其还包含(e)酰亚胺化促进剂。
6.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其还包含:(f)包含第4族元素的过渡金属的螯合剂。
7.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述x1及x2中的至少一者由下述通式(7)表示,和/或所述y1及y2中的至少一者由下述通式(8)表示,
8.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,相对于所述(a)成分100质量份,(d)含烯丙基化合物的含量为0.5~30质量份。
9.一种固化膜的制造方法,其包括以下工序:
10.一种固化膜,其为权利要求1或2所述的感光性树脂组合物的固化膜,
11.一种固化膜,其是将权利要求1或2所述的感光性树脂组合物涂布于基板上并进行曝光处理、显影处理,接着进行加热处理而得到的固化膜,
12.一种固化膜的制造方法,其是将权利要求1或2所述的感光性树脂组合物涂布于基板上并进行曝光处理、显影处理,接着进行加热处理而得到的固化膜的制造方法,
13.一种半导体装置,其包含权利要求1或2所述的感光性树脂组合物的固化膜。
14.一种感光性树脂组合物,其包含选自聚酰亚胺前体及聚酰亚胺中的至少1种成分,
15.一种感光性树脂组合物,其包含选自聚酰亚胺前体及聚酰亚胺中的至少1种成分,