压印装置的制作方法

本公开涉及一种压印装置和一种用于监测使用压印装置执行的工艺的方法。

背景技术：

1、尽管压印技术是一种相对简单的机械转移方法，但它可以像光刻技术一样形成具有纳米级(例如，10纳米(nm)或更小)的分辨率的图案。在压印技术中，树脂材料、加压/压制方法和固化均匀性等是主要因素，并且它们必须同时实现，以获得期望形状和质量的图案。

2、压印方法包括硬压印方法和软压印方法。硬压印方法是一种通过将具有期望图案和尺寸的硬母版挤压到涂覆有树脂的目标基底来转移图案的方法。因为由于母版和基底之间的厚度差造成的平面度(flatness)误差，难以确保压制均匀性，所以基于板对板的硬压印方法可能不适合于大的区域。在软压印方法中，首先将母版图案转移到诸如膜的柔性基底以制作印章(stamp)，并且通过将印章挤压到涂覆有树脂的目标基底来二次转移图案。基于卷对板的软压印方法甚至在大的区域中获得压制均匀性方面可以是有利的，并且由于连续输送基底是可能的所以在生产率方面可以是有利的。

技术实现思路

1、压印技术包括压制工艺和剥离工艺，并且在压制工艺期间的剩余膜的均匀性管理以及在剥离工艺期间的图案撕裂可能是问题。压印区的扩张可能由于应用/施加/涂布区域变大而在压制工艺或剥离工艺期间增加风险。

2、实施例将提供一种压印装置，可以在使用压印装置执行的剥离工艺期间监测异常状态。

3、根据实施例的压印装置包括：平台，所述平台支撑基底；压辊，所述压辊相对于所述基底挤压膜；第一负荷传感器和第二负荷传感器，所述第一负荷传感器和所述第二负荷传感器设置为分别与所述压辊的相对两端相对应；以及控制器，所述控制器基于所述第一负荷传感器的输出和所述第二负荷传感器的输出监测所述膜的剥离状态。

4、所述控制器可以基于所述第一负荷传感器的所述输出和所述第二负荷传感器的所述输出的和来监测所述剥离状态。

5、所述控制器可以通过使用所述第一负荷传感器的所述输出和所述第二负荷传感器的所述输出的所述和的波动来监测所述剥离状态。

6、所述控制器可以通过将所述第一负荷传感器的所述输出和所述第二负荷传感器的所述输出的所述和与所述膜的正常剥离区的所述第一负荷传感器的输出和所述第二负荷传感器的输出的和进行比较来确定是否出现缺陷。

7、所述第一负荷传感器的所述输出和所述第二负荷传感器的所述输出的所述和被表示为式(1)到式(3)中给出的：

8、∑(fl+fr)式(1)

9、fl ＝ f_l_in + f_l_re - f_l_de     式(2)

10、fr ＝ f_r_in + f_r_re - f_r_de     式(3)

11、其中，fl可以表示所述第一负荷传感器的所述输出，fr可以表示所述第二负荷传感器的所述输出，f_l_in可以表示考虑到所述第一负荷传感器的设置误差的初始值，f_l_re可以表示被施加到所述第一负荷传感器的所述膜的反作用力，f_l_de可以表示作用于所述第一负荷传感器上的所述膜的剥离力，f_r_in可以表示考虑到所述第二负荷传感器的设置误差的初始值，f_r_re可以表示作用于所述第二负荷传感器上的所述膜的反作用力，并且f_r_de可以表示作用于所述第二负荷传感器上的所述膜的剥离力。

12、可以在所述压辊与所述基底间隔开时设定所述第一负荷传感器的所述原点位置和所述第二负荷传感器的所述原点位置。

13、所述压印装置还可以包括：支撑单元，所述支撑单元支撑所述膜，其中，所述支撑单元可以包括：辊，所述辊通过连接到致动器或通过所述辊的自身重量来控制所述膜的张力。

14、所述压印装置还可以包括：轴承，所述轴承可旋转地支撑所述压辊的所述相对两端；以及桥，所述桥设置在所述压辊与所述第一负荷传感器和所述第二负荷传感器之间，并且包括第一侧和第二侧。

15、所述压辊可以通过所述轴承固定到所述桥，并且所述第一负荷传感器和所述第二负荷传感器可以分别与所述第一侧和所述第二侧连接。

16、所述压印装置还可以包括：浮动接头，所述浮动接头通过连接到所述第一负荷传感器和所述第二负荷传感器中的每一者来修正装配误差。

17、所述压印装置还可以包括：驱动设备，所述驱动设备与所述浮动接头连接，并且独立地控制所述压辊的所述相对两端的每一者的垂直移动。

18、所述压印装置还可以包括：框架，所述框架可移动地支撑所述桥。

19、所述驱动设备可以包括固定到所述框架的马达和滚珠丝杠。

20、根据实施例的压印装置包括：压制单元，所述压制单元将膜挤压到涂覆了树脂的基底或母版；以及控制器，所述控制器控制所述压制单元的操作。所述压制单元包括：压辊，所述压辊在与所述膜接触的同时挤压所述膜；桥，所述桥与所述压辊连接；以及第一负荷传感器和第二负荷传感器，所述第一负荷传感器和所述第二负荷传感器与所述桥连接。所述控制器基于所述第一负荷传感器的输出和所述第二负荷传感器的输出的和来监测所述膜的剥离状态。

21、所述控制器可以通过使用所述输出的所述和的波动来监测所述剥离状态。

22、所述控制器可以通过将所述输出的所述和与所述膜的正常剥离区的所述第一负荷传感器的输出和所述第二负荷传感器的输出的和进行比较来确定是否出现缺陷。

23、所述输出的所述和可以被表示为式(1)到式(3)中给出的：

24、∑(fl+fr)式(1)

25、fl ＝ f_l_in + f_l_re - f_l_de     式(2)

26、fr ＝ f_r_in + f_r_re - f_r_de     式(3)

27、其中，fl可以表示所述第一负荷传感器的所述输出，fr可以表示所述第二负荷传感器的所述输出，f_l_in可以表示考虑到所述第一负荷传感器的设置误差的初始值，f_l_re可以表示被施加到所述第一负荷传感器的所述膜的反作用力，f_l_de可以表示作用于所述第一负荷传感器上的所述膜的剥离力，f_r_in可以表示考虑到所述第二负荷传感器的设置误差的初始值，f_r_re可以表示作用于所述第二负荷传感器上的所述膜的反作用力，并且f_r_de可以表示作用于所述第二负荷传感器上的所述膜的剥离力。

28、所述压印装置还可以包括：支撑单元，所述支撑单元支撑所述膜，其中，所述支撑单元可以包括：辊，所述辊通过连接到致动器或通过所述辊的自身重量来控制所述膜的张力。

29、所述压印装置还可以包括：轴承，所述轴承可旋转地支撑所述压辊的相对两端。所述桥可以设置在所述压辊与所述第一负荷传感器和所述第二负荷传感器之间，并且可以包括第一侧和第二侧。所述压辊可以通过所述轴承固定到所述桥，并且所述第一负荷传感器和所述第二负荷传感器可以分别与所述第一侧和所述第二侧连接。

30、所述压印装置还可以包括：浮动接头，所述浮动接头通过连接到所述第一负荷传感器和所述第二负荷传感器中的每一者来修正装配误差。

31、所述压印装置还可以包括：驱动设备，所述驱动设备与所述浮动接头连接，并且独立地控制所述压辊的所述相对两端中的每一者的垂直移动。

32、所述压印装置还可以包括：框架，所述框架可移动地支撑所述桥，并且所述驱动设备可以包括固定到所述框架的马达和滚珠丝杠。

33、根据实施例，可以使用压印装置在图案转移期间来监测剥离工艺期间的异常状态。对于在剥离工艺中可能出现的各种工艺缺陷，可以通过检查和监测负荷传感器的输出的和的变化来实时地检查由于异常状况或图案质量恶化造成的事故，从而通过质量管理有效地提高产量和生产率。另外，根据实施例，在整个说明书中还存在可以被认识到的有利效果。