一种匀胶显影机的滴胶驱动装置的制作方法

本技术涉及硅片滴胶生产领域，特别涉及一种匀胶显影机的滴胶驱动装置。

背景技术：

1、硅片在生产过程中需要进行刻蚀处理，进行刻蚀处理前需要经过匀胶显影机对硅片表面涂覆有光刻胶，通过光刻胶喷嘴向硅片表面滴胶，接着硅片通过高速转动使光刻胶均匀覆盖在表面上，而每次滴胶过程中所滴光刻胶是需要定量的，保证后续刻蚀时能通过对应的定量刻蚀液刚好刻蚀完成，目前在滴胶驱动装置是包括隔膜泵，隔膜泵通过管道与光刻胶喷嘴连通，并往往在滴入所需定量的光刻胶后，光刻胶喷内还会有因为管道压力以及重力原因导致依然会有较少的光刻胶滴下来，导致滴在硅片上的光刻胶变多，影响涂胶的均匀性和后续的刻蚀效果，导致生产质量不达标。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是：一种匀胶显影机的滴胶驱动装置，该装置能对储胶桶内的光刻胶有效抽取，通过压力隔膜的方式使光刻胶准确定量滴胶，避免滴胶完成后还会有多余的胶滴落，提高生产精度和效率。

2、为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种匀胶显影机的滴胶驱动装置，包括储胶桶和胶泵，所述胶泵包括胶泵筒身、上端盖和下端盖，所述胶泵筒身内设有储胶腔室，所述储胶桶上设有与胶泵筒身连接的进胶管和回胶管，所述胶泵筒身上还设有出胶管，所述胶泵筒身与下端盖形成下部压力腔室，所述下部压力腔室内设有覆盖整个下部压力腔室的主压力隔膜，所述下端盖上连接有对主压力隔膜施压的主通气管，所述上端盖和胶泵筒身形成第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室，所述进胶管和储胶腔室之间设有经过第一压力腔室的第一联通道，所述出胶管和储胶腔室之间设有经过第二压力腔室的第二联通道，所述回胶管和储胶腔室之间设有经过第三压力腔室的第三联通道，所述第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室内设有开启或封堵对应第一联通道、第二联通道和第三联通道的第一压力隔膜、第二压力隔膜和第三压力隔膜，所述上端盖上设有连通第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室的第一通气管、第二通气管和第三通气管。

3、作为一种优选的方案，所述第二通气管和第三通气管共同连通有总通气管。

4、作为一种优选的方案，所述下端盖和上端盖上均设有方便连接气管的快插接头。

5、作为一种优选的方案，所述储胶腔室内设有由若干块过滤片上下叠置形成的过滤滤芯，各过滤片之间形成了安装间隙，所述过滤滤芯的中心设置有圆柱孔，所述过滤滤芯上位于圆柱孔的上端设置有上密封套，所述上密封套与储胶腔室的所述第二联通道之间密封连通，所述过滤滤芯上圆周分布有竖直间隔设置的流动通道。

6、作为一种优选的方案，所述下端盖和主压力隔膜之间设有下密封圈，所述主通气管处于主压力隔膜中间位置。

7、作为一种优选的方案，所述上端盖和胶泵筒身之间设有总压力隔膜，所述胶泵筒身顶部设有与总压力隔膜配合的大密封圈，所述胶泵筒身和上端盖之间还设置有分别与第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室配合的小密封圈，各小密封圈将所述总压力隔膜分隔成了所述的第一压力隔膜、第二压力隔膜和第三压力隔膜，所述第三联通道处还设有减小出胶效率的减速密封圈。

8、作为一种优选的方案，所述出胶管连接在储胶桶底部，所述回胶管连接在储胶桶上部。

9、采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于硅片滴胶驱动装置，包括储胶桶和胶泵，所述胶泵包括胶泵筒身、上端盖和下端盖，所述胶泵筒身内设有储胶腔室，所述储胶桶上设有与胶泵筒身连接的进胶管和回胶管，所述胶泵筒身上还设有出胶管，所述胶泵筒身与下端盖形成下部压力腔室，所述下部压力腔室内设有覆盖整个下部压力腔室的主压力隔膜，所述下端盖上连接有对主压力隔膜施压的主通气管，所述上端盖和胶泵筒身形成第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室，所述进胶管和储胶腔室之间设有经过第一压力腔室的第一联通道，所述出胶管和储胶腔室之间设有经过第二压力腔室的第二联通道，所述回胶管和储胶腔室之间设有经过第三压力腔室的第三联通道，所述第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室内设有开启或封堵对应第一联通道、第二联通道和第三联通道的第一压力隔膜、第二压力隔膜和第三压力隔膜，所述上端盖上设有连通第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室的第一通气管、第二通气管和第三通气管；首先主通气管进行抽气，同时第一通气管也进行抽气，第二通气管和第三通气管关闭，使得主压力隔膜因负压向下，使储胶腔室内也成为负压状态，同时第一通气管抽气，第一腔室内负压使第一压力隔膜向上，使第一联通道接通，通过进胶管对储胶桶内光刻胶进行抽取，接着第一通气管道吹气，第一腔室内正压使第一压力隔膜封堵第一联通道，第二通气管和第三通气管抽气，第二压力隔膜和第三压力隔膜因此负压向上，第二联通道和第三联通道分别将出胶管和回胶管与储胶腔室接通，同时主通气管吹气，主压力隔膜因正压对储胶腔室挤压，对储胶腔室内的空气进行挤压，从出胶管和回胶管排气，重复上述操作，储胶腔室内不断抽胶排气，直至储胶腔室内抽取到光刻胶后，再分别进入出胶管和回胶管，使储胶腔室内的光刻胶有效分流，避免出胶管内流量过大，再从出胶管管口滴出适量光刻胶后，此时主通气管立刻抽气，主压力隔膜对储胶腔室内抽负压，出胶管内的光刻胶此时就会从管口被抽回来一点，接着第二通气管和第三通气管吹气正压使第二压力隔膜和第三压力隔膜堵住第二联通管和第三联通管，此时出胶管内就处于负压状态，光刻胶就不会流出；该装置能对储胶桶内的光刻胶有效抽取，通过压力隔膜的方式使光刻胶准确定量滴胶，避免滴胶完成后还会有多余的胶滴落，提高生产精度和效率。

10、又由于所述第二通气管和第三通气管共同连通有总通气管；这样通过就能整体控制出胶管和回胶管的开启和关闭，方便快捷。

11、又由于所述下端盖和上端盖上均设有方便连接气管的快插接头，方便主通气管、第一通气管、第二通气管和第三通气管各自连接对应位置，方便拆卸安装。

12、又由于所述储胶腔室内设有由若干块过滤片上下叠置形成的过滤滤芯，各过滤片之间形成了安装间隙，所述过滤滤芯的中心设置有圆柱孔，所述过滤滤芯上位于圆柱孔的上端设置有上密封套，所述上密封套与储胶腔室的所述第二联通道之间密封连通，所述过滤滤芯上圆周分布有竖直间隔设置的流动通道；这样能确保出胶时光刻胶干净无污染，达到所需滴胶要求，并且光刻胶进入储胶腔室内经过过滤滤芯阻挡能减缓进胶和出胶速度，确保滴胶准确。

13、又由于所述下端盖和主压力隔膜之间设有下密封圈，所述主通气管处于主压力隔膜中间位置；通过下密封圈能有效提高下部压力腔室内的密封程度，使主压力隔膜在进行正负压力时准确工作，且主通气管设置于中间位置方便吹气正压时使主压力隔膜有效挤压储胶腔室内部，提高效率。

14、又由于所述上端盖和胶泵筒身之间设有总压力隔膜，所述胶泵筒身顶部设有与总压力隔膜配合的大密封圈，所述胶泵筒身和上端盖之间还设置有分别与第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室配合的小密封圈，各小密封圈将所述总压力隔膜分隔成了所述的第一压力隔膜、第二压力隔膜和第三压力隔膜，所述第三联通道处还设有减小出胶效率的减速密封圈，第一压力隔膜、第二压力隔膜和第三压力隔膜均在一个压力隔膜上避免了安装三个压力隔膜的繁琐，同时也能通过上端盖与胶泵筒身之间有效压紧，通过大密封圈进行外部密封，再由小密封圈对对应的第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室进行密封，使第一压力隔膜、第二压力隔膜和第三压力隔膜在进行正负压时能保证压力有效传递，由于出胶管不需要过多的光刻胶滴出，因此减速密封圈能减小光刻胶进入出胶管内的流量，还能减缓光刻胶的流动速度。

15、又由于所述出胶管连接在储胶桶底部，所述回胶管连接在储胶桶上部；出胶时方便流出，且能保证一直有抽到光刻胶，回胶管在回胶时也能方便回胶。