紫外光源的状态监测和报告的制作方法

本公开涉及紫外光源的状态监测和报告，特别是涉及向光刻设备提供光的紫外光源的状态监测和报告。

背景技术：

1、用于半导体光刻的光(其可以是激光辐射)通常由称为光源的系统提供。这些光源以指定的重复率(例如，在约500hz至约6khz的范围内)产生一系列脉冲形式的紫外辐射。鉴于在半导体制造工艺的步骤(诸如光刻步骤)中赋予的高价值，性能和正常运行时间对于光刻曝光设施中此类光源的用户来说至关重要。

技术实现思路

1、在一些一般方面，计算设备位于光刻曝光设施处，该光刻曝光设施包括一个或多个光刻曝光设备。计算设备包括显示屏。计算设备被配置为在显示屏上显示：状态区域，包括一个或多个状态指示符，每个状态指示符与紫外(uv)光源相关联，该uv光源被配置为向一个或多个光刻设备的相应光刻曝光设备提供光；图形区域，包括一个或多个图形，每个图形显示与一个或多个状态指示符相关的信息；过滤区域，包括一个或多个菜单项，能够选择一个或多个菜单项以控制在状态区域和/或一个或多个图形中显示的信息。

2、实现可以包括以下特征中的一个或多个特征。例如，计算设备可以被配置为显示状态指示符，该状态指示符包括：第一状态指示符，被配置为指示相关联的uv光源不需要动作；第二状态指示符，被配置为指示相关联的uv光源的性能应该被监测；以及第三状态指示符，被配置为指示相关联的uv光源需要维护。计算设备可以被配置为显示包括第四状态指示符的状态指示符，该第四状态指示符被配置为指示无法评估相关联的uv光源的状态。

3、计算设备可以被配置为在显示屏上的状态区域中，针对一个或多个光源状态指示符中的每一者，显示一组可选的子系统状态指示符，该子系统状态指示符与相应的uv光源的相应的子系统相关联。“可选的”在此表示可由用户在计算设备处激活或“选择”。“可选的”的实现可以包括带有触摸激活图标或其他符号的触摸屏，诸如通过手指按压、触控笔或其他工具等来激活。“可选的”的其他实现可以包括显示器上的图标或其他符号，这些图标或其他符号可通过输入设备(诸如鼠标、触摸板等)来选择和激活。可选项和显示屏甚至可以采用按钮或类似的用户输入设备的形式，例如包括能够显示和/或更改其上显示的图标或符号的按钮阵列。计算设备可以被配置为在显示屏上的过滤区域中显示一个或多个附加菜单项，能够选择一个或多个附加菜单项以控制哪些子系统状态指示符被包括在一组可选的子系统状态指示符中。计算设备还可以被配置为响应于用户对一个或多个菜单项的选择，在显示屏上选择性地显示与一个或多个光源或一个或多个光刻设备相关的附加详细数据。附加详细数据可以包括一个或多个光源或一个或多个光刻设备的曝光数据。附加详细数据可以包括曝光数据，该曝光数据包括一个或多个光源或一个或多个光刻设备的亚晶片级曝光数据。uv光源可以是深紫外(duv)光源。计算设备可以被配置为显示子系统状态指示符，该子系统状态指示符包括：第一子系统状态指示符，被配置为指示相关联的子系统不需要动作；第二子系统状态指示符，被配置为指示相关联的子系统的性能应该被监测；以及第三子系统状态指示符，被配置为指示相关联的子系统需要维护。计算设备可以被配置为显示子系统状态指示符，该子系统状态指示符包括第四子系统状态指示符，其被配置为指示无法评估相关联的子系统的状态。

4、该设施可以包括两个或更多个光刻曝光设备，并且其中状态区域包括两个或更多个状态指示符。

5、在其他一般方面，计算设备位于光刻曝光设施处，该光刻曝光设施包括一个或多个光刻曝光设备。计算设备包括显示屏。计算设备被配置为在显示屏上显示：包括一个或多个光源状态指示符的状态区域，每个光源状态指示符与紫外(uv)光源相关联，uv光源被配置为向一个或多个光刻设备中的相应的光刻曝光设备提供光。

6、实现可以包括以下特征中的一个或多个特征。例如，计算设备可以被配置为在显示屏上显示包括一个或多个图形的图形区域，每个图形显示与一个或多个光源状态指示符相关的信息。计算设备可以被配置为在显示屏上显示过滤区域，该过滤区域包括一个或多个菜单项，能够选择一个或多个菜单项以控制在一个或多个图形的图形中显示的信息。一个或多个光源状态指示符可以是一组选定的光源状态指示符，并且能够选择一个或多个菜单项以控制哪些光源状态指示符被包括在一组选定的光源状态指示符中。

7、计算设备可以被配置为在显示屏上的状态区域中，针对一个或多个光源状态指示符中的每一者，显示一组可选的子系统状态指示符，子系统状态指示符与相应的uv光源的相应子系统相关联。计算设备可以被配置为在显示屏上的过滤区域中显示一个或多个菜单项，能够选择该一个或多个菜单项以控制哪些子系统状态指示符被包括在一组可选的子系统状态指示符中。

8、在其他一般方面，一种计算机实施的过程包括：在用户界面的第一视图内显示第一状态指示符，该第一状态指示符被配置为指示紫外(uv)光源不需要动作，该状态指示符指示被配置为向光刻曝光设备提供uv光的uv光源的操作；响应于使用与uv光源的一个或多个子系统相关的数据的第一预测，该第一预测与uv光源的性能有关，在用户界面的第一视图内将显示从第一状态指示符改变为第二状态指示符，第二状态指示符被配置为指示uv光源的性能应该被监测；并且响应于使用与uv光源的一个或多个子系统相关的数据的第二预测，该第二预测与uv光源的性能有关，在用户界面的第一视图内将显示从第一状态指示符或第二状态指示符改变为第三状态指示符，该第三状态指示符被配置为指示uv光源需要维护。

9、实现可以包括以下特征中的一个或多个特征。例如，该过程还可以包括：响应于与uv光源的一个或多个子系统有关的状态变化，在用户界面的第一视图内将显示从第一状态指示符、第二状态指示符或第三状态指示符改变为第四状态指示符，第四状态指示符被配置为指示无法评估uv光源的状态。该过程可以包括：在用户界面的第一视图内显示两个或更多个第一状态指示符，两个或更多个第一状态指示符中的每一者被配置为指示两个或更多个uv光源中的相关联的uv光源不需要动作，每个第一状态指示符指示相关联的uv光源的操作，每个相关联的uv光源被配置为向相关联的uv光刻设备提供uv光；响应于使用与两个或更多个uv光源中的相应的uv光源的一个或多个子系统有关的数据的第一预测，该第一预测与相应的uv光源的性能有关，在用户界面的第一视图内将显示从与相应的uv光源相关联的第一状态指示符改变为的第二状态指示符，该第二状态指示符与相应的uv光源相关联并且被配置为指示应当监测相应的uv光源的性能；并且响应于使用与两个或更多个uv光源中的相应的uv光源的一个或多个子系统有关的数据的第二预测，该第二预测与相应的uv光源的性能有关，在用户界面的第一视图内将显示从与相应的uv光源相关联的第一状态指示符或与相应的uv光源相关联的第二状态指示符改变为第三状态指示符，该第三状态指示符与相应uv光源相关联并且被配置为指示相应的uv光源需要维护。该过程可以包括：响应于与两个或更多个uv光源中的相应的uv光源的一个或多个子系统有关的状态变化，在用户界面的第一视图内将显示从相应的uv光源的第一状态指示符、相应的uv光源的第二状态指示符或相应的uv光源的第三状态指示符改变为第四状态指示符，第四状态指示符与相应的uv光源相关联并且被配置为指示无法评估相应的uv光源的状态。

10、uv光源可以是深紫外(duv)光源。duv波长范围通常包括例如约100纳米(nm)至约400nm的波长。uv光源可选地可以是极紫外(euv)光源，包括4-20nm范围内的波长，例如13-14nm范围内的波长，诸如13.5nm或约13.5nm的波长。euv辐射可以备选地具有小于10nm的波长，例如4-10nm范围内的波长，诸如6.7nm或6.8nm的波长。

11、在其他一般方面，计算机程序产品包括至少一个非暂态计算机可读存储介质，该存储介质中存储有计算机可执行程序代码指令，该计算机可执行程序代码指令包括以下的程序代码指令，其被配置为当由计算系统的处理器执行时使得计算系统执行以下操作：在用户界面的第一视图内显示一组状态指示符中的第一状态指示符，该第一状态指示符被配置为指示紫外(uv)光源不需要动作，该一组状态指示符中的状态指示符指示uv光源的操作，uv光源被配置为向光刻曝光设备提供uv光；响应于接收到使用与uv光源的一个或多个子系统有关的数据的第一预测，该第一预测与uv光源的性能有关，将用户界面的第一视图内的显示从第一状态指示符改变为一组状态指示符中的第二状态指示符，该第二状态指示符被配置为指示uv光源的性能应该被监测；并且响应于接收到使用与紫外光源的一个或多个子系统有关的数据的第二预测，该第二预测与uv光的性能有关，在用户界面的第一视图内将显示从第一状态指示符或第二状态指示符改变为第三状态指示符，该第三状态指示符被配置为指示uv光源需要维护。

12、实现可以包括以下特征中的一个或多个特征。程序代码指令可以被配置为，当由计算系统的处理器执行时，使得计算系统执行以下操作：响应于接收到表示与uv光源的一个或多个子系统有关的状态变化的信息，将用户界面的第一视图内的显示从第一状态指示符、第二状态指示符或第三状态指示符改变为一组状态指示符中的第四状态指示符，第四状态指示符被配置为指示无法评估uv光源的状态。uv光源可以是深紫外(duv)光源。

13、在附加方面，一种系统包括光刻曝光设施处的计算设备，该光刻曝光设施包括一个或多个光刻曝光设备，该计算设备包括显示屏，该计算设备被配置为在显示屏上显示：状态区域，包括一个或多个状态指示符，每个状态指示符与紫外(uv)光源相关联，该uv光源被配置为向一个或多个光刻设备中的相应光刻曝光设备提供光；图形区域，包括一个或多个图形，每个图形显示与一个或多个状态指示符相关的信息；以及过滤区域，包括一个或多个菜单项，能够选择一个或多个菜单项以控制在状态区域和/或一个或多个图形中显示的信息；并且被配置用于与光刻曝光设施处的计算设备连接地通信。该系统还包括在维护提供商设施处的计算设备，在维护提供商设施处的计算设备被配置为在显示屏上显示：相当于状态区域的状态区域，包括与紫外(uv)光源相关联的一个或多个状态指示符，该uv光源被配置为向一个或多个光刻设备的相应的光刻曝光设备提供光；相当于图形区域的图形区域，包括显示与一个或多个状态指示符有关的信息的一个或多个图形；以及相当于过滤区域的过滤区域，包括一个或多个菜单项，能够选择该一个或多个菜单项以控制在状态区域和/或一个或多个图形中显示的信息。

14、光刻曝光设施处的计算设备还可以被配置为响应于用户对一个或多个菜单项的选择，在显示屏上选择性地显示与一个或多个光源或一个或多个光刻设备相关的附加详细数据，该附加详细数据包括一个或多个光源或一个或多个光刻设备的亚晶片级曝光数据。维护提供商设施处的计算设备可以被配置为不接收或显示一个或多个光源或一个或多个光刻设备的亚晶片级曝光数据。uv光源可以是深紫外(duv)光源。

15、一个或多个实现的细节在附图和以下描述中阐述。其他特征将从描述和附图以及权利要求中显而易见。