反射镜驱动装置、光源装置、光扫描装置、校正方法与流程

本发明涉及驱动mems反射镜的反射镜驱动装置、使光源发光的光源装置、具备该反射镜驱动装置和该光源装置的光扫描装置、反射镜驱动时机(timing)的校正方法、光源驱动时机的校正方法。

背景技术：

1、以往，在扫描光而投影影像的光偏转器中，已知具有利用mems(micro electromechanicalsystem/微机电系统)技术制造的反射镜部的光偏转器。在投影时，光源以对应于反射镜部的位移而点亮或熄灭的方式进行控制。

2、另外，还公知有通过各种传感器检测针对反射镜部的驱动信号的响应延迟、以及针对光源的控制信号的响应延迟来校正延迟的技术。

3、例如，专利文献1的图像投影装置在壳体的内部除了具备ld模块、光扫描部以及光学系统之外，还具备补偿电路、光传感器以及温度传感器。光学系统由3个反射镜、凹面镜构成。

4、补偿电路的检测部根据由光传感器检测出的第一像素(在激光的水平扫描的去路中由光传感器检测出的像素)相对于期望值的偏差、和由光传感器检测出的第二像素(在相同回路的去路中由光传感器检测出的像素)相对于期望值的偏差，分别检测出激光的水平扫描方向的相位偏差和mems反射镜的偏转角变动(专利文献1/0016段落、0026段落、0027段落、0036段落，图2、图4)。

5、现有技术文献

6、专利文献

7、专利文献1：日本专利第6978659号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、为了校正反射镜部的驱动和激光的点亮时机，需要首先利用光传感器检测出激光，并基于该信息来调整激光的点亮时机。其中，从用于检测反射镜部的驱动状态的传感器获取的关于反射镜的驱动状态的信息包括传感器自身的响应延迟。

3、从用于检测激光的点亮时机的传感器获取的点亮时机的信息中也同样包含传感器自身的响应延迟。

4、另外，光传感器、传感器电路具有独立的响应特性，该响应的延迟有时也根据装置的动作频率、环境温度而发生变动。因此，该变动有时对点亮时机的校正造成影响。

5、本发明鉴于这种情况而完成，其目的在于提供一种无论驱动条件、环境温度如何，都能够高精度地校正反射镜与光源的响应时间、驱动控制的延迟的反射镜驱动装置。

6、用于解决课题的手段

7、为了实现上述目的，本发明的反射镜驱动装置的特征在于，具备：光扫描器，其具有扫描光的反射镜；光扫描器驱动部，其向所述光扫描器输出驱动信号来驱动该光扫描器；光扫描器传感器部，其输出与所述光扫描器的偏转角对应的光扫描器传感器信号；光扫描器传感器校正部，其具有与所述光扫描器传感器部相同的响应延迟时间；以及延迟处理部，其向所述光扫描器传感器校正部输入延迟检测信号，运算输出的延迟。

8、本发明的反射镜驱动装置驱动光扫描器来扫描光。其中，反射镜驱动装置具备光扫描器传感器部、光扫描器传感器校正部以及延迟处理部。光扫描器传感器部输出与光扫描器(反射镜)的偏转角对应的光扫描器传感器信号，因此能够检测出动作中的反射镜的偏转角。

9、延迟处理部向光扫描器传感器校正部输入延迟检测信号，运算输出的延迟。光扫描器传感器校正部具有与光扫描器传感器部相同的响应延迟时间。这里所说的“相同的响应延迟时间”不限于完全相同的时间，还包括实质上相同的时间。

10、通过利用由延迟处理部运算出的延迟时间，能够不受驱动条件、环境温度影响地高精度地校正光扫描器的响应时间的延迟。

11、此外，本发明的光源装置的特征在于，具备：光源；光源驱动部，其向所述光源输出驱动信号使该光源发光；光传感器部，其检测来自所述光源的光而输出光传感器信号；光传感器校正部，其具有与所述光传感器部相同的响应延迟时间；以及，延迟处理部，其向所述光传感器校正部输入延迟检测信号，运算输出的延迟。

12、在本发明的光源装置中，光源驱动部向光源输出驱动信号使其发光。光源装置具备光传感器部、光传感器校正部以及延迟处理部。光传感器部检测来自光源的光并输出光传感器信号，因此，能够检测发光的时机。

13、延迟处理部向光传感器校正部输入延迟检测信号，运算输出的延迟。光传感器校正部具有与光传感器部相同的响应延迟时间，因此，通过利用由延迟处理部运算出的延迟时间，能够不受驱动条件、环境温度影响地高精度地校正光源的响应时间的延迟。

14、另外，本发明的光扫描装置的特征在于，具备：

15、光扫描器，其具有扫描光的反射镜；光扫描器驱动部，其向所述光扫描器输出驱动信号而使该光扫描器驱动；光扫描器传感器部，其输出与所述光扫描器的偏转角对应的光扫描器传感器信号；光扫描器传感器校正部，其具有与所述光扫描器传感器部相同的响应延迟时间；

16、光源；光源驱动部，其向所述光源输出光源驱动信号而使该光源发光；光传感器部，其检测来自所述光源的光而输出光传感器信号；光传感器校正部，其具有与所述光传感器部相同的响应延迟时间；以及，延迟处理部，其向所述光扫描器传感器校正部和所述光传感器校正部中的至少任一校正部输入延迟检测信号，并分别运算所述光扫描器传感器校正部和所述光传感器校正部的输出的延迟。

17、本发明的光扫描装置利用光扫描器驱动部驱动光扫描器，扫描来自光源的光。光扫描器传感器部输出与光扫描器(反射镜)的偏转角对应的光扫描器传感器信号，因此，能够检测出动作中的反射镜的偏转角。另外，光传感器部检测来自光源的光并输出光传感器信号，因此，能够检测发光的时机。

18、延迟处理部向光扫描器传感器校正部和光传感器校正部中的至少任一方校正部输入延迟检测信号，并分别运算光扫描器传感器校正部和光传感器校正部的输出的延迟。其中，光扫描器传感器校正部、光传感器校正部分别具有与光扫描器传感器部、光传感器部相同的响应延迟时间，因此利用运算出的延迟时间进行校正。即，能够不受驱动条件、环境温度影响地高精度地校正光扫描器和光源的响应时间、驱动控制的延迟。

19、另外，本发明的反射镜驱动时机的校正方法是下述装置的反射镜驱动时机的校正方法，所述装置具备：光扫描器，其具有扫描光的反射镜；光扫描器驱动部，其向所述光扫描器输出光扫描器驱动信号来驱动该光扫描器；以及，光扫描器传感器部，其输出与所述光扫描器的偏转角对应的光扫描器传感器信号，

20、所述反射镜驱动时机的校正方法的特征在于，具有以下步骤：

21、获取从所述光扫描器驱动信号的输出到所述光扫描器传感器信号的输出为止的时间的步骤；以及

22、获取再现了所述光扫描器传感器部的响应延迟的光扫描器传感器再现响应延迟时间的步骤；

23、通过对从所述光扫描器驱动信号的输出到所述光扫描器传感器信号的输出为止的时间减去所述光扫描器传感器再现响应延迟时间，来计算出所述光扫描器达到与所述光扫描器驱动信号对应的偏转角为止的响应时间的步骤。

24、在本发明的反射镜驱动时机的校正方法中，首先，获取从输出光扫描器驱动信号到输出光扫描器传感器信号为止的时间(时间t1)。接着，获取再现了光扫描器传感器部的响应延迟的光扫描器传感器再现响应延迟时间(时间t2)。

25、最后，对从输出光扫描器驱动信号到输出所述光扫描器传感器信号为止的时间(时间t1)减去光扫描器传感器再现响应延迟时间(时间t2)。由此，能够计算出光扫描器(反射镜)达到与光扫描器驱动信号对应的偏转角为止的响应时间(时间t1-t2)，因此能够不受驱动条件、环境温度影响地高精度地校正光扫描器的响应时间的延迟。

26、另外，本发明的光源驱动时机的校正方法是下述装置的光源驱动时机的校正方法，所述装置具备光源、向所述光源输出光源驱动信号而使该光源发光的光源驱动部以及检测来自所述光源的光并输出光传感器信号的光传感器部，

27、所述光源驱动时机的校正方法的特征在于，具有以下步骤：

28、取得从所述光源驱动信号的输出到所述光扫描器传感器信号的输出为止的时间的步骤；

29、取得再现了所述光传感器部的响应延迟的光传感器再现响应延迟时间的步骤；以及

30、对从所述光源驱动信号的输出到所述光传感器信号的输出为止的延迟时间减去所述光传感器再现响应延迟时间，由此来计算出直到所述光源根据所述光源驱动信号发光为止的响应时间的步骤。

31、在本发明的光源驱动时机的校正方法中，首先，取得从输出光扫描器驱动信号到输出光扫描器传感器信号为止的时间(时间t3)。接着，取得再现了光传感器部的响应延迟的光传感器再现响应延迟时间(时间t4)。

32、最后，对从输出光扫描器驱动信号到输出光扫描器传感器信号为止的时间(时间t3)减去光传感器再现响应延迟时间(时间t4)。由此，能够计算出直到光源根据所述光源驱动信号发光为止的响应时间(时间t3-t4)，因此，能够不受驱动条件、环境温度影响地高精度地校正光源的响应时间的延迟。