干涉系统的制作方法

本技术涉及光学仪器，具体涉及干涉系统。

背景技术：

1、在linnik干涉系统中，主物镜与参考物镜之间光路的对准与光程差控制至关重要。linnik干涉系统在光路进行调节时，通常需要对镜头进行精密的位置调节，一般包括x、y、z、tx，ty等维度的调节，且调节后需要对调好的位置进行固定。除此以外，由于设备空间的局限性，镜头调节装置还应具备紧凑性特点。因此，设计一种结构紧凑的镜头多维调节装置对linnik干涉系统的调试非常重要。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提供一种结构紧凑，且能够在多个平移和转动维度上调节镜头的干涉系统。

2、一种实施例中提供一种干涉系统，包括：

3、基准座；

4、测量物镜，所述测量物镜连接于所述基准座；

5、分光棱镜，所述分光棱镜活动设置于基准座内；

6、第一调节组件，所述第一调节组件用于带动所述分光棱镜直线运动，以调节所述分光棱镜的位置，和带动所述分光棱镜转动，以调节所述分光棱镜的朝向；

7、参考物镜；

8、第二调节组件，所述第二调节组件活动设置于所述基准座，所述第二调节组件包括物镜转动调节件，所述参考物镜连接于所述物镜转动调节件，所述物镜转动调节件具有至少两个调节层，相邻的所述调节层之间形成调节间隙，所述调节间隙具有相对设置的开口侧和形变侧，所述开口侧具有将相邻的所述调节层分离的开口，所述形变侧设有将相邻的所述调节层连接的形变部；所述形变部能够在外力作用下发生形变，以使相邻的所述调节层在所述开口侧相互靠近和远离，并带动所述参考物镜转动；

9、反射镜安装座；

10、参考反射镜，所述参考反射镜活动设置于所述反射镜安装座上，且与所述参考物镜相对设置；

11、以及第三调节组件，所述第三调节组件用于带动所述参考反射镜直线运动，以调节所述参考反射镜的位置，和带动所述参考反射镜转动，以调节所述参考反射镜的朝向。

12、一种实施例中，第一轴线、第二轴线和第三轴线为空间内相互垂直的三条轴线，所述分光棱镜与所述测量物镜沿所述第一轴线排布，所述分光棱镜与所述参考物镜沿所述第二轴线排布；

13、所述调节层包括沿所述第二轴线依次层叠设置的第一调节层、第二调节层和第三调节层，所述第一调节层和所述第二调节层之间的调节间隙为第一调节间隙，所述第二调节层和所述第三调节层之间的调节间隙为第二调节间隙；

14、所述第一调节间隙的开口侧和形变侧沿所述第三轴线排布，所述第一调节层和所述第二调节层在所述第一调节间隙的开口侧相互靠近和远离时，带动所述参考物镜围绕所述第一轴线转动；所述第二调节间隙的开口侧和形变侧沿所述第一轴线排布，所述第二调节层和所述第三调节层在所述第二调节间隙的开口侧相互靠近和远离时，带动所述参考物镜围绕所述第三轴线转动。

15、一种实施例中，所述物镜转动调节件还包括转动精调螺钉组，所述转动精调螺钉组包括第一精调螺钉和第二精调螺钉，所述第一精调螺钉与所述第二精调螺钉活动套接；相邻的两个所述调节层在所述开口侧均具有螺钉孔，所述精调螺钉组穿过两个所述螺钉孔，且所述第一精调螺钉和第二所述精调螺钉与两个所述螺钉孔一一对应地螺纹连接，用以带动相邻的所述调节层在所述开口侧相互靠近和远离。

16、一种实施例中，所述第一精调螺钉具有第一抵接部，与所述第一抵接部相对的调节层具有第一抵接槽，所述第一抵接部与所述第一抵接槽抵接，且所述第一抵接部与所述第一抵接槽的接触面包括至少部分的球面；所述第二精调螺钉具有第二抵接部，所述第一精调螺钉内具有第二抵接槽，所述第二抵接部与所述第二抵接槽抵接，且所述第二抵接部与所述第二抵接槽的接触面包括至少部分的球面。

17、一种实施例中，所述第二调节组件还包括物镜安装筒和物镜压圈，所述物镜转动调节件和参考物镜设置于所述物镜安装筒内，所述物镜压圈用于定位所述参考物镜。

18、一种实施例中，所述第二调节组件还包括物镜平移调节件，所述物镜平移调节件与所述物镜转动调节件沿所述第二轴线层叠设置，所述平移调节件用于带动所述参考物镜沿所述第一轴线和/或所述第三轴线平移。

19、一种实施例中，所述物镜平移调节件具有相对设置的第一侧和第二侧，所述第一侧设有固定销轴，所述第二侧设有两个相对设置的物镜平移精调螺钉；所述物镜平移精调螺钉用于带动所述物镜平移调节件围绕所述固定销轴旋转，以带动所述物镜平移板的中部沿第一轴线和/或第三轴线平移，并定位所述物镜平移精调螺钉。

20、一种实施例中，所述物镜平移调节件包括第一物镜平移调节件和第二物镜平移调节件，所述第一物镜平移调节件和所述第二物镜平移调节件沿所述第二轴线依次层叠设置；所述第一物镜平移调节件用于带动所述参考物镜沿所述第三轴线平移运动，所述第二物镜平移调节件用于带动所述参考物镜沿所述第一轴线平移运动。

21、一种实施例中，所述第三调节层与所述第一物镜平移调节件配置为同一结构件。

22、一种实施例中，第一轴线、第二轴线和第三轴线为空间内相互垂直的三条轴线，所述分光棱镜与所述测量物镜沿所述第一轴线排布，所述分光棱镜与所述参考物镜沿所述第二轴线排布；

23、所述第一调节组件能够带动所述分光棱镜沿第一轴线直线运动，和带动所述分光棱镜围绕所述第一轴线、第二轴线和第三轴线转动；所述第三调节组件能够带动所述参考反射镜沿第二轴线直线运动，和带动所述参考反射镜围绕所述第一轴线和第三轴线转动。

24、依据上述实施例的干涉系统，该干涉系统包括基准座、测量物镜、分光棱镜、第一调节组件、参考物镜、第二调节组件、反射镜安装座、参考反射镜和第三调节组件。测量物镜连接于基准座。分光棱镜活动设置于基准座内。第一调节组件用于带动分光棱镜直线运动，以调节分光棱镜的位置，和带动分光棱镜转动，以调节分光棱镜的朝向。第二调节组件活动设置于基准座，第二调节组件包括物镜转动调节件，参考物镜连接于物镜转动调节件，物镜转动调节件具有至少两个调节层，相邻的调节层之间形成调节间隙，调节间隙具有相对设置的开口侧和形变侧，开口侧具有将相邻的调节层分离的开口，形变侧设有将相邻的调节层连接的形变部。形变部能够在外力作用下发生形变，以使相邻的调节层在开口侧相互靠近和远离，并带动参考物镜转动。参考反射镜活动设置于反射镜安装座上，且与参考物镜相对设置。第三调节组件用于带动参考反射镜直线运动，以调节参考反射镜的位置，和带动参考反射镜转动，以调节参考反射镜的朝向。在调节参考镜调节机构时，工作人员可以通过第一调节组件调节分光棱镜的位置和朝向，通过第二调节组件调节参考物镜的朝向，通过第三调节组件调节参考反射镜的位置和朝向。工作人员在使用第二调节组件调节参考物镜的朝向时，可以在开口侧向调节层施加作用力，以使形变部在外力作用下发生形变，从而使相邻的调节层在开口侧相互靠近和远离，进而带动参考物镜转动。一方面，通过第一调节组件、第二调节组件和第三调节组件的配合实现了对分光棱镜、参考物镜和参考反射镜的多维度调节，另一方面，通过形变部的受力形变使相邻的调节层在开口侧相互靠近和远离，从而实现对参考物镜的转动自由度的调节。与传统的利用多个支撑点的位置变化来带动调节板旋转的方案相比，结构更加简洁和紧凑。