光模块的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光模块。
【背景技术】
[0002]在使用了光纤的高速光通信的领域中，作为将电信号与光信号相互转换的部件而使用光收发器。通过由处理光收发器的行业团体规定的MSA(Multi Source Agreement)，而将可插拔式光收发器的规格(形状、尺寸、插脚分配(pin assign)等)标准化。根据上述的可插拔式光收发器，在通信设备侧(主机侧)的主基板上设置有罩，内置有光电转换元件、电路基板的光模块以能够装卸的方式插入罩。若将光模块插入罩，则能够将光模块内的电路基板与罩内的电气接口连接器电/机械连接。由此，能够利用光模块内的光电转换元件、电路基板，而将由光纤收发的光信号、与由通信设备侧的主基板处理的电信号相互转换。
[0003]在专利文献I记载有将定位销插入形成有定位孔的基板来对光轴进行对位的光模块。
[0004]专利文献1:日本特开2005-17684号公报
[0005]在专利文献I中，对于基板使用聚酰亚胺树脂。但是，可以考虑通过使安装光电转换元件的基板为玻璃基板，来使光能够透过，并且抑制热引起的变质。
[0006]在玻璃基板加工了定位孔的情况下，在定位孔形成有微小的凹凸(例如称为“碎肩(chipping) ”的微小的碎片等)、裂缝等损伤层。因此，若定位销与玻璃基板的定位孔的损伤层接触，则存在损伤层受到来自销的应力，由此以微小的凹凸、裂缝为起点而使玻璃基板破损的担忧。或者，若在定位孔具有微小的凹凸，则也存在使定位销变形，从而定位精度降低的担忧。
【发明内容】
[0007]本发明的目的在于抑制形成有定位孔的玻璃基板的破损、定位销的变形。
[0008]用于实现上述目的的主要的发明涉及一种光模块，其特征在于，具备:玻璃基板，其供光电转换元件搭载，能够使从上述光电转换元件发出的光或者被上述光电转换元件接受的光透过，并形成有定位孔；以及光学部件，其形成有定位销，以保护膜与上述定位孔以及上述定位销接触的方式，将上述定位销经由上述保护膜而与上述定位孔嵌合，由此对上述玻璃基板与上述光学部件进行定位。
[0009]本发明的其他特征通过后述的说明书以及附图的记载而清楚明了。
[0010]根据本发明，能够抑制形成有定位孔的玻璃基板的破损、定位销的变形。
【附图说明】
[0011]图1是可插拔式光收发器的说明图。
[0012]图2A是从斜上方观察光模块I的壳体IA内的电路基板10等的立体图。图2B是从斜下方观察电路基板10等的立体图。
[0013]图3是插入罩2的光模块I的简要结构图。
[0014]图4A是第I实施方式的定位孔23的说明图。图4B是参考例的定位孔23'的说明图。
[0015]图5A是第I实施方式的定位销43的说明图。图5B是第I参考例的定位销43'的说明图。图5C是第2参考例的定位销43"的说明图。
[0016]图6A是第I实施方式的定位销43的根部附近的放大图。图6B是参考例的定位销43的根部附近的放大图。
[0017]图7A是形成于图7B的非贯通孔的保护膜的放大照片。图7B是通过喷砂加工而形成于玻璃基板20的非贯通孔的放大照片。
[0018]图8A是将图7A 二值化处理后的图。图8B是将图7B 二值化处理后的图。
[0019]图9是定位销43的塑性变形引起的位置偏移的说明图。
[0020]图10是第I实施方式的定位孔23以及定位销43的周边、与玻璃基板侧电极22的周边的放大剖视图。
[0021]图11是第2实施方式的说明图。
[0022]图12是第3实施方式的说明图。
[0023]图13A是第4实施方式的说明图。图13B是第4实施方式的变形例的说明图。
[0024]图14是第5实施方式的说明图，且是从下方观察定位孔23的周边的图。
[0025]图15是第6实施方式的说明图。
[0026]图16是在直径恒定的定位孔23"(贯通孔)嵌合有圆柱形状的定位销43"的说明图。
【具体实施方式】
[0027]根据后述的说明书以及附图的记载，至少明确了以下事项。
[0028]明确了一种光模块，其特征在于，具备:玻璃基板，其供光电转换元件搭载，能够使从上述光电转换元件发出的光或者被上述光电转换元件接受的光透过，并形成有定位孔；以及光学部件，其形成有定位销，以保护膜与上述定位孔以及上述定位销接触的方式，将上述定位销经由上述保护膜而与上述定位孔嵌合，由此对上述玻璃基板与上述光学部件进行定位。根据这种光模块，能够抑制形成有定位孔的玻璃基板的破损、定位销的变形。
[0029]优选在上述玻璃基板的上述定位孔的边缘预先形成有上述保护膜的状态下，将上述定位销经由上述保护膜而与上述定位孔嵌合。由此，能够实现以保护膜与上述定位孔以及上述定位销接触的方式将上述定位销经由上述保护膜而与上述定位孔嵌合。
[0030]优选上述玻璃基板的在上述定位孔的边缘处的凹凸被上述保护膜覆盖，上述定位孔的开口由上述保护膜构成。由此，能够进一步抑制形成有定位孔的玻璃基板的破损、定位销的变形。
[0031]优选上述保护膜为树脂膜。由此，受到应力的区域变大，从而能够抑制玻璃基板的破损、定位销的变形。
[0032]优选上述保护膜为与上述玻璃基板的钝化膜一起形成的树脂膜。由此，保护膜的形成工序变得容易。
[0033]优选在上述玻璃基板形成有通孔，上述保护膜经由将薄膜真空层压于上述玻璃基板的工序而形成。由此，能够沿定位孔的形状形成基于薄膜的层。
[0034]优选上述保护膜为金属膜。由此，能够确保定位孔的边缘处的保护膜的厚度。
[0035]优选上述保护膜为与上述玻璃基板的配线一起形成的金属膜。由此，保护膜的形成工序变得容易。
[0036]优选上述定位孔为非贯通孔，在上述定位孔的底部未形成有上述保护膜。由此，定位销的顶部变得难以接触，从而定位精度提高。
[0037]优选通过在形成有上述定位孔的上述玻璃基板的面形成感光性的树脂层，并对上述树脂层进行曝光处理以及显影处理，来形成上述保护膜。由此，容易除去定位孔的底部的保护膜。
[0038]优选在上述定位孔的内表面形成有上述保护膜。由此，能够进一步抑制玻璃基板的损伤。
[0039]优选在上述光学部件的上述定位销的根部的周围，形成有凹部，在上述玻璃基板的表面形成的上述保护膜配置于上述玻璃基板与上述光学部件的上述凹部之间。由此，玻璃基板与光学部件的间隙可以不受保护膜的厚度的影响。
[0040]优选上述定位孔为内侧收窄的非贯通孔，上述定位销为圆锥台形状。由此，能够高精度地定位玻璃基板与光学部件。
[0041]优选上述定位销具有锥面，对上述定位孔的边缘实施倒角加工，上述保护膜与上述定位销的上述锥面以及上述定位孔的实施了上述倒角加工的面接触。由此，上述保护膜与上述定位孔的边缘的接触面积变大，从而能够抑制玻璃基板的损伤。
[0042]优选上述玻璃基板的线性膨胀率与上述光学部件的线性膨胀率不同。在这种情况下是特别有效的。
[0043]第I实施方式
[0044]〈整体结构〉
[0045]图1是可插拔式光收发器的说明图。此外，虽有时将具备光发送器与光接收器双方的装置称为光收发器，但此处将仅具备一方的装置也称为光收发器。图中的可插拔式光收发器是由MSA(Multi Source Agreement)规定的QSFP型(QSFP:Quad Small Form FactorPluggable)的装置。可插拔式光收发器具有光模块I与罩2。
[0046]在图中描绘了两种光模块I。如图所示，光纤(包括软线)可以固定于光模块1，也可以相对于光模块I能够装卸。取下散热片3并且以能够观察的方式剖切一部分，来描绘图中的两个罩2中的一方。
[0047]在以下的说明中，如图1所示地对前后、上下以及左右进行定义。即，将供光模块I插入的罩2的插入口侧设为“前”，将相反侧设为“后”。在光模块I中，将光纤(包括软线)延伸的侧设为“前”，将相反侧设为“后”。另外，从供罩2设置的主基板观察，将供罩2设置的面的一侧设为“上”，将相反侧设为“下”。另外，将与前后方向和上下方向正交的方向设为“左右”。
[0048]在通信设备侧(主机侧)的主基板上设置有罩2。罩2例如设置于数据中心内的刀片服务器的主基板上。
[0049]光模块I以能够装卸的方式插入罩2。光模块I在壳体IA内内置有光电转换元件31与电路基板10，将由光纤收发的光信号、与由通信设备侧的主基板处理的电信号相互转换。
[0050]罩2以能够装卸的方式收容光模块I。罩2是在前侧具备用于供光模块I插入的插入口并且