曝光治具及其工作过程的制作方法

文档序号:9216359阅读:473来源:国知局
曝光治具及其工作过程的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及曝光治具及其工作过程。
【背景技术】
[0002]现有的曝光设备属于半自动设备,需要人工去将版模和带有图形的菲林对位精准,靠人工将菲林对位于需要曝光的版模的正中间,使用的方法是用尺去量测并对位,这样即增加人员的疲劳度同时又没有效率,出错率高,同时在人工反复量测移动让菲林居中于版模时会造成产品的不良。对位精准后还需要将设备的吸气盖板盖下,然后用抽真空的方式让吸气皮去挤压版模,从而将版模和菲林间的气排除,使菲林与版模密合,最后进行曝光架桥。使用抽真空的方式,这样没有针对性,使用吸气皮整面的进行挤压排气,这样面积越大,排气不完全,贴合不完全的现象会被增大,同时因为排气面积变大这样抽真空的时间也会被拉长,这样就会增加工时降低效率。最后在抽真空的过程中吸气皮会反复的被拉扯变形,这样吸气皮会掉碎削导致污染环境增加不良。

【发明内容】

[0003]本发明的目的在于提供一种曝光治具及其工作过程,其方便菲林与版模的对位,且对版模与菲林采用从中部向边沿逐步排气的方式,最终去除版模与菲林间的空气。
[0004]为实现上述目的,本发明提供一种曝光治具,包括:
平置底板,
开设于底板中心、形状与平置矩形菲林贴合、用于放置平置菲林的矩形放置框,
固定于矩形放置框内、与矩形放置框贴合、用于承载平置菲林的平置透光板,
用于将平置矩形版模与矩形放置框对位的对位装置,
以及用于将版模与菲林压合的压合装置;
所述平置透光板的顶面低于底板顶面,且透光板顶面与底板顶面的间距小于平置菲林的厚度;
所述对位装置包括:与矩形放置框四个边线一一对应的四个推动机构,以及驱动推动机构工作的驱动机构;
单个推动机构位于对应放置框边线的外侧;且每个推动机构都设有:两个相互平行、带外螺纹、用于推动平置版模的平置推动杆,以及一个用于支承推动杆、与推动杆螺纹连接的支座;单个推动机构的两个推动杆都垂直于该单个推动机构所对应的放置框边线;分设于四个推动机构上的各推动杆,它们与对应放置框边线的间距相同;且分设于四个推动机构上的各推动杆,它们的外螺纹相同;
所述驱动机构包括:以矩形放置框中心为圆心、用于驱动推动杆沿自身轴线方向伸缩的平置圆环形齿盘,以及驱动圆环形齿盘围绕上述圆心旋转的第一驱动装置;所述圆环形齿盘,其上表面设有用于驱动推动杆绕自身轴线旋转的驱动齿;且该驱动齿与推动杆的外螺纹齿合; 所述压合装置包括:位于放置框正上方、用于下压版模的若干相互平行的平置压杆,固定于压杆底部、沿压杆长度方向均布、长度相同的若干竖置压头,用于支承压杆的平置下压框,以及用于驱动下压框竖直升降的第二驱动装置;
所述压杆垂直于放置框的一边线,且各压杆沿该放置框的边线方向均布;单个压杆,其两端分别与下压框底面固定,其中部下凸于两端。
[0005]优选的,所述支座固定于平置底板的顶面。
[0006]优选的,所述平置底板上设有用于放置圆环形齿盘的圆环形凹槽,所述圆环形齿盘置于所述圆环形凹槽内。
[0007]优选的,所述第一驱动装置包括与圆环形齿盘轴接的气缸;所述圆环形齿盘,其外边沿延伸有用于与气缸活塞杆轴接的连接部。
[0008]优选的,上述的曝光治具,还包括设于透光板下方的曝光光源。
[0009]本发明还提供上述曝光治具的工作过程,包括如下步骤:
将矩形菲林平铺于矩形放置框内平置透光板的上表面,矩形菲林的边线与矩形放置框的边线贴合,矩形菲林的中心与矩形放置框的中心位于同一竖直线内,完成菲林的定位放置;
将版模平置于四个推动机构间的底板顶面;
第一驱动装置驱动平置圆环形齿盘旋转,进而带动四个推动机构的推动杆伸出,四个推动机构的推动杆接触并推动平置版模,逐渐将平置矩形版模与矩形放置框对位,矩形版模的四边分别与矩形放置框的四边对应平行,矩形版模的中心与矩形放置框的中心位于同一竖直线内,也即完成平置矩形版模与平置矩形菲林的对位,矩形版模的四边分别与矩形菲林的四边对应平行,矩形版模的中心与矩形菲林的中心位于同一竖直线内;
第二驱动装置驱动下压框竖直下降,带动压杆下降;由于单个压杆的中部下凸于两端,故位于单个压杆中部的竖置压头先接触和下压平置版模,位于单个压杆两端的竖置压头后接触和下压平置版模;使版模与菲林从中部向边沿逐步压合,最终使版模与菲林紧密贴靠,也即完成版模与菲林间从中部向边沿逐步排气,最终去除版模与菲林间的空气。
[0010]本发明的优点和有益效果在于:提供一种曝光治具及其工作过程,其方便菲林与版模的对位,且对版模与菲林采用从中部向边沿逐步排气的方式,最终去除版模与菲林间的空气。
【附图说明】
[0011]图1是本发明的示意图;
图2是对位装置的俯视示意图;
图3是压合装置的仰视示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图和实施例,对本发明的【具体实施方式】作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
[0013]本发明具体实施的技术方案是:
如图1、图2和图3所示,一种曝光治具,包括: 平置底板I,
开设于底板I中心、形状与平置矩形菲林7贴合、用于放置平置菲林7的矩形放置框2, 固定于矩形放置框2内、与矩形放置框2贴合、用于承载平置菲林7的平置透光板3, 用于将平置矩形版模8与矩形放置框2对位的对位装置,
以及用于将版模8与菲林7压合的压合装置;
所述平置透光板3的顶面低于底板I顶面,且透光板3顶面与底板I顶面的间距小于平置菲林7的厚度;
所述对位装置包括:与矩形放置框2四个边线一一对应的四个推动机构4,以及驱动推动机构4工作的驱动机构;
单个推动机构4位于对应放置框2边线的外侧;且每个推动机构4都设有:两个相互平行、带外螺纹、用于推动平置版模8的平置推动杆41,以及一个用于支承推动杆41、与推动杆41螺纹连接的支座42 ;单个推动机构4的两个推动杆41都垂直于该单个推动机构4所对应的放置框2边线;分设于四个推动机构4上的各推动杆41,它们与对应放置框2边线的间距相同;且分设于四个推动机构4上的各推动杆41,它们的外螺纹相同;
所述驱动机构包括:以矩形放置框2中心为圆心、用于驱动推动杆41沿自身轴线方向伸缩的平置圆环形齿盘51,以及驱动圆环形齿盘51围绕上述圆心旋转的第一驱动装置;所述圆环形齿盘51,其上表面设有用于驱动推动杆41绕自身轴线旋转的驱动齿;且该驱动齿与推动杆41的外螺纹齿合;
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