波长锁定装置和薄膜滤波器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光通信技术领域，特别是涉及一种波长锁定装置和薄膜滤波器。
【背景技术】
[0002]请参见图1，图1是现有技术中波长锁定装置的结构示意图。如图1所示，现有技术所揭示的波长锁定装置10包括:分光器11、第一探测器12、第二探测器13以及以太龙(Etalon) 14。其中，以太龙14设置在第一探测器12和分光器11之间。分光器11将一输入光分为第一光束A和第二光束B,第一光束A通过以太龙14进入第一探测器12,第一探测器12探测通过以太龙14的第一光束A的光功率，第二探测器13接收第二光束B，并探测第二光束B的光功率，波长锁定装置10根据第一探测器12和第二探测器13所探测的结果来实现波长的锁定。
[0003]但是，现有技术所揭示的以太龙14采用固体以太龙，以太龙14存在温度漂移，即以太龙14的传输曲线会随温度的漂移而漂移，进而影响波长锁定装置10的波长锁定精度。如图2所示，曲线C为以太龙14漂移前的传输曲线，曲线D为以太龙14漂移后的传输曲线。此外，以太龙14的波长温度敏感性为IGHz/度，则波长锁定装置10的波长锁定精度为IGHz,因此波长锁定装置10的波长锁定精度低。
【发明内容】
[0004]本发明实施例提供了一种波长锁定装置和薄膜滤波器，以解决现有波长锁定装置的波长锁定精度低的问题。
[0005]第一方面提供一种薄膜滤波器，其设置在波长锁定装置的分光器和第一探测器之间，薄膜滤波器包括衬底和第一滤波薄膜，第一滤波薄膜设置在衬底的第一表面上，分光器输出的光束通过薄膜滤波器进入第一探测器，其中光束的波长在第一滤波薄膜的波长范围内，薄膜滤波器的传输曲线对温度变化不敏感，以提高波长锁定装置波长锁定精度。
[0006]结合第一方面的实现方式，在第一种实现方式中，薄膜滤波器还包括设置在衬底的第二表面上的增透膜，第二表面与第一表面相对设置，增透膜用于减少光束的反射。
[0007]结合第一方面的第一种实现方式，在第二种实现方式中，薄膜滤波器的波长温度敏感性小于0.1GHz/度，波长锁定装置的波长锁定精度为0.1GHz0
[0008]结合第一方面的实现方式，在第三种实现方式中，薄膜滤波器还包括设置在衬底的第二表面上的第二滤波薄膜，第二表面与第一表面相对设置，第二滤波薄膜的温度漂移方向与第一滤波薄膜的温度漂移方向相反。
[0009]结合第一方面的第三种实现方式，在第四种实现方式中，波长锁定装置的波长锁定精度为0.025GHz O
[0010]结合第一方面的实现方式，在第五种实现方式中，第一滤波薄膜的波长范围为1528nm_1565nm0
[0011]第二方面提供一种波长锁定装置，其包括分光器、第一探测器、第二探测器以及设置在分光器和第一探测器之间的薄膜滤波器，薄膜滤波器包括衬底和第一滤波薄膜，第一滤波薄膜设置在衬底的第一表面上，分光器将一输入光分为第一光束和第二光束，第一光束通过薄膜滤波器进入第一探测器，第二探测器接收第二光束，其中第一光束的波长在第一滤波薄膜的波长范围内，薄膜滤波器的传输曲线对温度变化不敏感，以提高波长锁定装置波长锁定精度。
[0012]结合第二方面的实现方式，在第一种实现方式中，薄膜滤波器还包括设置在衬底的第二表面上的增透膜，第二表面与第一表面相对设置，增透膜用于减少第一光束的反射。
[0013]结合第二方面的第一种实现方式，在第二种实现方式中，薄膜滤波器的波长温度敏感性小于0.1GHz/度，波长锁定装置的波长锁定精度为0.1GHz0
[0014]结合第二方面的实现方式，在第三种实现方式中，薄膜滤波器还包括设置在衬底的第二表面上的第二滤波薄膜，第二表面与第一表面相对设置，第二滤波薄膜的温度漂移方向与第一滤波薄膜的温度漂移方向相反。
[0015]结合第二方面的第三种实现方式，在第四种实现方式中，波长锁定装置的波长锁定精度为0.025GHz O
[0016]结合第二方面的实现方式，在第五种实现方式中，第一滤波薄膜的波长范围为1528nm_1565nm0
[0017]通过上述方案，本发明的有益效果是:本发明通过在波长锁定装置的分光器和第一探测器之间设置薄膜滤波器，薄膜滤波器包括衬底和第一滤波薄膜，第一滤波薄膜设置在衬底的第一表面上，其中薄膜滤波器的传输曲线对温度变化不敏感，进而提高波长锁定装置波长锁定精度。
【附图说明】
[0018]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中:
[0019]图1是现有技术中波长锁定装置的结构示意图；
[0020]图2是图1中以太龙的传输曲线图；
[0021]图3是本发明第一实施例的波长锁定装置的结构示意图；
[0022]图4是图3中薄膜滤波器的传输曲线图；
[0023]图5是本发明第二实施例的波长锁定装置的结构示意图；
[0024]图6是本发明第三实施例的波长锁定装置的结构示意图；
[0025]图7是图6中第一滤波薄膜的传输曲线和第二滤波薄膜的传输曲线图；
[0026]图8是本发明第一实施例的光源波长控制系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0028]请参见图3所示，图3是本发明第一实施例的波长锁定装置的结构示意图。如图3所示，本实施例所揭示的波长锁定装置30包括分光器31、第一探测器32、第二探测器33以及设置在分光器31和第一探测器32之间的薄膜滤波器34。
[0029]在本实施例中，分光器31将一输入光分为第一光束Dl和第二光束D2,第二探测器33接收第二光束D2，即第二光束D2直接进入第二探测器33，第二探测器33探测到第二光束D2的光电流。
[0030]其中，薄膜滤波器34包括衬底341和第一滤波薄膜342，第一滤波薄膜342设置在衬底的第一表面343上。其中第一滤波薄膜342的波长范围优选为1528nm-1565nm，即波长在1528nm-1565nm内的光束能够通过第一滤波薄膜342。第一光束Dl通过薄膜滤波器34进入第一探测器32，第一光速Dl的波长在波长范围内，第一滤波薄膜342的传输曲线对温度变化不敏感，第一探测器32探测到第一光束Dl的光电流。在本发明的其他实施例中，本领域的普通技术人员完全可以将第一滤波薄膜342的波长范围设置为其他波长范围，例如第一滤波薄膜342的波长范围设置为1428nm-1465nm。
[0031]波长锁定装置30根据第一探测器32探测到的第一光束Dl的光电流和第二探测器33探测到第二光束D2的光电流，通过现有的波长锁定算法，对输出光D3的波长进行锁定，进而保证输出光D3的波长保持稳定。
[0032]请进一步参见图4所示,薄膜滤波器34在1528nm-1565nm内的传输曲线，其中横坐标表示通过薄膜滤波器34的波长，纵坐标表示薄膜滤波器34的通光率，即可以根据通光率确定锁定的波长，例如根