曝光装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及所谓的卷对卷方式的曝光装置，从供给侧向曝光部输送长条工件(柔性基板)，利用该曝光部将图案曝光于长条工件，并将长条工件输送到卷绕侧。
【背景技术】
[0002]通常，关于移动电话、移动设备等各种小型电气设备中使用的电子电路基板(印刷电路基板)的电路底座材料，由于机体轻薄短小的原因，而使用了薄且精度高的长条工件。
[0003]这样的长条工件的材料的厚度为0.1mm左右至0.06mm，而且有薄型化的趋势。并且最近，使用了非常长的长条工件，其为薄且宽度宽的长条工件状，厚度为0.05mm以下，宽度为550mm，并且长度为100m。通常将长条工件卷绕成卷状来进行处理。
[0004]作为在这样的长条工件上形成电子电路的装置，公知有所谓的卷对卷方式的装置，其具有供给卷轴、卷绕卷轴以及位于该供给卷轴与卷绕卷轴之间的曝光部，一边沿长条工件的长度方向输送架设在供给卷轴与卷绕卷轴之间的长条工件，一边通过曝光部将图案曝光于长条工件的表面。
[0005]并且，还公知有在曝光部中具有DMD(Digital Micro-mirror Device:数字微镜器件)等光调制元件阵列的、卷对卷方式的无掩模曝光装置。利用无掩模曝光，与长条工件的输送同步地依次切换光调制元件阵列的驱动数据，由此能够曝光形成例如超过Im那样的长条图案。
[0006]在无掩模曝光装置的情况下，通常由于曝光光学系统的焦深的关系，需要在使用曝光台来保持工件的平面的状态下进行曝光。在专利文献I的卷对卷方式的无掩模曝光装置中，在将长条工件吸附固定于曝光台并将曝光部与长条工件表面在光轴方向上的距离保持为恒定的状态下，一边使光调制元件与长条工件相对移动，一边向固定于长条工件表面的感光剂层投影图案光。
[0007]专利文献1:日本特开2006-102991号公报
[0008]在专利文献I那样的卷对卷方式的无掩模曝光装置中，针对长条工件输送方向的I次曝光距离被曝光台的行程限制。为了形成超过限制的长度的图案，需要在结束了 I次曝光工序后，使长条工件和曝光台分别移动到各自的曝光开始位置。
[0009]然而，在专利文献I的卷对卷方式的无掩模曝光装置中，由于利用曝光台进行长条工件的移动，因此在要使曝光台高速地返回到曝光的开始位置时，设置于退绕部和卷绕部的张力调节辊无法追随基板的返回速度而产生打滑，在长条工件上产生磨损缺陷。
[0010]另一方面，在降低曝光台的加速度以使得张力调节辊能够追随长条工件的返回速度的情况下，给生产节拍带来较大的影响，对生产性产生不良影响。
[0011]并且，由于长条工件的返回量与曝光台的返回量不同(曝光台大约多返回了与曝光台在输送方向上的长度相应的程度)，因此，虽然存在曝光台解除长条工件的吸附固定、仅曝光台移动的工序，但是，此时张力调节辊的重量或长条工件的自重不平衡，而导致长条工件沿输送方向移动。因此，存在如下问题:所形成的图案的第I次的结束位置与下一次的开始位置不一致。
【发明内容】
[0012]本发明的曝光装置具有:输送单元，其将长条的具有塑性的被曝光体从供给卷轴输送到卷绕卷轴；曝光单元，其设置在比供给卷轴靠下游侧的被曝光体上方，具有多个空间光调制单元；曝光台，其保持被曝光体的一部分；以及移动单元，其使曝光台沿着输送单元的被曝光体的输送方向往复移动。
[0013]另外，本发明的曝光装置具有:供给侧约束辊，其设置在供给卷轴的下游侧且曝光单元的上游侧，约束被曝光体；以及卷绕侧约束辊，其设置在曝光单元的下游侧且卷绕卷轴的上游侧，约束被曝光体，供给侧约束辊和卷绕侧约束辊中的至少一方具有辊驱动单元。
[0014]在曝光台保持着被曝光体时，供给侧约束辊和卷绕侧约束辊解除被曝光体的约束，不妨碍被曝光体随着曝光台的移动而自由地移动。
[0015]另外，在本发明的曝光装置中，在曝光台以保持着被曝光体的状态从输送开始位置移动到输送结束位置的期间，曝光单元将图案曝光于被曝光体，在曝光单元的曝光结束后，曝光台以不保持被曝光体的状态从输送结束位置移动到输送开始位置。与此同时，供给侧约束辊使被曝光体向供给侧移动。
[0016]曝光台具有将被曝光体的宽度方向的端面(沿着输送方向的端面)按压到曝光台的夹持机构。通过在夹持机构与曝光台之间夹持被曝光体的宽度方向的两端面，将被曝光体的曝光面保持为平面。
[0017]另外，本发明的曝光装置具有:拍摄单元；以及显示单元，其能够显示由拍摄单元拍摄的图像，拍摄单元在定位步骤中用于拍摄设置于被曝光体的定位标记，并且还在确认曝光后的图案的步骤中用于观察图案。
[0018]根据本发明，可实现如下的卷对卷方式的曝光装置，该曝光装置能够在长条工件上不产生划痕的情况下缩短生产节拍，并且所形成的图案的连接精度良好。
【附图说明】
[0019]图1是示出本发明一个实施方式的曝光装置的概略结构的侧面透视图。
[0020]图2是示出曝光台的工件夹持部的俯视图。
[0021]图3a是示出曝光装置的动作的第I工序图。
[0022]图3b是示出曝光装置的动作的第2工序图。
[0023]图3c是示出曝光装置的动作的第3工序图。
[0024]图3d是示出曝光装置的动作的第4工序图。
[0025]图3e是示出曝光装置的动作的第5工序图。
[0026]图3f是示出曝光装置的动作的第6工序图。
[0027]图3g是示出曝光装置的动作的第7工序图。
[0028]图3h是示出曝光装置的动作的第8工序图。
[0029]图3i是示出曝光装置的动作的第9工序图。
[0030]图3j是示出曝光装置的动作的第10工序图。
[0031]标号说明
[0032]1:曝光装置;2:架台;10:投入部；11:供给卷轴;12、14:导辊;13:供给侧张力调节辊；15:供给侧制动辊；16:端面位置传感器；21:卷绕卷轴；22、24:导辊；23:卷绕侧张力调节辊；25:卷绕侧制动辊；30:曝光部；31:曝光台；32:台移动部；33:导轨；34:升降驱动单元；35:工件夹持机构；40:校准部；41:校准照相机；42:监视器；50:曝光处理部；51:曝光单元;W:长条工件(感光性基板)；A:长条工件W上的第I次的曝光开始位置(点A);B:长条工件W上的第2次的曝光开始位置(点B)。
【具体实施方式】
[0033]《第I实施方式》
[0034]参照图1?图2对本发明第I实施方式的曝光装置I进行说明。曝光装置I是所谓的卷对卷方式的曝光装置，从长条工件W的输送方向的上游侧朝向下游侧依次具有:供给部10，其供给长条工件W ;曝光部30，其将图案曝光于长条工件W的表面而形成电子电路；以及卷绕部20，其回收已曝光的长条工件W。
[0035]<长条工件W的结构>
[0036]长条工件W例如是使感光性长条膜(在表面上涂敷了感光体的合成树脂制柔软膜)形成为卷状而得到的，该感光性长条膜是用于移动电话或移动设备等的电子电路基板(印刷电路基板)的底座材料。涂敷了光致抗蚀剂等感光材料的长条工件W形成为基于覆铜层叠板等的片状，具有几十?几百米的长度。以下，将长条工件W的正面和背面中的朝向图中上方的面称为“正面”、朝向图中下方的面称为“背面”。
[0037]以下，用“X”表示沿着输送方向M的方向，用“Y”表示与输送方向M垂直的长条工件W的宽度方向，用“Z”表示与X和Y双方垂直的方向(铅直方向)。并且，在表示曝光装置I中的要素的位置关系时，将靠近供给卷轴一侧称为上游侧、靠近卷绕卷轴一侧称为下游侧。
[0038]<供给部10和卷绕部20的结构>
[0039]供给部10从长条工件W的输送方向的上游侧朝向下游侧依次具有供给卷轴11、导辊12、供给侧张力调节辊13、导辊14、供给侧制动辊15以及端面位置传感器16，构成用于向曝光部30供给长条工件W的工件供给系统。卷绕部20从长条工件W的输送方向的上游侧朝向下游侧依次具有卷绕侧制动辊25、导辊24、卷绕侧张力调节辊23、导辊22以及卷绕卷轴21，构成用于卷绕由曝光部30曝光后的长条工件W的工件卷绕系统。
[0040]供给卷轴11保持卷绕成卷状的长条工件W，通过以自身的旋转轴为中心进行旋转，朝向下游侧供给(送出)长条工件W。卷绕卷轴21通过以自身的旋转轴为中心进行旋转，将从上游侧供给来的长条工件W卷绕成卷状并对其进行保持。供给卷轴11和卷绕卷轴21具有间歇地对该供给卷轴11和卷绕卷轴21进行旋转驱动的旋转驱动单元(未图示)。该长条工件W的供给量和卷绕量随着长条工件W的输送而发生变化，由此，供给卷轴11和卷绕卷轴21的外径发生变化。
[0041]导辊12、14、22、24、供给侧制动辊15以及卷绕侧制动辊25将长条工件W架设在供给卷轴11与卷绕卷轴21之间，通过以自身的旋转轴为中心进行旋转，朝向卷绕卷轴21输送来自供给卷轴11的长条工件W。
[0042]供给侧制动辊1