一种针对厚胶基片的无损夹持装置的制作方法

技术特征：

1.一种针对厚胶基片的无损夹持装置，其特征在于：包括抽气单元、吸盘单元，抽气单元与吸盘单元连接，吸盘单元包括：设置有多个小孔的微孔板（2）、真空吸盘底座（4），微孔板（2）密封安装在真空吸盘底座（4）上。

2.根据权利要求1所述的针对厚胶基片的无损夹持装置，其特征在于：抽气单元的真空泵（7）通过气管（8）与真空吸盘底座（4）的接头（5）连接。

3.根据权利要求1所述的针对厚胶基片的无损夹持装置，其特征在于：所述的微孔板（2）与真空吸盘底座（4）为螺栓连接，微孔板（2）与真空吸盘底座（4）之间设置密封圈（3）。

4.根据权利要求3所述的针对厚胶基片的无损夹持装置，其特征在于：微孔板（2）上还安装定位盖板（1）。

5.根据权利要求1所述的针对厚胶基片的无损夹持装置，其特征在于：微孔板（2）上面的小孔均匀分布，包括内孔（b）和外孔（a）两部分，外孔（a）比内孔（b）直径小。

6.根据权利要求5所述的针对厚胶基片的无损夹持装置，其特征在于：小孔间距为2.5X2.5mm。

7.根据权利要求6所述的针对厚胶基片的无损夹持装置，其特征在于：内孔（b）直径为1.5mm，深度为12mm,外孔（a）直径为1.0mm,深度为6mm。