一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统的制作方法

文档序号:11797888阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统,其特征在于:包括第一二分束棱镜、第二二分束棱镜、第一扫描振镜、第二扫描振镜和消像差聚焦镜组,所述第一二分束棱镜、所述第二二分束棱镜中心轴同轴,所述第一扫描振镜、第二扫描振镜和消像差聚焦镜组构成振镜扫描光学系统。

2.根据权利要求1所述的一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统,其特征在于:所述第一二分束棱镜、所述第二二分束棱镜棱角相同,均为平凸形分束棱镜。

3.根据权利要求1所述的一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统,其特征在于:所述第一扫描振镜、所述第二扫描振镜光束偏转角均为变化角。

4.根据权利要求1所述的一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统,其特征在于:所述消像差聚焦镜组为球面镜组合。

5.根据权利要求1所述的一种基于二分束棱镜与扫描振镜组合光学系统,其特征在于:所述第一二分束棱镜入射光束采用轴对称光斑分布的平行或近平行光。

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