一种大尺寸靶材焊接的定位工装的制作方法

本实用新型属于焊接技术领域，具体涉及一种大尺寸靶材焊接的定位工装。

背景技术：

在TFT液晶面板工业中，靶材组件是由符合溅射性能的靶材及能与靶材结合并具有一定强度的背板构成。背板可以在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。

在溅射过程中，靶材组件所处的工作环境比较恶劣，靶材所处的环境温度较高，例如300～600℃；另外，靶材组件的冲以冷却水强冷，而另一侧处于10^-9Pa的高真空环境下，由此在靶材组件的相对二侧形成有巨大的压力差；再有，靶材组件处在高压电场、磁场中，受到各种粒子的轰击。因此对靶材组件的焊接强度和靶材和背板的焊接位置要求较为严格。

随着TFT液晶面板尺寸增大，靶材尺寸越来越大，当大尺寸靶材与背板焊接时，靶材在背板焊接的位置，一般通过熟练工人搬运后放置，由于靶材尺寸重量大，人工搬运比较费力，靶材又是在高温时焊接，要求工人能够快速准确把靶材放置到背板上，对工人熟练程度要求高，因此，针对大尺寸铜靶材与背板焊接时制作定位工装，使靶材能够准确放置在背板要求位置具有重要意义。

中国专利CN202667867U公开了一种靶材焊接定位装置，包括：设置在背板上的定位孔，适于装入所述定位孔且对靶材进行限位的定位销。采用本实用新型的靶材焊接定位装置，当靶材放置在背板的焊接面上进行焊接时，采用定位销装入所述定位孔对靶材进行限位，焊接完毕后，取出所述定位销，因而实现了焊接过程中限制靶材偏移。但是，该专利定位装置在背板上设置定位孔，背板受到损害，而且只适合定位固定宽度的靶材，应用范围受限。

技术实现要素：

为克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种大尺寸靶材焊接的定位工装。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种大尺寸靶材焊接的定位工装，包括背板和贴合于背板上端面的夹具，所述夹具由垂直连接的横板和竖板构成，所述横板宽度与背板宽度相同，所述竖板靠近横板一端设置第一横向滑槽和第二横向滑槽，所述第一横向滑槽和第二横向滑槽深度均小于竖板的厚度，所述第一横向滑槽和第二横向滑槽内分别设置第一夹臂和第二夹臂，所述第一横向滑槽和第二横向滑槽内还分别设置限制第一夹臂和第二夹臂移动的一个限位块，所述第一夹臂和第二夹臂均为L形，所述背板分别和第一夹臂和第二夹臂之间设置一个支撑板，所述横板两侧面分别设置一个第一固定块，所述第一固定块上设置第一定位孔，所述横板上设置与所述第一定位孔相匹配的第一螺纹孔，第一紧固螺栓贯穿第一定位孔旋合于第一螺纹孔内，所述第一夹臂和第二夹臂外臂分别设置第二定位孔，所述竖板上设置与所述第二定位孔相匹配的第二螺纹孔，第二紧固螺栓贯穿第二定位孔旋合于第二螺纹孔内。

优选地，所述第一横向滑槽和第二横向滑槽互相平行或者位于同一直线上。

优选地，所述横板远离靶材一侧面还设置一个第二固定块，所述第二固定块上设置第三定位孔，所述横板上设置与所述第三定位孔相匹配的第三螺纹孔，第三紧固螺栓贯通第三定位孔旋合于第三螺纹孔内。

优选地，所述背板和横板的总厚度与第一固定块或者第二固定块厚度相同。优选地，所述第一横向滑槽和第二横向滑槽边缘设置刻度线。

本实用新型的积极有益效果：

1. 本实用新型所述夹具由垂直连接的横板和竖板构成，所述横板宽度与背板宽度相同，所述竖板靠近横板一端设置第一横向滑槽和第二横向滑槽，所述第一横向滑槽和第二横向滑槽深度均小于竖板的厚度，所述第一横向滑槽和第二横向滑槽内分别设置第一夹臂和第二夹臂，所述第一横向滑槽和第二横向滑槽内还分别设置限制第一夹臂和第二夹臂移动的一个限位块，所述第一夹臂和第二夹臂均为L形，第一夹臂和第二夹臂分别在第一滑槽和第二滑槽内抽拉方便，实现对各种宽度的靶材的夹持。所述背板分别和第一夹臂和第二夹臂之间设置一个支撑板，所述横板两侧面分别设置一个第一固定块，所述第一固定块上设置第一定位孔，所述横板上设置与所述第一定位孔相匹配的第一螺纹孔，第一紧固螺栓贯穿第一定位孔旋合于第一螺纹孔内，夹具与背板固定牢固。所述第一夹臂和第二夹臂外臂分别设置第二定位孔，所述竖板上设置与所述第二定位孔相匹配的第二螺纹孔，第二紧固螺栓贯穿第二定位孔旋合于第二螺纹孔内，第二紧固螺栓对第一夹臂和第二夹臂位置固定，夹具对靶材固定牢固。本实用新型定位工装调节灵活，固定牢固，可以实现不同宽度和长度靶材的固定，应用范围广泛，而且背板不受损伤，可重复利用。

2. 本发明所述第一横向滑槽和第二横向滑槽互相平行或者位于同一直线上，滑槽设置方式灵活，适合更大宽度的靶材的夹持，应用范围广泛。所述横板远离靶材一侧面还设置一个第二固定块，所述第二固定块开设第三定位孔，所述横板上设置与所述第三定位孔相匹配的第三螺纹孔，第三紧固螺栓贯通第三定位孔旋合于第三螺纹孔内，对靶材进一步实现一侧长度方向固定，靶材固定更加牢固。所述背板和横板的总厚度与第一固定块或者第二固定块厚度相同，固定块对背板和夹具固定牢固，占用空间小。所述第一横向滑槽和第二横向滑槽边缘设置刻度线，更加精准控制第一夹臂和第二夹臂之间的宽度。

附图说明

图1为本实用新型实施例1大尺寸铜靶材焊接的定位工装的机构示意图之一；

图2为本实用新型实施例1大尺寸铜靶材焊接的定位工装的机构示意图之二；

图3为本实用新型实施例1夹具结构示意图；

图4为本实用新型实施例2大尺寸铜靶材焊接的定位工装的机构示意图；

图5为本实用新型实施例3大尺寸铜靶材焊接的定位工装的机构示意图；

图6为本实用新型实施例3夹具结构示意图；

图中：1-背板，2-第一紧固螺栓，3-第一固定块，4-夹具，41-横板，42-竖板，43-第一横向滑槽，44-第二横向滑槽，5-第二紧固螺栓，6-第一夹臂，7-第二夹臂，8-靶材，9-限位块，10-支撑板，11-第二固定块，12-第三紧固螺栓。

具体实施方式

下面结合一些具体实施例对本实用新型进一步说明。

实施例1

参见图1-3，一种大尺寸靶材焊接的定位工装，包括背板1和贴合于背板1上端面的夹具4，所述夹具4由垂直连接的横板41和竖板42构成，所述横板41宽度与背板1宽度相同，所述竖板42靠近横板41一端开设第一横向滑槽43和第二横向滑槽44，所述第一横向滑槽43和第二横向滑槽44在同一直线上，所述第一横向滑槽43和第二横向滑槽43深度均小于竖板42的厚度，所述第一横向滑槽43和第二横向滑槽44内分别设置第一夹臂6和第二夹臂7，所述第一横向滑槽43和第二横向滑槽44内还分别设置限制第一夹臂6和第二夹臂7移动的一个限位块9，所述第一夹臂6和第二夹臂7均为L形，所述背板1分别和第一夹臂6和第二夹臂7之间设置一个支撑板10，所述横板41两侧面分别设置一个第一固定块3，所述第一固定块3上开设第一定位孔，所述横板41上开设与所述第一定位孔相匹配的第一螺纹孔，第一紧固螺栓2贯穿第一定位孔旋合于第一螺纹孔内，所述第一夹臂6和第二夹臂7外臂分别开设第二定位孔，所述竖板42上开设与所述第二定位孔相匹配的第二螺纹孔，第二紧固螺栓5贯穿第二定位孔旋合于第二螺纹孔内。

本实用新型大尺寸靶材焊接的定位工装使用时，根据靶材8在背板1的位置要求，首先采用第一紧固螺栓2将夹具4与背板1固定，然后根据靶材8在背板1宽度方向的位置抽拉第一夹臂6和第二夹臂7，使两者之间距离在公差要求的范围内略大于靶材8的宽度，然后采用第二紧固螺栓5将第一夹臂6和第二夹臂7固定，夹具4整体在背板1固定好后，把需要焊接的靶材8通过吸盘落入背板1上夹具4固定位置，等焊接完成后，去除夹具4，供下一块靶材8焊接使用。

实施例2

参见图4，本实施例大尺寸靶材焊接的定位工装与实施例1大尺寸靶材焊接的定位工装基本相同，不同之处在于：所述横板42远离靶材8一侧面还设置一个第二固定块11，所述第二固定块11上开设第三定位孔，所述横板41上开设与所述第三定位孔相匹配的第三螺纹孔，第三紧固螺栓12贯通第三定位孔旋合于第三螺纹孔内，通过第三紧固螺栓12对靶材8实现一侧长度方向的固定，靶材8固定更加牢固。

实施例3

参见图5和图6，本实施例大尺寸靶材焊接的定位工装与实施例2大尺寸靶材焊接的定位工装基本相同，不同之处在于：所述第一横向滑槽43和第二横向滑槽44互相平行，适合更大宽度的靶材8的夹持，应用范围广泛。

实施例4

省略附图，本实施例大尺寸靶材焊接的定位工装与实施例3大尺寸靶材焊接的定位工装基本相同，不同之处在于：所述第一横向滑槽43和第二横向滑槽44边缘设置刻度线。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。