1.一种激光加工装置,其对板状的被加工物照射激光光线而实施加工,其中,
该激光加工装置具有:
盒工作台,其载置对多个被加工物进行收纳的盒;
搬出单元,其将被加工物从载置于该盒工作台的盒中搬出;
暂放单元,其对通过该搬出单元搬出的该被加工物进行暂放;
搬送单元,其将被加工物从该暂放单元搬送至卡盘工作台;
拍摄单元,其对该卡盘工作台所保持的被加工物的要加工的区域进行检测;
X轴方向移动单元,其对该卡盘工作台在X轴方向上进行加工进给;
Y轴方向移动单元,其对该卡盘工作台在与X轴方向垂直的Y轴方向上进行分度进给;以及
激光光线照射单元,其包含对该卡盘工作台所保持的被加工物照射激光光线的聚光器,
该X轴方向移动单元包含:
移动基台,其对该卡盘工作台进行支承;
X轴工作台,其具有X轴导轨,该X轴导轨沿X轴方向引导该移动基台;以及
驱动源,其使该移动基台移动,
该Y轴方向移动单元包含:
Y轴导轨,其沿Y轴方向引导该X轴工作台;以及
驱动源,其使该X轴工作台移动,
该移动基台由碳纤维增强塑料构成。