技术总结
本实用新型是一种玻璃微流道的激光复合加工装置，加工装置主要包括：切割头透镜组、侧轴进气口、可控移动平台、激光清洗光束整形系统、X/Y扫描振镜、聚焦镜、背刻初步成形样件、激光清洗夹具。整套加工装置由激光背刻和激光清洗两大模块构成，可实现玻璃微流道的背刻成形与激光清洗的复合加工。本实用新型装置所加工出来的微流道结构尺寸均匀，表面粗糙度良好，流道内壁无有害化学残留物，本实用新型装置便于集成，操作简单，方便实用，具有较高的加工速率且加工成本低。
技术研发人员：谢小柱;刘帅;魏昕;胡伟;翁清;曹州权
受保护的技术使用者：广东工业大学
文档号码：201720066814
技术研发日：2017.01.12
技术公布日：2018.02.09