一种电解加工阵列微小凹坑的装置的制作方法

文档序号:13118074阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电解加工阵列微小凹坑的装置,其特征在于:电解液池(1)和反应池(11)安装在底板(2)上,流道(4)安装在电解液池(1)和反应池(11)之间,流道上盖(5)的入液口与水泵(3)的出水口通过塑料管(15)相连,电解加工时,水泵(3)将电解液吸入加工间隙,反应后的电解液从上夹具体(7)和下夹具体(9)之间的间隙流出,经流道(4)回流至电解液池(1),实现电解液的循环,阴极(13)通过阴极引电螺钉(12)安装在上夹具体(7)内,并与负极相连,工件(8)表面涂覆一层工件掩膜(16),安装在下夹具体(9)的圆槽内,并通过阳极引电螺钉(10)与正极相连,流道上盖(5)、流道下盖(6)、上夹具体(7)和下夹具体(9)通过螺钉(14)安装在反应池(11)上,上夹具体(7)和下夹具体(9)之间安装多个阴极(13)和工件(8),实现多个工件同时加工,提高加工效率。

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