本申请涉及半导体溅射靶材领域，具体而言，涉及一种酒精喷雾装置装置、制作方法及机械加工机床。
背景技术：
在溅射靶材的机械加工过程中，需要使用酒精来进行冷却。然而，现有的酒精喷雾装置的喷雾量不稳定，直接导致加工出的溅射靶材的表面的纹路不一致。
技术实现要素：
有鉴于此，本申请实施例提供一种酒精喷雾装置、制作方法及机械加工机床，以改善上述问题。
为了达到上述目的，本申请实施例采用如下技术方案：
第一方面，本申请实施例提供一种酒精喷雾装置，包括进气管、出气管及三位五通阀门，所述三位五通阀门连接在所述进气管和所述出气管之间。
可选地，根据本申请实施例第一方面提供的酒精喷雾装置，所述酒精喷雾装置应用于机械加工机床，该机械加工机床用于加工溅射靶材；所述三位五通阀门设置于所述机械加工机床的一侧。
可选地，根据本申请实施例第一方面提供的酒精喷雾装置，所述三位五通阀门包括b孔和p孔，其中，p孔与所述进气管连通，b孔与所述出气管连通。
可选地，根据本申请实施例第一方面提供的酒精喷雾装置，所述p孔处设置有第一气管接头，并通过该第一气管接头与所述进气管连通；
所述b孔处设置有第二气管接头，所述p孔通过所述第二气管接头与所述出气管连通。
可选地，根据本申请实施例第一方面提供的酒精喷雾装置，所述三位五通阀门还包括a孔、r孔和s孔，所述a孔、所述r孔和所述s孔被密封。
可选地，根据本申请实施例第一方面提供的酒精喷雾装置，所述a孔、所述r孔和所述s孔中设置有无头螺丝，所述无头螺丝外缠有生料带，从而实现对所述a孔、所述r孔和所述s孔的密封。
第二方面，本申请实施例还提供一种酒精喷雾装置制作方法，用于制作本申请实施例第一方面提供的酒精喷雾装置，其中，所述酒精喷雾装置应用于对溅射靶材进行加工的机械加工机床；所述方法包括：
将三位五通阀门固定于所述机械加工机床的一侧；
将所述酒精喷雾装置的进气管和出气管分别与所述三位五通阀门的其中两个孔连通；
对所述三位五通阀门的另外三个孔进行密封，并通过气密性检测设备检测所述另外三个孔是否漏气，当所述另外三个孔不漏气时，确定制作完毕。
可选地，根据本申请实施例第二方面提供的酒精喷雾装置制作方法，所述三位五通阀门包括b孔和p孔；
将酒精喷雾装置的进气管和出气管分别与所述三位五通阀门的其中两个孔连通，包括：
在所述p孔处设置第一气管接头，并控制所述酒精喷雾装置的进气管通过所述第一气管接头与所述p孔连通；
在所述b孔处设置第二气管接头，并控制所述酒精喷雾装置的出气管与所述b孔连通。
可选地，根据本申请实施例第二方面提供的酒精喷雾装置制作方法，所述三位五通阀门还包括a孔、r孔和s孔；对所述三位五通阀门的另外三个孔进行密封，包括：
分别在所述a孔、所述r孔和所述s孔中安装无头螺丝；
分别在所述a孔、所述r孔和所述s孔中的无头螺丝上缠设生料带，以实现密封。
第三方面，本申请实施例提供一种机械加工机床，用于对溅射靶材进行加工，所述机械加工机床包括本申请实施例第一方面提供的酒精喷雾。
相对于现有技术而言，本申请实施例具有以下有益效果：
本申请实施例提供的一种酒精喷雾装置、制作方法及机械加工机床，该酒精喷雾装置包括进气管、出气管及三位五通阀门，该三位五通阀门连接在该进气管和该出气管之间。如此，可以确保酒精喷雾装置均匀地喷洒出酒精，从而确保制作出的溅射靶材的表面具有一致的加工纹路。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本申请实施例提供的一种酒精喷雾装置的连接框图；
图2为本申请实施例提供的三位五通阀门的立体结构示意图；
图3为图2所示的三位五通阀门的平面示意图；
图4为图2所示的三位五通阀门的又一平面示意图；
图5为本申请实施例提供的一种酒精喷雾装置制作方法的流程示意图；
图6为图5所示步骤s502的子步骤示意图；
图7为图5所示步骤s503的子步骤示意图。
图标：100-酒精喷雾装置；110-酒精存储容器；120-进气管；130-三位五通阀门；131-第一气管接头；132-第二气管接头；133-手柄；140-出气管。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
经发明人研究发现，在溅射靶材的机械加工过程中，需要使用酒精进行冷却。具体是将酒精喷洒到靶材的表面，利用酒精挥发吸热的作用来实现。然而，现有的酒精喷雾装置喷雾量不稳定，导致靶材的不同位置被喷洒的酒精量不一致，从而导致靶材表面各处的冷却效果不一，最终使得加工出的溅射靶材的表面具有不一致的纹路。
针对以上方案所存在的缺陷，均是发明人在经过实践并仔细研究后得出的结果，因此，上述问题的发现过程以及下文中本申请实施例针对上述问题所提出的解决方案，都应该是发明人在发明过程中对本申请做出的贡献。
为了确保酒精喷雾装置能够均匀地向溅射靶材的表面喷射酒精进行降温，从而使溅射靶材的表面具有一致的纹路，本申请实施例提出一种酒精喷雾装置、制作方法及机械加工机床，通过三位五通阀门来控制酒精喷雾装置，鉴于三位五通阀门具有稳定的气压，能够控制酒精喷雾装置所喷洒的酒精的均匀性。下面将对该方案的内容进行详细描述。
如图1所示，是本申请实施例提供的一种酒精喷雾装置100的连接框图。所述酒精喷雾装置100可以应用于机械加工机床，该机械加工机床用于加工溅射靶材。所述酒精喷雾装置100可以设置于所述机械加工机床的一侧。
在本实施例中，所述酒精喷雾装置100包括酒精储存容器110、进气管120、出气管140及三位五通阀门130，其中，所述三位五通阀门130连接于所述进气管120和所述出气管140之间。所述进气管120远离所述进气管120的一端可以与酒精储存容器110相连。
在本实施例中，所述进气管120可以与所述酒精储存容器110固定连接，也可以与所述酒精储存容器110可拆卸地连接，本实施例对此不做限制。
可选地，请一并参阅图2-图4，其中，图2是本申请实施例提供的一种酒精喷雾装置100的立体结构示意图，图3是图2所示酒精喷雾装置100的平面示意图，图4是图2所示的酒精喷雾装置100沿l方向的平面视图。
在本实施例中，所述三位五通阀门130可以选用stnc的型号为tg2531b-10的阀门。
可选地，所述三位五通阀门130可以包括a孔、b孔、p孔、r孔和s孔。其中，所述p孔为气源孔，与所述进气管120连通，所述b孔为出气孔，与所述出气管140连通。
在一些实施方式中，所述a孔、所述r孔和所述s孔通常用于消音。在本实施例中，所述a孔、所述r孔和所述s孔被密封，从而避免漏气，以在三位五通阀门130内提供稳定气压，从而控制从进气管120进入的酒精均匀地从出气管140喷洒出去。
可选地，在本实施例中，可以在所述p孔处设置第一气管接头131，所述进气管120可以通过所述第一气管接头131与所述p孔连通。可以在所述b孔处设置第二气管接头132，所述出气管140可以通过所述第二气管接头132与所述b孔连通。
其中，所述第一气管接头131和所述第二气管接头132可以是φ8气管接头。
通过气管接头可以确保所述b孔与所述出气管140的接合处、所述p孔与所述进气管120的接合处的气密性。
可选地，在本实施例中，可以通过不同的方式对所述a孔、所述r孔和所述a孔进行密封。
作为一种实施方式，可以在所述a孔、所述r孔和所述s孔中分别设置无头螺丝，每个所述无头螺丝外分别缠有生料带。其中，生料带是液体管道安装中的一种辅助用品，用于管件连接处，以增强管道连接处的密闭性。
可选地，在本实施例中，所述三位五通阀门130可以是手动阀门，所述三位五通阀门130还可以包括手柄133，通过所述手柄133可以控制所述三位五通阀门130的开启和关闭。
请参阅图5，本申请实施例还提供一种酒精喷雾装置制作方法，用于制作本申请实施例提供的酒精喷雾装置100。下面结合图5对该酒精喷雾装置制作方法的具体流程做详细阐述。
步骤s501，将三位五通阀门130固定于所述机械加工机床的一侧。
由于酒精喷雾装置100通常是在溅射靶材的加工过程中使用，而溅射靶材的加工通常是通过相应的机械加工机床实现，因此，为了方便用户操作，在本实施例中可以将三位五通阀门130固定在所述机械加工机床的一侧。
步骤s502，将所述酒精喷雾装置100的进气管120和出气管140分别与所述三位五通阀门130的其中两个孔连通。
可选地，在本实施例中，所述三位五通阀门130包括a孔、b孔、p孔、r孔和s孔。其中，所述两个孔可以是b孔和p孔。
在实施时，可以将所述p孔与所述进气管120连通，可以将所述b孔与所述出气管140连通。
可选地，如图6所示，在本实施例中，步骤s502可以包括步骤s601和步骤s602两个子步骤。
步骤s601，在所述p孔设置第一气管接头131，并控制所述进气管120通过所述第一气管接头131与所述p孔连通。
步骤s602，在所述b孔处设置地儿气管接头，并控制所述出气管140通过所述第二气管接头132与所述b孔连通。
步骤s503，对所述三位五通阀门130的另外三个孔进行密封，并通过气密性检测设备检测所述另外三个孔是否漏气，当所述另外三个孔不漏气时，确定制作完毕。
可选地，如图7所示，在本实施例中，步骤s503可以包括步骤s701和步骤s702两个子步骤。
步骤s701，分别在所述a孔、所述r孔和所述s孔中安装无头螺丝。
步骤s702，分别在所述a孔、所述r孔和所述s孔中的无头螺丝上缠设生料带，以实现密封。
本申请实施例还提供一种机械加工机床，该机械加工机床用于对溅射靶材进行加工，该机械加工机床包括本申请实施例提供的酒精喷雾装置100，以通过该酒精喷雾装置100对所加工的溅射靶材进行冷却。
综上所述，本申请实施例提供的一种酒精喷雾装置100、制作方法及机械加工机床，该酒精喷雾装置100包括进气管120、出气管140及三位五通阀门130，该三位五通阀门130连接在该进气管120和该出气管140之间。如此，可以确保酒精喷雾装置100均匀地喷洒出酒精，从而确保制作出的溅射靶材的表面具有一致的加工纹路。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。