一种溅射靶材裁板夹具的制作方法

本实用新型涉及夹具领域，尤其是涉及一种溅射靶材裁板夹具。

背景技术：

溅射金属溅射靶材是半导体芯片生产、薄膜晶体管液晶显示器设备和薄膜太阳能电池等制造加工过程中最重要的原材料之一，溅射靶材在加工过程中需要对毛坯板进行铣削加工。

由于大尺寸的溅射靶材长度长至两米到三米，板厚薄约十几厘米，因此在加工过程中非常容易因为振动而导致工件变形至报废，导致溅射靶材的废品率高。

技术实现要素：

针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种溅射靶材裁板夹具，其具有溅射靶材铣削时废品率低的效果。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种溅射靶材裁板夹具，包括工作台，所述工作台上安装有3个以上的固定底座，所述固定底座上固定连接有固定承接块，所述固定底座上滑动连接有活动承接块，所述固定底座上设置有调节组件，所述调节组件用于调节所述固定承接块与所述活动承接块之间的距离，所述固定底座上可拆卸的固定连接有托举件；

当溅射靶材安装在所述工作台上时，所述固定承接块与所述活动承接块抵接所述溅射靶材的两侧，所述托举件抵接所述溅射靶材靠近所述工作台的面。

通过采用上述技术方案，当工作人员需要对溅射靶材进行铣削时，固定承接块和活动承接块在调节组件的调节作用下抵紧溅射靶材的侧边，限定溅射靶材在水平方向上的位移，同时工作人员通过调整托举件，使得托举件抵紧溅射靶材朝向工作台的一面，限制了溅射靶材在竖直方向上的位移，同时能够托住溅射靶材，使得溅射靶材在铣削过程中不易变形，降低溅射靶材铣削的废品率。

进一步的：所述固定承接块和所述活动承接块均固定连接有限位台阶，所述限位台阶远离所述工作台的面抵接所述溅射靶材。

通过采用上述技术方案，使得溅射靶材的边缘被限位台阶抵接，限位台阶与托举件一同抵接溅射靶材靠近工作台的一面，避免在铣削溅射靶材远离工作台的一面时，长度较长的溅射靶材发生弯曲，降低了溅射靶材铣削时的废品率。

进一步的：所述限位台阶的长度大小大于所述固定底座在所述限位台阶长度方向上的长度大小。

通过采用上述技术方案，可以减少需要安装在工作台上的固定底座数量，且固定底座之间的间隙较大，给溅射靶材的装卸留出了足够的空间。

进一步的：所述托举件包括托举杆和固定连接在所述托举杆上的托举盘，托举杆可拆卸的固定连接在所述固定底座上，所述托举盘抵接所述溅射靶材靠近所述工作台的一面。

通过采用上述技术方案，托举盘增大了托举件与溅射靶材的接触面积，对于溅射靶材的托举更加稳定。

进一步的：所述固定底座上固定连接有调节螺柱，所述托举杆套接在所述调节螺柱上，所述调节螺柱上螺纹连接有调节螺母，所述调节螺母将所述托举杆抵紧在所述固定底座上。

通过采用上述技术方案，当工作人员将调节螺母旋下后，可以拆卸托举杆，因此工作人员可以根据现实加工过程中的情况更换托举杆与托举盘的尺寸。

进一步的：所述托举盘接触所述溅射靶材的面设置为平滑面。

通过采用上述技术方案，使得托举盘对溅射靶材主要起向上的托力，减少托举盘与溅射靶材在水平方向上的摩擦力，减少托举盘与溅射靶材之间的磨损。

进一步的：所述调节组件包括固定连接在固定底座上的抵接块和滑动连接在固定底座上的定位块，所述固定承接块与所述抵接块固定连接，所述活动承接块与所述定位块固定连接，所述抵接块上转动连接有螺纹柱，所述螺纹柱与所述定位块螺纹连接，所述螺纹柱穿过所述抵接块的一端固定连接有旋转部。

通过采用上述技术方案，实现对固定承接块和活动承接块的调节，当工作人员转动旋转部时，定位块沿着螺纹柱的长度方向运动，从而带动活动承接块向靠近固定承接块或远离固定承接块的方向运动。

进一步的：所述工作台上开设有安装滑槽，所述固定底座固定连接有滑移块，所述滑移块与所述安装滑槽形状匹配并滑动连接。

通过采用上述技术方案，使得固定底座智能沿着安装通槽的长度方形安装，因此固定底座排成一条直线。

综上所述，本实用新型的有益技术效果包括：

(1)当工作人员需要对溅射靶材进行铣削时，固定承接块和活动承接块在调节组件的调节作用下抵紧溅射靶材的侧边，限定溅射靶材在水平方向上的位移，同时工作人员通过调整托举件，使得托举件抵紧溅射靶材朝向工作台的一面，限制了溅射靶材在竖直方向上的位移，同时能够托住溅射靶材，避免溅射靶材在铣削过程中变形，降低溅射靶材铣削的废品率；

(2)通过设置限位台阶令溅射靶材的边缘被限位台阶抵接，限位台阶与托举件一同抵接溅射靶材靠近工作台的一面，避免在铣削溅射靶材远离工作台的一面时，长度较长的溅射靶材发生弯曲，降低了溅射靶材铣削时的废品率；

(3)通过令限位台阶的长度大小大于固定底座在限位台阶长度方向上的长度大小，可以减少需要安装在工作台上的固定底座数量，且固定底座之间的间隙较大，给溅射靶材的装卸留出了足够的空间。

附图说明

图1为本实用新型的一个实施例展示工作台的示意图；

图2为本实用新型的一个实施例展示滑移块的示意图；

图3为本实用新型的一个实施例展示托举盘的示意图。

附图标记：1、工作台；2、安装滑槽；3、滑移块；4、固定底座；5、抵接块；6、定位块；7、螺纹柱；8、旋转部；9、固定承接块；10、活动承接块；11、限位台阶；12、溅射靶材；13、调节螺柱；14、托举杆；15、调节螺母；16、托举盘。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型进行详细描述。

一种溅射靶材裁板夹具，如图1和图2所示，包括矩形体状的工作台1，工作台1上开设有长条状的安装滑槽2，安装滑槽2为T形槽，安装滑槽2内滑动连接有滑移块3，滑移块3与安装滑槽2的形状相匹配。滑移块3上固定连接有固定底座4，工作台1上安装有3个以上的固定底座4，可以为4个，在安装滑槽2的限位作用下，安装在工作台1上的固定底座4排成一条直线。

矩形体状的固定底座4上设置有调节组件，调节组件包括固定连接在固定底座4上的抵接块5，和滑动连接在固定底座4上的定位块6。抵接块5上转动连接有螺纹柱7，螺纹柱7与定位块6螺纹连接，且螺纹柱7穿过抵接块5的一端固定连接有旋转部8。旋转部8呈六棱柱状，工作人员可以利用套筒扳手转动旋转部8从而带动螺纹柱7转动，使得抵接块5沿着螺纹柱7的长度方向运动。

抵接块5上固定连接有矩形体状的固定承接块9，定位块6上固定连接有矩形体状的活动承接块10，当定位块6远离或靠近抵接块5运动时，活动承接块10远离或靠近固定承接块9。固定承接块9和活动承接块10上均规定连接有矩形体状的限位台阶11，限位台阶11上放置有溅射靶材12，当工作人员调整定位块6的位置后，固定承接块9与活动承接块10分别抵接溅射靶材12的两侧，而限位台阶11抵接溅射靶材12靠近工作台1的一面。

固定承接块9与活动承接块10限定了溅射靶材12在水平方向上的位置，而限位台阶11在竖直方向上托住了溅射靶材12的边缘，使得长度较长的溅射靶材12在铣削的过程中不易发生弯曲前振动减轻，降低了溅射靶材12铣削的废品率。

限位台阶11的长度大小要大于固定底座4在限位台阶11长度方向上的长度大小，这使得安装在工作台1上的固定底座4数量可以减少，且固定底座4之间的间隙非溅射靶材12的装卸留出了足够的空间。

如图1和图3所示，固定底座4上固定连接有调节螺柱13，调节螺柱13上套接有托举杆14，调节螺柱13上还螺纹连接有调节螺母15，当调节螺母15将托举杆14抵紧在固定底座4上时，托举杆14与固定底座4之间的相对位置固定，当调节螺母15被旋下后，工作人员可以替换托举杆14，根据现实生产的情况更换托举杆14的尺寸。

托举杆14上固定连接有圆盘状的托举盘16，当工作人员将托举杆14固定在安装底座上后，托举盘16抵接溅射靶材12靠近工作台1的一面。托举盘16增大了裁板夹具对于溅射靶材12的托举面积，使得溅射靶材12更加不易弯曲。

托举盘16接触溅射靶材12的面设置为平滑面，这样设置使得托举盘16对溅射靶材12主要起向上的托力，减少了托举盘16与溅射靶材12在水平方向上的摩擦力，减小托举盘16与溅射靶材12之间的磨损。

综上所述，工作人员调整活动承接块10的位置后将溅射靶材12放置在限位台阶11上，再次调整活动承接块10的位置，使得固定承接块9与活动承接块10抵接溅射靶材12的两侧，此时托举盘16抵紧溅射靶材12靠近工作台1的一面，当工作人员对溅射靶材12进行铣削时，固定承接块9与活动承接块10限定了溅射靶材12在水平方向上的位移，使得溅射靶材12铣削时的振动减少，而限位台阶11与托举盘16抵紧溅射靶材12靠近工作台1的一面使得溅射靶材12在铣削过程中不易变形，降低了溅射靶材12铣削的废品率。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。