硅加工表面集尘装置的制作方法

本实用新型涉及一种集尘装置，尤其涉及一种硅加工表面集尘装置。

背景技术：

在晶圆表面的激光开槽中，会产生许多粉尘，激光加工完成后需要单独对这些粉尘进行清理。

在实现本实用新型过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：现阶段晶圆表面加工后的粉尘没有任何收集，需要隔一段时间停机进行专门清理工作，影响生产加工的效率且还有污染光学镜片的风险。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种硅加工表面集尘装置，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种硅加工表面集尘装置。

本实用新型的硅加工表面集尘装置，包括有底部集尘组件，其中：所述底部集尘组件通过内部引导组件连接有负压吸附组件，所述负压吸附组件的输出端导通连接有外部排风组件。

进一步地，上述的硅加工表面集尘装置，其中，所述底部集尘组件包括有集尘嘴，所述集尘嘴上设置有漏斗状收口。

更进一步地，上述的硅加工表面集尘装置，其中，所述内部引导组件为内部排风管。

更进一步地，上述的硅加工表面集尘装置，其中，所述内部引导组件与底部集尘组件之间连接有柔性转接组件。

更进一步地，上述的硅加工表面集尘装置，其中，所述柔性转接组件为伸缩软套。

更进一步地，上述的硅加工表面集尘装置，其中，所述负压吸附组件包括有集尘盒，所述集尘盒内安装有排风马达，所述排风马达的出风口与外部排风组件相连，所述集尘盒上设置有开合式盒盖。

更进一步地，上述的硅加工表面集尘装置，其中，所述开合式盒盖通过锁扣与集尘盒相连。

再进一步地，上述的硅加工表面集尘装置，其中，所述排风马达上设置有滤网。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

1、能够及时吸取粉尘，避免了粉尘对加工区域造成的污染，提高产品优良率。

2、清洁粉尘快速便捷，减少了停机清理粉尘的时间，可提升加工生产效率。

3、整体构造简单，不会占用加工区域，能适应多数激光加工产线的布局。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是硅加工表面集尘装置的结构示意图。

图中各附图标记的含义如下。

1 底部集尘组件 2 内部引导组件

3 外部排风组件 4 柔性转接组件

5 集尘盒 6 开合式盒盖

7 锁扣

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1的硅加工表面集尘装置，包括有底部集尘组件1，其与众不同之处在于：底部集尘组件1通过内部引导组件2连接有负压吸附组件，便于提供负压来进行粉尘吸附。同时，为了便于实现粉尘的外排集中收集，负压吸附组件的输出端导通连接有外部排风组件3。

结合本实用新型一较佳的实施方式来看，为了实现集中化的负压吸附，采用的底部集尘组件1包括有集尘嘴，集尘嘴上设置有漏斗状收口。同时，为了配合目前厂房内的顶部走线规划，内部引导组件2为内部排风管。

进一步来看，为了实现吸附高度或是区域的简单调整，内部引导组件2与底部集尘组件1之间连接有柔性转接组件4。具体来说，柔性转接组件4为伸缩软套。

结合实际使用来看，考虑到提供持续有效的负压，采用的负压吸附组件包括有集尘盒5，集尘盒5内安装有排风马达，排风马达的出风口与外部排风组件3相连，集尘盒5上设置有开合式盒盖6。并且，开合式盒盖6通过锁扣7与集尘盒5相连。这样，可以较为便捷的实现集尘盒5的开启，对内部积聚的尘埃进行清洁，防止二次污染。同时，为了便于进行粉尘收集，提高清洁便捷性，本实用新型在排风马达上设置有滤网(图中未示出)。

本实用新型的工作原理如下：排风马达转动产生气流，从而使底部集尘组件1附近产生负压，激光加工产生的粉尘就会实时被吸入进去。

通过上述的文字表述并结合附图可以看出，采用本实用新型后，拥有如下优点：

1、能够及时吸取粉尘，避免了粉尘对加工区域造成的污染，提高产品优良率。

2、清洁粉尘快速便捷，减少了停机清理粉尘的时间，可提升加工生产效率。

3、整体构造简单，不会占用加工区域，能适应多数激光加工产线的布局。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。