还原气体供给装置及经处理的对象物的制造方法与流程

本发明涉及还原气体供给装置及经处理的对象物的制造方法，特别涉及可以不使还原液体飞溅而进行供给的还原气体供给装置及经处理的对象物的制造方法。

背景技术：

进行接合对象物的焊接时，为了使金属表面的氧化物进行还原，进行将甲酸气体等还原气体供给至接合对象物进行焊接的腔室内(例如参照专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利第6042956号公报。

技术实现要素：

[发明所欲解决的课题]

就供给至腔室内的还原气体而言，从保存的容易性的观点来看，一般以液体的状态(以下，有时称为“还原液体”)保存，在供给至腔室前才使其气化。供给保存于瓶的还原液体的方式，以往有将收容有还原液体的瓶设置于压力槽内，通过将氮等惰性气体供给至压力槽内而使压力槽内进行加压，而将瓶内的还原用液体送出。然而，以该方式，经加压时还原用液体会有从瓶喷出的情形，随之，会有导致还原液体的浪费、或在瓶交换时接触到飞溅的还原液体的风险的不良情形。

本发明有鉴于所述问题，目的在于提供一种可以不使还原液体飞溅而进行供给的还原气体供给装置、及使用该装置的经处理的对象物的制造方法。

[解决课题的手段]

为了达到所述目的，有关本发明的第一实施方案的还原气体供给装置例如图1所示，具备：

腔室10，形成对象物t进行焊接的空间；

气化器20，生成供给至腔室10内的还原气体fg，该气化器20导入成为被供给的还原气体fg前的还原液体fl，并使其气化，而生成还原气体fg；

中间容器30，在将收容有还原液体fl的还原液体瓶8内的还原液体fl导入于气化器20前，暂时贮存还原液体fl；

输送管51，将还原液体瓶80内的还原液体fl导引至中间容器30；

供给管41，将中间容器30内的还原液体fl导引至气化器20；

输送部58，将还原液体瓶80内的还原液体fl移送至中间容器30；

供给部48，将中间容器30内的还原液体fl移送至气化器20。

若为如此构成，可不使还原液体飞溅而供给至气化器，而可将还原气体稳定地供给至腔室。

另外，本发明的第二实施方案的还原气体供给装置例如图1所示，在上述本发明的第一实施方案的还原气体供给装置1中，输送部58为包含使中间容器30的内部呈负压的负压生成部55而构成。

若为如此构成，可通过使中间容器的内部呈负压，而以中间容器的内部与还原液体瓶内部的压力差将还原液体移送至中间容器，同时，在移送至中间容器的内部的还原液体混入有气泡时，可除去该气泡。

另外，本发明的第三实施方案的还原气体供给装置例如图1所示，在上述本发明的第一实施方案或第二实施方案的还原气体供给装置1中，供给部48为包含将中间容器30的内部进行加压的加压部45而构成。

若为如此构成，可通过加压中间容器的内部而将中间容器的内部的还原液体朝向气化器进行压送。

另外，本发明的第四实施方案的还原气体供给装置例如图1所示，在上述本发明的第一实施方案至第三实施方案的任一实施方案的还原气体供给装置1中，具备还原液体瓶80，该还原液体瓶80具有在还原液体瓶80的内部呈负压时通过附止回阀(checkvalve)的过滤器而摄入外部气体的瓶盖83。

若为如此构成，在还原液体瓶的内部的还原液体耗罄时，可通过将收容有还原用液体的还原液体瓶整个进行交换，而简便地继续供给还原液体。

另外，本发明的第五实施方案的还原气体供给装置例如图1所示，在上述本发明的第一实施方案至第四实施方案的任一实施方案的还原气体供给装置1中，具备：高液位检测器35，检测中间容器30内部的还原液体fl的液面达到预先设定的高液位；及，第一控制部92，在高液位检测器35检测到高液位时，以停止将还原液体瓶80内的还原液体fl往中间容器30移送的方式来控制输送部58。

若为如此构成，可抑制中间容器内部的液面的过度上升，并可抑制输送管的前端没入液中。

另外，本发明的第六实施方案的还原气体供给装置例如图1所示，在上述本发明的第五实施方案的还原气体供给装置1中，具备：低液位检测器36，检测中间容器30内部的还原液体fl的液面达到预先设定的低液位；及，第二控制部93，在低液位检测器36检测到低液位时，以停止将中间容器30内的还原液体fl往气化器20移送的方式来控制供给部48。

若为如此构成，因为可以掌握高液位与低液位之间的容积，故可掌握供给至气化器的还原液体及供给至腔室的还原气体的量。

另外，本发明的第七实施方案的还原气体供给装置例如图1所示，在上述本发明的第一实施方案至第六实施方案的任一实施方案的还原气体供给装置1中，具备：压力检测器18，检测腔室10内的压力；及，第三控制部93，依照压力检测器18所检测到的压力而以调节移送至气化器20的还原液体fl的量的方式来控制供给部48。

若为如此构成，可从压力检测器所检测到的压力来推断腔室内的还原气体的量，并可通过适当地调节腔室内的还原气体的量，而抑制进行焊接时的还原作用的降低。

另外，本发明的第八实施方案的经处理的对象物的制造方法，例如若参照图2及图1而表示，使用上述本发明的第一实施方案至第七实施方案中任一实施方案的还原气体供给装置1，而制造在对象物t进行焊接后的经处理对象物的方法；该方法具备：对腔室10内供给对象物t的步骤(s3)；对腔室10内供给还原气体fg，同时进行对象物t的焊接的步骤(s8至s10)；及，将进行焊接后的对象物t从腔室10取出的步骤(s13)。

若如此构成，可不使还原液体飞溅而供给至气化器，将还原气体稳定地供给至腔室，同时制造经处理的对象物。

[发明的效果]

若依据本发明，可不使还原液体飞溅而供给气化器，并可使还原气体稳定地供给至腔室。

附图说明

图1表示本发明的实施形态的甲酸供给装置的大致构成的示意性系统图。

图2表示经处理的对象物的制造顺序的流程图。

具体实施方式

本申请依据于2018年10月15日在日本提出申请的日本特愿2018-194006号，其内容作为本申请的内容而形成本申请的一部分。

另外，通过以下的详细说明可进一步地完全理解本发明。本发明的进一步的应用范围可通过以下的详细说明更为明了。然而，详细的说明及特定的实例仅是为了说明的目的而记载，为本发明所期望的实施形态。从该详细说明，发明所属技术领域技术人员自可明了各种的变更、改变在本发明的精神及范围内。

申请人所记载的实施形态的任一者均无公之于众的意图，所揭示的变更、替代方案中，字面上可能未被包含于权利要求范围内，在等同原则下也视为发明的一部分。

以下，参照图面说明有关本发明的实施形态。另外，对于各图中互为相同或相当的构件，赋予相同或类似的符号，并省略重复说明。

首先，参照图1，说明本发明的实施形态的甲酸供给装置1。图1为表示甲酸供给装置1的大致构成的示意性系统图。甲酸供给装置1的主要的要素具备：形成对象物t进行焊接的空间的腔室10、气化器20、唧筒30、加压泵45、真空泵55及控制装置90。

甲酸供给装置1在本实施形态中，成为可对于对象物t供给甲酸气体fg同时进行焊接的装置。对象物t于表面具有金属部分，焊接是对于对象物t表面的金属部分来进行。就对象物t而言，可应用基板或电子零件。不使用助焊剂(flux)而进行对象物t的焊接时，为了除去对象物t表面的金属部分的氧化物，可以还原剂将氧化物还原，于本实施形态使用甲酸作为还原剂。从保存的便利性的观点来看，甲酸以液体(甲酸液fl)的状态保存于甲酸液瓶80，而从发挥还原力的观点来看，以气体(甲酸气体fg)的状态供给至腔室10内。甲酸是作为还原剂而发挥作用的一种羧酸，甲酸气体fg相当于还原气体，甲酸液fl相当于还原用液体。另外，甲酸供给装置1相当于还原气体供给装置。

腔室10如前所述，形成对象物t进行焊接的空间。腔室10形成可将对象物t搬入搬出的搬入出口11。另外，腔室10以可堵塞搬入出口11的方式，具有可开关的闸门12。腔室10以可通过闸门12堵塞搬入出口11而封闭内部的空间的方式构成。腔室10采用即使将内部的空间减压至所希望的压力(例如大概10pa(绝对压力))也可承受的材料或形状。另外，在腔室10连接排气管16。在排气管16配设能够阻断流路的排气闸阀17。另外，在腔室10设为检测内部的压力的压力检测器18。

气化器20导入甲酸液fl而生成甲酸气体fg。在本实施形态中，气化器20的构成如下述：在热容量更大于甲酸液fl的金属的块体21中埋入加热器22，同时形成甲酸流体(甲酸液fl、甲酸气体fg、或此等的混合流体)流动的流体流路23，使甲酸液fl流入经加热器22预先加热的块体21，在甲酸液fl于流体流路23流动时，由块体受热而气化，并生成甲酸气体fg。本实施形态中，气化器20的构成也可如下所述：以甲酸气体fg的出口20d开口于腔室10内的方式，于腔室10的外面安装块体21，但将块体21设置于离开腔室10的位置，而将形成于块体21的甲酸气体fg的出口与腔室10以管进行连接。无论为何种构成，气化器20配置成可将所生成的甲酸气体fg供给至腔室10内。另外，气化器20除了使用具有所述的块体21的构成的气化器以外，也可使用以于甲酸液fl中供给载体气体并使其起泡而与载体气体一起供给甲酸气体fg的方式构成的气化器。

唧筒30在使保存于甲酸液瓶80的甲酸液fl流入至气化器20前，暂时贮存甲酸液fl，相当于中间容器。在使甲酸液瓶80的甲酸液fl流入于气化器20前，暂时贮存于唧筒30，由此能够除去从甲酸液瓶80输送至气化器20的甲酸液fl所含的气泡。本实施形态中，唧筒30以可避免或抑制受甲酸影响进行腐蚀的材料来形成，且具有以玻璃形成圆筒状的本体31、及设于本体31的两端的盖32。本体31可考量供给至腔室10的甲酸气体fg的量而决定其容积，本实施形态以大概成为10至50cc的方式形成内容积。另外，本体31在贮存甲酸液fl时，为了确保从甲酸液fl的液面至上端为止的空间，优选细长地形成。在本实施形态中，盖32以氟树脂的一种的聚四氟乙烯(ptfe)来涂覆不锈钢板而构成。就盖32而言，当将本体31配置成为其两端的开口呈垂直上下时，堵塞本体31上侧开口的盖称为上盖32t，堵塞下侧开口的盖则称为下盖32s。另外，在唧筒30的内部未设有活塞(piston)。

在唧筒30中，设有高液位检测器35及低液位检测器36。高液位检测器35检测唧筒30内的甲酸液fl的液位达到所预先设定的高液位。低液位检测器36检测唧筒30内的甲酸液fl的液位达到所预先设定的低液位。就高液位检测器35及低液位检测器36而言，可使用：以夹住玻璃制的本体31的方式配置发光元件与受光元件，以是否遮蔽两元件间的光而检测液位；或者从本体31的侧面方向用照相机拍摄液面，并通过图像的处理检测液位等；各种检测器。

唧筒30与气化器20以供给管41连接。供给管41为构成将唧筒30内的甲酸液fl导引至气化器20的流路的管。供给管41的一端以贯穿唧筒30的下盖32s而连通至本体31的内部并开口的方式，安装于下盖32s。供给管41的另一端连接至气化器20的甲酸液导入口20e。于供给管41上配设可阻断流路的供给闸阀43。所述的低液位检测器36所检测的低液位设定成高于与本体31内连通而开口的供给管41的一端的最上部的位置(供给管41的一端的开口被甲酸液fl充满的液位)。

唧筒30除了所述的供给管41外，连接有输送管51、加压管46及真空管56。输送管51、加压管46、真空管56分别以贯穿唧筒30的上盖32t并连通于本体31的内部的方式安装于上盖32t。输送管51为构成将甲酸液瓶80内的甲酸液fl导引至唧筒30的流路的管。输送管51的一端部如所述般贯穿上盖32t，并于本体31的内部延伸至约中央处，在本体31的内部进行开口。位于本体31的内部的输送管51的端部51e配置于较所述的高液位检测器35所检测的高液位的更上方处。输送管51的另一端部连接于甲酸液瓶80。于输送管51上配设可阻断流路的输送闸阀53。另外，在输送闸阀53与甲酸液瓶80间的输送管51，若设有快速流体链接器(coupling)等连结器52，则经由唧筒30与甲酸液瓶80的输送管51的拆装变得容易，且变得容易进行甲酸液瓶80的交换，而为合适。

加压管46为构成流路的管，该流路将用以加压唧筒30的内部的惰性气体(本实施形态为氮气)导引至唧筒30。加压管46的一端以贯穿唧筒30的上盖32t而连通至本体31的内部并开口的方式，安装于上盖32t。加压管46的另一端连接于氮气槽等氮气源(未具图示)。于加压管46上配设压送氮气的加压泵45。加压泵45可通过将氮气供给至唧筒30内而加压唧筒30的内部，相当于加压部。加压泵45也可为空压机(compressor)。在加压泵45与唧筒30间的加压管46上配设可阻断流路的加压闸阀47。若在供给闸阀43及加压闸阀47为开启的状态下，启动加压泵45，并经由加压管46将氮气供给至唧筒30的内部而将唧筒30的内部进行加压，则可将唧筒30内的甲酸液fl经由供给管41而移送至气化器20，故以供给闸阀43、加压泵45、加压管46及加压闸阀47构成供给部48。

真空管56为构成流路的管，该流路为用以使唧筒30的内部呈负压，而将唧筒30内的气体排出的流路。真空管56的一端以贯穿唧筒30的上盖32t而连通至本体31的内部并开口的方式安装于上盖32t。真空管56的另一端在唧筒30的外侧且被开放。在真空管56上配设有真空泵55。真空泵55可通过排出唧筒30内的气体以使唧筒30的内部呈负压，相当于负压生成部。于真空泵55与唧筒30间的真空管56上配设可阻断流路的真空闸阀57。若在输送闸阀53及真空闸阀57为开启的状态下，启动真空泵55，并经由真空管56而将唧筒30内的气体排出至外部，而使唧筒30的内部呈负压，则可通过唧筒30的内部与甲酸液瓶80的内部的压力差，将甲酸液瓶80内的甲酸液fl输送至唧筒30内，故以输送闸阀53、真空泵55、真空管56、及真空闸阀57构成输送部58。另外，如所述，若将位于唧筒30的本体31的内部的输送管51的端部配置于比高液位检测器35所检测的高液位更上方处，则可防止输送管51的前端的没入液中，由此，可确保使唧筒30的内部呈负压时的甲酸液fl的导入。高液位可以使唧筒30的内部呈负压时真空泵55不会抽吸甲酸液fl，或以加压泵45加压唧筒30的内部时甲酸液fl不会逆流至输送管51的方式，设定成较低。在真空泵55与真空泵55间的真空管56，一端连接于腔室10所连接的排气管16的另一端。通过该构成，真空泵55兼作使唧筒30内呈负压的装置与使腔室10内呈负压的装置。

甲酸液瓶80收容有输送至唧筒30的甲酸液fl的瓶，相当于还原液体瓶。甲酸液瓶80具有：收容有甲酸液fl的本体81、及堵塞本体81的开口的瓶盖83。当本体81以甲酸液fl装入于瓶的状态于市面贩售时，可直接利用该瓶，可使用3.8l或500ml等各种大小。瓶盖83省略图示，但在其内侧面刻有用以螺嵌于本体81的螺纹，在另一端面形成贯穿输送管51的贯穿孔并且设有附止回阀的过滤器。附止回阀的过滤器为以可从外部朝内部摄入空气(外部气体)，但使空气无法朝其反向(从内部至外部)通过的方式构成的过滤器。瓶盖83可依需要而使用接头，由此螺嵌于作为本体81的各种大小的市售的瓶。甲酸液瓶80也可载置于荷重单元(loadcell)88而使用，以由此进行内部的甲酸液fl的余量管理。

控制装置90为控制甲酸供给装置1的动作的机器。控制装置90具有：信息接收部91、真空控制部92、加压控制部93、综合控制部94及演算部95。信息接收部91以分别与压力检测器18、高液位检测器35、低液位检测器36有线或无线地电性连接，并以可将各检测器所检测的结果作为信号而接收信息的方式构成。真空控制部92以与真空泵55有线或无线地电性连接，并可控制真空泵55的起动及停止的方式构成。真空控制部92相当于第一控制部。加压控制部93以与加压泵45有线或无线地电性连接，并可控制加压泵45的起动及停止的方式构成。加压控制部93兼作第二控制部和第三控制部。综合控制部94以与腔室10的闸门12以有线或无线地电性连接，并可控制闸门12的开关的方式构成。另外，综合控制部94以与气化器20有线或无线地电性连接，并可控制气化器20的加热器22的起动及停止的方式构成。另外，综合控制部94分别与排气闸阀17、供给闸阀43、加压闸阀47、输送闸阀53、真空闸阀57以有线或无线地电性连接，并可控制各阀的开关的方式构成。演算部95以可依据压力检测器18所检测到的压力来推断腔室10内的甲酸气体fg的量的方式构成。就演算部95的甲酸气体fg的量的推定而言，若是于腔室10内供给许多甲酸气体fg，则腔室10内的甲酸气体fg的分压上升，而能够利用腔室10的内压上升来进行。另外，在图示的例子中，构成控制装置90的信息接收部91、真空控制部92、加压控制部93、综合控制部94、演算部95从功能的观点来看，虽然是各自构成，但也可以浑然一体地构成。或者，各部分的91、92、93、94、95也可分离地配置以取代如图示般的集合而配置。

继而，参照图2，说明本发明的实施形态中，使用甲酸供给装置1来制造经处理的对象物的方法，该经处理的对象物为进行焊接处理后的对象物t。图2表示经处理对象物的制造顺序的流程图。以下使用甲酸供给装置1的经处理对象物的制造方法的说明，兼作甲酸供给装置1的作用的说明。以下说明中，在述及甲酸供给装置1的构成时适当地参照图1来进行说明。

甲酸供给装置1的停止中，闸门12关闭，加压泵45及真空泵55停止，各阀(排气闸阀17、供给闸阀43、加压闸阀47、输送闸阀53、真空闸阀57)呈关闭。当甲酸供给装置1起动，则加压泵45及真空泵55会起动，甲酸供给装置1的运行中加压泵45及真空泵55会常态地运行。另外，本实施形态控制装置90会在甲酸供给装置1起动的时机，将气化器20的加热器22启动。在该状态下，首先安装甲酸液瓶80(s1)。就安装甲酸液瓶80而言，典型上取得市售的瓶装的甲酸液fl，将瓶的盖更换为瓶盖83，并利用瓶作为本体81。如此一来，便毋须将甲酸液fl移换至其它容器，只要更换瓶盖83即可，故可简便地安装甲酸液瓶80。另外，安装甲酸液瓶80的步骤(s1)可在甲酸供给装置1的停止中进行。安装甲酸液瓶80的步骤(s1)中，使输送管51贯穿瓶盖83的贯穿孔，并插入至输送管51的另一端达到本体81的底部附近为止。此时，会有存在于甲酸液fl进入前的输送管51内的空气混入被收容在本体81所收容的甲酸液fl的情形。

其次，控制装置90将排气闸阀17打开(s2)。若打开排气闸阀17，则会通过排气管16及真空管56的一部分进行腔室10内的气体的排气。通过在打开闸门12之前经由排气管16等使腔室10内的气体从腔室10排出，即使打开闸门12，也可防止腔室10内的气体经由搬入出口11而流出至腔室10外。经由排气管16等而从腔室10所排出的气体的流量为足以使腔室10内呈负压而腔室10内的气体不会从搬入出口11流出的程度的流量即可。由此，即使在腔室10内残存有甲酸气体fg的情形下，也可防止甲酸气体fg直接流出至腔室10外。继而，打开腔室10的闸门(shutter)12，将对象物t供给至腔室10内(s3)。就闸门12的开关动作而言，典型上通过装置的操作者按压闸门12的开启键(未图示)，而通过控制装置90控制闸门12的开关来进行。在将对象物t被搬入至腔室10内后，控制装置90关闭闸门12，而使腔室10内密闭。腔室10经密闭后，也可将排气闸阀17维持于开启的状态，由此使腔室10内被减压至适于对象物t的焊接的真空度(例如100pa(绝对压力)左右)。

在将对象物t供给至腔室10内后，控制装置90使输送闸阀53及真空闸阀57设为开启(s4)。如此一来，唧筒30的内部会被减压而成为负压(negativepressure)，通过甲酸液瓶80内与唧筒30内的压力差，甲酸液瓶80内的甲酸液fl不会飞溅，并经由输送管51而被输送至唧筒30内。此时，若甲酸液瓶80内的甲酸液fl经由输送管51被抽吸，而甲酸液瓶80内成为负压(negativepressure)时，则会通过设于瓶盖83的附止回阀的过滤器摄入外部气体至甲酸液瓶80内，以平衡甲酸液瓶80内的压力。另外，通过真空而将甲酸液瓶80内的甲酸液fl抽至唧筒30内，即使在将输送管51置入甲酸液瓶80时有空气混入甲酸液fl，可能存在于被输送至唧筒30内的甲酸液fl中的气体也会被真空泵55所抽吸，而可从唧筒30内的甲酸液fl除去气泡。

在将输送闸阀53及真空闸阀57开启后，控制装置90会判断高液位检测器35是否检测到高液位(s5)。当未检测到高液位时，再度返回至判断高液位检测器35是否检测到高液位的步骤(s5)。另一方面，在检测到高液位时，将输送闸阀53及真空闸阀57关闭(s6)。通过关闭输送闸阀53及真空闸阀57，停止将甲酸液fl从甲酸液瓶80朝唧筒30输送。在检测到高液位时，通过停止甲酸液fl朝唧筒30的输送，可防止唧筒30内的输送管51没入于甲酸液fl。若关闭输送闸阀53及真空闸阀57，则控制装置90将排气闸阀17关闭(s7)。

其次，控制装置90将供给闸阀43及加压闸阀47开启(s8)。若将供给闸阀43及加压闸阀47开启，则氮气会被供给至唧筒30的内部的上部而加压唧筒30的内部的气相部分，通过唧筒30内与气化器20内的压力差，唧筒30内的甲酸液fl会经由供给管41而供给至气化器20。此时唧筒30内的加压相对于腔室10内的真空(负压)的加压，为大气压以下(例如0.005mpa左右)。通过供给闸阀43及加压闸阀47的开启而在供给管41流动的甲酸液fl若流入于气化器20，则在块体21内的流路23流动时，会从被加热器22加热的块体21受热，而在从气化器20流出的期间气化成为甲酸气体fg，而供给至腔室10内。在甲酸气体fg所供给的腔室10内，进行对象物t的焊接，生成经焊接后的经处理的对象物。

若是将供给闸阀43及加压闸阀47开启，而将甲酸液fl供给至气化器20，并将甲酸气体fg供给至腔室10内，则控制装置90会判断是否供给了既定的量的甲酸液fl至气化器20(s9)。是否供给了既定量一事，通过用演算部95由压力检测器18所检测出的压力来推定供给至腔室10内的甲酸气体fg的量而加以掌握。在此，既定的量为供给至气化器20的甲酸液fl的量，为可以将适当地进行于腔室10内的对象物t的焊接所需要的量的甲酸气体fg供给至腔室10内的分量。在腔室10内的对象物t的焊接时，作用于除去对象物t的金属部分的氧化膜的并非甲酸液fl，而是甲酸气体fg。因此，假如在供给至气化器20的甲酸液fl的一部分并未气化而以甲酸液fl的状态直接供给至腔室10内的情形下，未被气化的甲酸液fl的分量是成为未有效地发挥作用的分量。此时，相比于供给至气化器20的甲酸液fl的全部成为甲酸气体fg而供给至腔室10内的情形，即使供给至气化器20的甲酸液fl的量为相同，在甲酸液fl的一部分未气化的情形下，难以谓之为有将既定的量的甲酸液fl供给至气化器20。以压力检测器18所检测到的压力的上升，可视为腔室10内的甲酸气体fg的分压的上升，故可从以压力检测器18检测到的压力来推定供给至腔室10内的甲酸气体fg的量。

在判断甲酸液fl是否有供给既定的量至气化器20的步骤(s9)中，在未供给既定的量时，控制装置90会判断低液位检测器36是否检测到低液位(s10)。未检测到低液位时，则再度返回至判断甲酸液fl是否供给既定的量至气化器20的步骤(s9)。另一方面，当在判断低液位检测器36是否检测到低液位的步骤(s10)中为检测到低液位时，或是在判断甲酸液fl是否有供给既定的量至气化器20的步骤(s9)中为供给了既定的量时，控制装置90将供给闸阀43及加压闸阀47关闭(s11)。通过供给闸阀43及加压闸阀47的关闭，停止对气化器20供给甲酸液fl。当低液位检测器36在检测到低液位时停止对气化器20供给甲酸液fl的情形下，可维持以甲酸液fl充满供给管41的入口的状态，而可避免于供给管41中混入气体。当于供给了既定的量的甲酸液fl至气化器20时停止对气化器20供给甲酸液fl的情形下，可抑制将过剩的量的甲酸液fl供给至气化器20。另外，判断甲酸液fl是否有供给既定的量至气化器20的步骤(s9)及判断低液位检测器36是否检测到低液位的步骤(s10)的顺序可为相反，也可为同时进行。

若将供给闸阀43及加压闸阀47关闭，控制装置90会将排气闸阀17开启(s12)。如此，通过将排气闸阀17开启而使腔室10内略呈负压，以使腔室10内的气体不流出至腔室10外，之后开启闸门12，而将经处理的对象物t从腔室10取出(s13)。于是，完成经处理对象物的制造。在完成一个经处理的对象物的制造，而制造其下个经处理的对象物时，再度进行所述流程，但在甲酸液瓶80内残存甲酸液fl而不须要重新安装甲酸液瓶80的情形下，因为在步骤(s13)时排气闸阀17已经开启，故在所述的流程图中，可以是从将对象物t供给至腔室10内的步骤(s3)开始。另外，排出气体含有在腔室10内的对象物t焊接时所使用的甲酸气体fg，其经由排气管16及真空管56而导引至催化剂单元(未图示)，在进行使排出气体中的甲酸的浓度降低至对环境不造成影响的浓度的处理后，从催化剂单元(未图示)排出。

如以上所说明，若依据本实施形态的甲酸供给装置1，因为经由输送管51而使连接于甲酸液瓶80的唧筒30的内部呈负压，并由此将甲酸液瓶80内的甲酸液fl暂时输送至唧筒30，其后，将唧筒30的内部加压而将唧筒30内的甲酸液fl经由供给管41供给至气化器20，因此可以不产生以往将于内部设置收容有甲酸液的瓶的压力槽内加压时会产生的甲酸液fl的飞溅，而将甲酸液瓶80内的甲酸液fl供给至气化器20。另外，因为使唧筒30的内部呈负压而将甲酸液瓶80内的甲酸液fl输送至唧筒30，故于甲酸液瓶80内的甲酸液fl混入气泡时，可通过抽真空而除去该气泡。另外，因为通过将唧筒30内加压而将唧筒30内的甲酸液fl供给至气化器20，故可不设置输送甲酸液fl的泵(耐甲酸规格的泵)。另外，在甲酸液瓶80内的甲酸液fl耗罄时，为将收容有甲酸液fl的甲酸液瓶80整个进行交换，由此可以简便且安全地继续对气化器20供给甲酸液fl。

在以上的说明中，腔室10内的甲酸气体fg的供给量的管理“依据设于腔室10内的压力检测器18所检测到的压力来进行”，但也可以用下述来取代、或者与下述并用而管理：“于供给管41设置流量计，并依据该流量计检测到的对气化器20供给的甲酸液fl的流量来进行”、“将高液位检测器35所检测到的高液位与低液位检测器36所检测到的低液位间的甲酸液fl的量设定成每1次对气化器20供给的量来进行”、“通过演算，从加压泵45启动所致的甲酸液fl经由供给管41对气化器20的额定时间的供给流量与送液时间的关系求出对气化器20供给的甲酸液fl的供给量，并依据该演算的结果来进行”。

以上说明中，设为甲酸供给装置1的运行中常态地使加压泵45及真空泵55预先运行，停止从唧筒30对气化器20供给甲酸液fl时使供给闸阀43及加压闸阀47关闭，但在产生关断运转所致的不良情形下，也可关闭供给闸阀43及加压闸阀47同时使加压泵45停止。另外，在以上说明中，设为排气管16的另一端连接于真空管56，而真空泵55兼作使唧筒30内成为负压的装置与使腔室10内成为负压的装置，但也可在使排气管16的另一端不连接于真空管56而使排气管16与真空管56构成独立系统的前提下，于排气管16设置排出腔室10内的气体的排气泵(未图示)，而成为可分别地调控制唧筒30内的负压化与腔室10内的负压化的构成。此时，排气闸阀17、输送闸阀53、真空闸阀57进行运行时，也可仿效所述的加压泵45的控制的例，依需要而使排气泵(未图示)和/或真空泵55启动停止。

以上说明中，使用甲酸气体fg作为还原气体，但是也可使用甲酸气体fg以外的羧酸气体或氢等。然而，从取得容易性或焊接处理的便利性的观点来看，优选使用甲酸气体fg作为还原气体。

本说明书中所引用的包括刊物、专利申请及专利在内的全部文献，分别具体地揭示于各文献中，并通过引用而于此并入其全部内容的，并且通过引用而并入与本说明书中所叙述为相同的限度。

本发明在说明上所使用的相关(尤其与权利要求书相关)名词及同样的指代词的使用，若在本说明书中未特别指出或未明显地与文字脉络有所矛盾，即可解释为涵盖单数及复数的用词。语汇的“具备”、“具有”、“含有”及“包含”若无特别声明，便可解释为开放式用词(即，“包含…”但不限“只包含…”的意义)。本说明书中的数值范围的陈述，若在本说明书中未特别指出，则旨在用以分别表示落入该范围内的各个数值的简记法的功能，各个数值如在本说明书中所分别列举出数值的方式并入说明书中。本说明书中所说明的全部的方法若在本说明书中未特别指出或未明显地与文字脉络有所矛盾，即可以所有的适当顺序进行。本说明书中使用的所有的例子或例示性的措辞(例如“等”)，若未经特别主张，即仅是用以更充分地说明本发明，而非对于本发明的范围所设的限制。说明书中的任何措辞也是，并不将权利要求书所未记载的要素解释成表示在本发明的实施上为不可或缺。

在本说明书中，就包括用以实施本发明的本发明人所知的最有效性形态在内的本发明优选实施形态加以说明。对于发明所属技术领域技术人员而言，若参酌上述说明，自可明了此等优选实施形态的变形。本发明人期待技术人员能应用如此的适当的变形，并设想以本说明书中所具体说明的方法以外的方法来实施本发明。因此，本发明如基准法所允许，包含本说明书所附权利要求书所记载的内容的修正及相当发明的全部在内。再者，在本说明书中若未特别指出或未明显地与文字脉络有所矛盾，则所有变形中的所述要件的任意组合也包含于本发明。

附图标记说明

1甲酸供给装置

10腔室

18压力检测器

20气化器

30唧筒

35高液位检测器

36低液位检测器

41供给管

45加压泵

48供给部

51输送管

55真空泵

58输送部

80甲酸液瓶

83瓶盖

90控制装置

92真空控制部

93加压控制部

fg甲酸气体

fl甲酸液

t对象物。