1.一种高精度飞秒激光切割装置,其特征在于,包括暗箱(1),其中,
所述暗箱(1)上铰接有箱门(11),所述暗箱(1)外部设置有控制机构(12);
所述暗箱(1)的底部沿所述暗箱(1)的宽度方向上设置第一电动滑轨(2),所述第一电动滑轨(2)上可控滑动设置有固定座(21),所述固定座(21)上设置有第一步进电机(3),所述第一步进电机(3)的输出轴上设置有第一蜗杆(31),所述固定座(21)内转动设置有转动台(4),所述转动台(4)上设置有第一蜗轮(41),所述第一蜗杆(31)连接于所述第一蜗轮(41),所述转动台(4)的顶部设置有治具(42);
所述转动台(4)上侧的所述暗箱(1)内设置有垂直于所述第一电动滑轨(2)的第二电动滑轨(5),所述第二电动滑轨(5)上可控滑动设置伸缩臂(6),所述伸缩臂(6)的端部设置有转动云台(7),所述转动云台(7)上设置有扫描振镜激光切割头(8),所述扫描振镜激光切割头(8)连接于飞秒激光器(10),所述飞秒激光器(10)设置于所述暗箱(1)的外侧;
所述转动云台(7)上设置有连接杆(75),所述连接杆(75)上固定有光谱探测机构(9);
所述控制机构(12)电性连接所述第一电动滑轨(2)、第一步进电机(3)、第二电动滑轨(5)、伸缩臂(6)、转动云台(7)、扫描振镜激光切割头(8)、飞秒激光器(10)以及所述光谱探测机构(9)。
2.根据权利要求1所述的一种高精度飞秒激光切割装置,其特征在于,所述治具(42)内设置有真空腔,所述真空腔的顶部设置有贯穿所述治具(42)顶部的负吸孔,所述真空腔通过管道连接负压机。
3.根据权利要求1所述的一种高精度飞秒激光切割装置,其特征在于,所述箱门(11)与所述暗箱(1)的盖合处设置有触发开关,所述触发开关连接电源与提示灯。
4.根据权利要求1所述的一种高精度飞秒激光切割装置,其特征在于,所述扫描振镜激光切割头(8)包括壳体(81),所述壳体(81)上设置有光纤接头(82),所述光纤接头(82)内侧的所述壳体(81)内设置有准直透镜(83),所述壳体(81)内设置有第一摆动电机(84),所述第一摆动电机(84)上设置有x振镜(85),所述壳体(81)内设置有第二摆动电机(86),所述第二摆动电机(86)的输出轴上固定y振镜(87),所述壳体(81)的底部设置有场镜(88),所述光纤接头(82)连接于所述飞秒激光器(10)。
5.根据权利要求4所述的一种高精度飞秒激光切割装置,其特征在于,所述壳体(81)上设置有光束整形透镜(89)。
6.根据权利要求5所述的一种高精度飞秒激光切割装置,其特征在于,所述转动云台(7)包括设置于所述伸缩臂(6)的连接座(71),所述连接座(71)上摆动连接所述扫描振镜激光切割头(8),所述扫描振镜激光切割头(8)通过多级减速齿轮连接有第二蜗轮(72),所述连接座(71)上设置有第二步进电机(73),所述第二步进电机(73)的输出轴上设置有第二蜗杆(74),所述第二蜗杆(74)连接于所述第二蜗轮(72),所述连接座(71)上连接所述连接杆(75)。
7.根据权利要求6所述的一种高精度飞秒激光切割装置,其特征在于,所述连接杆(75)的端部设置有测量筒(76),所述测量筒(76)通过气管连接到气源,所述光谱探测机构(9)设置于所述测量筒(76)的筒口处。
8.根据权利要求1所述的一种高精度飞秒激光切割装置,其特征在于,所述控制机构(12)储存有元素特征峰以及元素对应表。