1.一种用于晶片标记的激光设备,其特征在于,包括:
激光器,用于发射激光束;
扩束镜,用于对所述激光束进行扩束和准直;
光束调节单元,用于调节所述激光束的方向;
反射镜,用于改变所述激光束的方向;
聚焦镜头,用于对所述激光束进行聚焦,以使所述激光束垂直射出;
其中,所述激光器,所述扩束镜,所述光束调节单元和所述反射镜在第一方向上依次设置,所述反射镜,所述聚焦镜头和所述载台在第二方向上依次设置,所述第一方向垂直所述第二方向;
其中,所述载台的一端设置有采集器,所述载台的另一端设置有驱动单元,所述驱动单元带动所述载台进行直线运动,以将所述采集器移动至校正区内;
其中,所述校正区内设置有多个校正点,当所述采集器进入所述校正区时,所述采集器的中心与所述校正点重合,当所述激光束与所述校正点之间存在位置偏差时,所述采集器将所述位置偏差发送至所述光束调节单元,以调整所述激光束的方向。
2.根据权利要求1所述的激光设备,其特征在于,还包括控制单元和旋转组件,所述控制单元连接所述旋转组件。
3.根据权利要求2所述的激光设备,其特征在于,所述光束调节单元设置在所述旋转组件上。
4.根据权利要求1所述的激光设备,其特征在于,所述载台包括一通孔,所述晶片设置在所述通孔上。
5.根据权利要求4所述的激光设备,其特征在于,当所述激光设备对所述晶片进行标记工作时,所述激光束照射至所述载台上。
6.根据权利要求1所述的激光设备,其特征在于,所述采集器内设置有采集部,所述采集部为相机。
7.根据权利要求1所述的激光设备,其特征在于,所述校正区位于所述聚焦镜头和所述载台之间。
8.根据权利要求1所述的激光设备,其特征在于,所述反射镜为平面反射镜,所述反射镜对所述激光束的反射率大于99.99%。
9.根据权利要求1所述的激光设备,其特征在于,还包括衰减器,所述衰减器位于所述激光器和所述扩束镜之间。
10.根据权利要求1所述的激光设备,其特征在于,所述激光束的波长在540-560nm。