技术特征：
1.一种托盘搬运装置，其具备：搬运轨，其将搭载有流体压力设备的托盘搭载成能够移动；托盘搬运单元，其对搭载于所述搬运轨的所述托盘进行搬运；流体轨，其沿着所述搬运轨设置，并在内部形成有流体通路；流体供给吸引单元，其设置为与所述流体通路连通，并朝向所述流体通路供给流体或者从所述流体通路吸引流体，在所述流体轨形成有使所述流体通道与外部连通的多个通孔，在所述托盘上设置有对置部件以及连通路，所述对置部件形成有对多个所述通孔的一部分进行覆盖的凹部，并且与所述流体轨对置，所述连通路将所述凹部与所述流体压力设备连通。2.如权利要求1所述的托盘搬运装置，其中，在所述托盘被所述托盘搬运单元搬运至所述搬运轨的任意位置的情况下，所述凹部均对多个所述通孔的一部分进行覆盖。3.如权利要求1或2所述的托盘搬运装置，其中，在所述对置部件枢轴支承有辊，所述辊在所述流体轨上滚动，并以空开预定间隙的方式使所述对置部件与所述流体轨对置。4.如权利要求3所述的托盘搬运装置，其中，在所述托盘设置有悬挂单元，所述悬挂单元朝向所述流体轨按压所述对置部件。5.如权利要求1至4中的任意一项所述的托盘搬运装置，其中，在所述搬运轨上搭载有沿着所述搬运轨排列的多个所述托盘，相邻的所述对置部件的彼此对置的端部相互抵接。6.如权利要求5中所述的托盘搬运装置，其中，所述托盘形成为，所述流体轨的延伸方向上的端部未从所述对置部件的所述端部突出。7.如权利要求1至6中的任意一项所述的托盘搬运装置，其中，还具备：返回轨，其与所述搬运轨平行设置，并将所述托盘搭载成能够移动；托盘返回单元，其使搭载于所述返回轨的所述托盘朝向与搬运方向相反的方向移动；返回托盘移载机构，其将搭载于所述搬运轨的所述托盘从所述搬运轨的顶端移载至所述返回轨的顶端；搬运托盘移载机构，其将搭载于所述返回轨的所述托盘从所述返回轨的基端移载至所述搬运轨的基端。8.如权利要求7所述的托盘搬运装置，其中，所述托盘搬运单元具有：搬运带，所述搬运带设置为能够沿着所述搬运轨循环，第一循环单元，所述第一循环单元使所述搬运带循环，所述托盘返回单元具有：返回带，所述返回带设置为能够沿着所述返回轨循环，第二循环单元，所述第二循环单元使所述返回带循环，在所述托盘上设置有卡止部件，所述卡止部件与所述托盘一起在所述搬运带或所述返
回带的宽度方向上移动，从而能够与所述搬运带或所述返回带卡止。9.一种托盘搬运方法，其将搭载有流体压力设备的托盘搭载于搬运轨进行搬运，将内部形成有流体通路、并且形成有使所述流体通路与外部连通的多个通孔的流体轨沿着所述搬运轨设置，朝向所述流体通路供给流体或者从所述流体通路吸引流体，使形成有对多个所述通孔的一部分进行覆盖的凹部的对置部件与所述流体轨对置，使所述凹部与搭载于所述托盘的所述流体压力设备连通，并一边使所述流体压力设备工作，一边搬运所述托盘以及所述对置部件。10.如权利要求9所述的托盘搬运方法，其中，在所述对置部件枢轴支承有辊，所述辊在所述流体轨上滚动，并一边以空开预定间隙的方式使所述对置部件与所述流体轨对置，一边搬运所述托盘。11.如权利要求10所述的托盘搬运方法，其中，一边将所述对置部件按压在所述流体轨上，一边搬运所述托盘。12.如权利要求9至11中的任意一项所述的托盘搬运方法，其中，将多个所述托盘连续地搭载于所述搬运轨上，并一边使被设置于多个所述托盘的所述对置部件彼此接近或者抵接，一边搬运所述托盘。