一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装的制作方法

本实用新型属于激光技术领域，具体渉及准分子激光器技术领域，提出了一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装。

背景技术：

准分子激光器是以准分子为工作物质的一类气体激光器件。准分子激光器的激光波长短，对于材料不产生热效应，因此在工业加工领域有着广泛的应用。尤其在高端光刻领域，现已具有高重频、窄线宽和大能量特点的准分子激光器。准分子激光器已经成为目前半导体光刻领域占绝对主导地位的光源。

在准分子激光器产品的组装过程中，渉及到放电腔的阴极组件及阳极组件的装配。传统的装配方法采用手工组装，费时费力。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，解决了现有技术中的装配方法费时费力。

本实用新型实施例提供了一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，包括底板、阳极装配装置和阴极装配装置；所述阳极装配装置和所述阴极装配装置设置于所述底板的同一个面上；

所述阳极装配装置，用于支撑阳极基座；使用时，在已支撑起来的阳极基座上安装阳极即可。

所述阴极装配装置，用于支撑阴极陶瓷板和阴极，使阴极装配于阴极陶瓷板上。

优选地，所述阳极装配装置与所述底板可拆卸连接或者一体成型，所述阴极装配装置与所述底板固定连接或者可拆卸连接。

优选地，所述阳极装配装置至少包括两个呈对角设置的支撑柱，所述支撑柱的位置与待装配阳极的所述阳极基座边缘开设的安装孔的位置相应。

优选地，每个所述支撑柱均包括基柱和位于基柱顶端的支柱；所述支柱的外径小于或者等于所述阳极基座边缘开设的安装孔的内孔径，并小于所述基柱的外径。

优选地，所述支柱与所述基柱可拆卸连接或者一体成型。

优选地，所述阴极装配装置包括立板和至少一个支撑块组；

所述立板的底端与所述底板固定连接或者滑动连接，所述立板的顶端开设与待装配阴极的形状及尺寸相适应的凹槽；

所述支撑块组中包括两个支撑块，两个所述支撑块分别设置于所述立板的相对两个侧面，所述支撑块组用于支撑待装配阴极陶瓷板，使所述凹槽内的待装配阴极装配于所述支撑块组上的待装配阴极陶瓷板内。

优选地，每个所述支撑块的支撑面边缘均设置限位凸起。

优选地，每个所述支撑块均与所述立板滑动连接。

优选地，每个所述支撑块的材质均为塑料材质。

优选地，所述立板的板面上开设一个或多个通孔。

本实用新型实施例与现有技术相比存在的有益效果是：

本申请的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，可以将其应用于装配流水线中，实现自动化装配，大幅提高了装配效率。同时，采用该装配工装，可以避免阴极陶瓷板的磕碰损伤，保证了装配质量，同时降低了成本。

本申请的装配工装，设置阴极装配装置与底板为可拆卸连接的连接方式，可根据装配需要使阴极装配装置与底板分离，实现结构复用，即1套工装既可装配阴极组件又可以装配阳极组件。

本申请的阳极装配装置中包括至少两个呈对角设置的支撑柱，优选为四个支撑柱，使用时，只需将阳极基座通过其边缘开设的安装孔安装于支撑柱上即可，简单方便。

为限定阳极基座与支撑柱的相对位置，本申请将支撑柱分为基柱和支柱两部分，限定支柱的外径小于基柱的外径。使用时，将阳极基座通过其边缘开设的安装孔安装于支柱上，此时，阳极基座的位置将会被限制在支柱上。

为根据阳极基座边缘开设的安装孔的孔径大小，选取合适尺寸的支撑柱，本申请设置支撑柱的基柱与支柱是可拆卸连接的，也可为一体成型。

本申请设置阴极装配装置中的立板与底板滑动连接，可根据装配需要，移除立板，便于阳极和阳极基座的安装。本申请中的支撑块组是用于支撑阴极陶瓷板的，装配时，先将阴极放置于立板顶端的凹槽内，然后将阴极陶瓷板放置于支撑块组上，即可实现阴极装配于阴极陶瓷板上，操作简单、便捷。

为保证阴极陶瓷板在装配过程中的位置是相对固定的，本申请在支撑块的支撑面边缘设置限位凸起，利用限位凸起限制阴极陶瓷板的装配位置。

为使本申请的阴极装配装置可以适用于不同尺寸的阴极陶瓷板的安装，本申请设置支撑块可与立板滑动连接，使用时，只需将支撑块沿立板滑动至可以稳定支撑阴极陶瓷板的位置即可。

为避免阴极装配过程中，对阴极陶瓷板的磕碰，本申请设置支撑块的材质为塑料材质，例如：聚四氟乙烯、聚氯乙烯、聚丙烯等，优选为聚四氟乙烯。

为使立板在底板开设的滑槽内稳定滑动，本申请在立板的板面上开设一个或多个通孔，从而降低立板本身的重量，避免其过重导致倾倒的情况发生，同时便于抓手操作。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装的结构示意图；

图2为图1的分解示意图；

图3为准分子激光器放电腔的阴极组件装配过程示意图；

图4为图3的侧视图；

图5为准分子激光器放电腔的阳极组件装配过程示意图；

图6为图5的侧视图；

图7为准分子激光器放电腔的结构示意图。

部件和附图标记列表：

1、底板；2、阳极基座；2-1、安装孔；3、阳极；4、阴极陶瓷板；5、阴极；6、支撑柱；6-1、基柱；6-2、支柱；7、立板；7-1、凹槽；8、支撑块；8-1、限位凸起、9、通孔；10、腔体；11、散执器；12、风扇。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

另外，还需要说明的是，本实用新型实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

本申请的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装所应用的准分子激光器放电腔的结构见图7。准分子激光器放电腔包括腔体10，散执器11，风扇12，阳极基座2，阳极3，阴极陶瓷板4和阴极5。其中，阴极组件包含并不限于阴极陶瓷板和阴极，阳极组件包含但是并不限于阳极基座和阳极。

下面，将对上述准分子激光器放电腔内的阳极及阴极组件装配工装进行详细说明。

如图1～7所示，本实用新型的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，包括底板1、阳极装配装置和阴极装配装置；阳极装配装置和阴极装配装置设置于底板1的同一个面上。阳极装配装置，用于支撑阳极基座2；使用时，在已支撑起来的阳极基座2上安装阳极3即可。阴极装配装置，用于支撑阴极陶瓷板4和阴极5，使阴极5装配于阴极陶瓷板4上。本申请的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，可以将其应用于装配流水线中，实现自动化装配，大幅提高了装配效率。

为实现准分子激光器放电腔的阳极组件及阴极组件的装配，合理利用底板的空间，本申请将阳极装配装置设置于底板1的外边缘，将阴极装配装置设置于底板1的中间，同时，设置阳极装配装置与底板1可拆卸连接或者一体成型，阴极装配装置与底板1可拆卸连接或固定连接。当装配阳极组件时，可以将阴极装配装置拆掉，避免影响阳极组件的装配。当装配阴极组件时，根据操作难易程度决定是否需拆掉阳极装配装置。

如图5～图6所示，本申请中的阳极装配装置至少包括两个呈对角设置的支撑柱6，支撑柱6的位置与待装配阳极组件的阳极基座2边缘开设的安装孔2-1的位置相适应，在安装阳极组件时，阳极基座2设置于支撑柱6上。将阳极基座2设置于支撑柱6上，便于在其上安装阳极3。支撑柱6的数量优选为四个，四个支撑柱6的位置均与阳极基座2边缘开设的安装孔2-1的位置相应，四个支撑柱6可以保证其上阳极基座的稳定性。

为限定阳极基座2与支撑柱6的相对位置，本申请设置每个支撑柱6均包括基柱6-1和位于基柱顶端的支柱6-2；支柱6-2的外径等于或小于阳极基座2边缘开设的安装孔2-1的内孔径，并小于基柱6-1的外径。使用时，将阳极基座2通过其边缘开设的安装孔2-1安装于支柱6-2上，此时，阳极基座2的位置将会被限制在支柱6-2上。

为根据阳极基座2边缘开设的安装孔2-1的孔径大小，选取合适尺寸的支撑柱6，本申请设置支柱6-2与基柱6-1可拆卸连接或固定连接。当待装配的阳极基座2为同一型号的基座时，也可设定支柱6-2与基柱6-1一体成型。

如图1～4所示，本申请的阴极装配装置包括立板7和至少一个支撑块组；立板7的底端与底板1固定连接或者滑动连接，立板7的顶端开设与待装配阴极5的形状及尺寸相适应的凹槽7-1；支撑块组中包括两个支撑块8，两个支撑块8分别设置于立板7的相对两个侧面，支撑块组用于支撑待装配阴极陶瓷板4，使凹槽7-1内的待装配阴极5装配于支撑块组上的待装配阴极陶瓷板4内。

为保证阴极陶瓷板4在装配过程中的位置是相对固定的，在每个支撑块8的支撑面边缘均设置限位凸起8-1；一个支撑块组中的两个限位凸起8-1之间设置待装配的阴极陶瓷板4。本申请中，优选同时使用两个支撑块组，稳定性更佳。

为使本申请的阴极装配装置可以适用于不同尺寸的阴极陶瓷板4的安装，设置每个支撑块8均与立板7滑动连接，支撑块3可沿立板2的长度方向上滑动，也可沿与立板2的宽度方向上滑动，使用时，只需将支撑块8沿立板7滑动至可以稳定支撑阴极陶瓷板4的位置即可。同时，每个支撑块组内的支撑块8也可以错位设置。

为避免阴极组件装配过程中，对阴极陶瓷板4的磕碰，本申请设置支撑块8的材质为塑料材质，例如：聚四氟乙烯、聚氯乙烯、聚丙烯等，优选为聚四氟乙烯。

当本申请设置的立板7与底板1为滑动连接时，具体的结构可以采用立板7在底板1上开设的滑槽内滑动，由于两者之间仅靠滑槽连接，所以立板7的重量需要严格控制。为使立板7在底板1开设的滑槽内稳定滑动，本申请在立板7的板面上开设一个或多个通孔9，从而降低立板7本身的重量，避免其过重导致倾倒的情况发生，还可以作为抓手，便于安装、滑动及拆卸。

利用本申请的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装进行阴极组件(阴极和阴极陶瓷板)的装配过程为：首先将待装配的阴极5设置在立板7顶端开设的凹槽7-1内，然后将阴极陶瓷板4放置于支撑块8上，放置的过程中，待装配的阴极5进入阴极陶瓷板4上的阴极安装槽内。阴极陶瓷板4与阴极5有螺纹孔连接，阴极5上有螺纹孔，阴极陶瓷板4上有通孔。放置好阴极5后，放置阴极陶瓷板4，可以调整陶瓷板4的位置，在上面可以观察，当两者的孔位对齐后，就可以将两者固定连接了。当阴极陶瓷板4接触到支撑块8的支撑面时，即可进行阴极5与阴极陶瓷板4的装配。阴极组件的装配过程示意图见图3和图4。

利用本申请的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装进行阳极组件(阳极和阳极基座)的装配过程为：将立板7和其上设置的支撑块组全部从底板1上滑出，底板1上仅仅设置支撑柱6。然后将待装配阳极基座2边角上的4个安装孔2-1套在支撑柱6上，利用支撑柱6实现对阳极基座2的有效支撑，从而方便装配作业。阳极组件的装配过程示意图见图5和图6。

另外，如果支撑柱6的高度足够高，在对阳极组件(阳极和阳极基座)的装配过程也可以不移除立板7及其上的支撑块组，只要立板7及其上的支撑块组对阳极组件的装配不产生干涉即可。

以上所述实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本实用新型的保护范围之内。